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[发明专利]双轴泵-CN201880041076.5有效
发明人： N.特纳;P.诺思;M.H.诺思;M.W.格雷;D.A.特里尔 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2018-06-15 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： F04C18/16 文献下载
摘要：公开了双轴泵，所述双轴泵包括：泵送室；两个可旋转轴，每个被安装在轴承上。两个可旋转轴中的每个包括至少一个转子元件，转子元件在泵送室内，并且两个可旋转轴延伸超出泵送室到支撑构件。支撑构件包括安装器件，用于将轴承安装在从彼此隔开的预定距离处，预定距离限定两个轴之间的距离。在泵送室与支撑构件之间提供热中断，用于阻碍泵送室与支撑构件之间的热传导，使得泵送室和支撑构件可维持在不同的温度下。支撑构件和转子元件由不同材料形成，形成支撑构件的材料的热膨胀系数比形成转子元件的材料的热膨胀系数更高。
双轴泵

[发明专利]泵冷却系统-CN201780085563.7有效
发明人： M.H.诺思;P.诺思;M.W.格雷;N.特纳 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2017-12-21 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： F04C29/04 文献下载
摘要：一种泵冷却系统可以包括被装配到泵壳体(14)上的冷却体(24)，用于经由冷却体与泵壳体之间的热传导路径(44)从泵壳体接收热量。冷却体(24)可以具有通道(26)，在使用中，冷却流体通过该通道从冷却体导走热量。泵冷却系统包括冷却控制机构，该冷却控制机构被配置为在低于预定温度的泵操作温度下在热传导路径(44)中提供空隙，从而从泵壳体到冷却体的热传导被中断。
冷却系统

[发明专利]气体供应装置-CN201680011772.2有效
发明人： D.P.曼森;P.诺思;M.李 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2016-02-02 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：当真空泵在操作状态之间循环时，真空泵吹扫系统可能遭受工艺气体进入到吹扫供应构件中的回流。例如，在粗加工操作期间，真空泵的泵送室内的气体的压力可以增加到高于阈值压力，从而导致到该泵的无效吹扫供应。在最宽广意义上，本发明旨在提供一种较不容易出现已知系统的缺点的经改进的吹扫气体供应装置。本发明旨在通过提供如下结构来减少所泵送气体进入到吹扫供应装置中的回流或再循环：其中多级真空泵上的吹扫端口包括处于足够压力下的吹扫气体以抵抗回流，特别是当真空泵在其极限压力范围外操作时。我们已经发现，下文所述实施例并不一定需要止回阀来抵抗不需要的泵气体回流。
气体供应装置

[其他]快速连接器和真空泵-CN201690001602.1有效
发明人：李光虎;朴贤起;P.诺思 -专利权人：爱德华兹有限公司;爱德华兹韩国有限公司
申请日： 2016-03-11 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： F16L37/098 文献下载
摘要：描述了快速连接器和真空泵。一种设置成与导管（12）连接的连接器（10）。连接器（10）包括内部部分（16），所述内部部分具有第一端部（22），所述第一端部设置成与导管（12）的端部接合并配合，使得流体能穿过导管（12）和连接器（10）。密封机构（24）构造成当导管（12）与连接器（10）接合时在导管（12）和内部部分（16）之间形成密封。外部部分（18，20）围绕内部部分（16）的第一端部（22）形成，使得外部部分（18，20）包括锁定机构（28），以将导管（12）的端部固定到连接器（10）的第一端部（22）中，并允许从连接器（10）手动释放导管（12）。内部部分（16）由与导管（12）相同的材料制成，使得穿过导管（12）和连接器（10）的流体仅暴露于一种类型的材料。这种设置可以部署在冷却回路中，例如部署在真空泵中。需要冷却回路中材料类型的一致性以防止可能影响泵性能的冷却剂的污染。快速连接器允许冷却回路相对容易地从泵主体拆卸，以及可以更换泵，同时大部分冷却回路可以保持在原位。
导管连接器第一端部冷却回路快速连接器真空泵冷却剂穿过材料类型密封机构手动释放接合泵性能泵主体流体能外部拆卸流体密封部署锁定合并暴露污染配合

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