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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

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2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]处理用加热炉或者类似装置-CN200710104707.7无效
发明人： L·朗万;P·茹阿诺 -专利权人：马塞尔－布加蒂股份有限公司
申请日： 2007-04-25 - 公布日： 2007-10-31 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：CVI/CVD加热炉的一部分，其中用于对加热炉进行加热的加热系统位于与暴露于在其中存在的反应气体之下的加热炉的其余部分相隔离。加热炉的壳体可以例如设有一个起分隔作用的壁或者类似装置，以提供物理分隔。另外，惰性气体例如氩气或者氮气被提供到包含加热系统的加热区域，从而与其中存在有反应气体的部分相比，加热炉的一部分处于正压力差之下。结果，反应气体与加热系统的接触被阻滞，而该接触将导致在其上的沉积。更为广义地说，在加热炉中的反应气体气流的控制被施加以更佳的控制。
处理加热炉或者类似装置

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