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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]压差式真空抽吸的材料蒸发室-CN03814326.7有效
发明人： C·谢;A·雅里;P－A·尼特;J－P·洛凯;J·丰佩伊里内;H·西格瓦尔特 -专利权人：瑞必尔
申请日： 2003-06-18 - 公布日： 2005-08-31 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种压差式真空抽吸的材料蒸发室。该材料蒸发室包括一真空室(10)和一用于抽吸所述室和材料源的第一抽吸单元(13)。根据本发明，一可提供完全或部分真空密封的壁(23)将所述室分成一第一空间(25)和一第二空间(22)。将具有一主轴线(18)的多个材料源(17)放入所述第二空间(22)。通过一第二抽吸单元(24)抽吸所述第二空间(22)。所述壁(23)包括都以一个材料源(17)的主轴线(18)为中心的凹口(26)。所述蒸发室还包括用于封闭或打开每个所述开孔(26)的装置(27)，所述装置(27)被单独地控制以保护具有一未使用的主轴线(18)的材料源(17)。
压差式真空抽吸材料蒸发

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