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[发明专利]喷嘴头和装置-CN201180041752.7有效
发明人： P·索伊尼宁;O·佩科宁 -专利权人： BENEQ有限公司
申请日： 2011-08-29 - 公布日： 2013-05-15 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明涉及一种涂布基板（6）的表面（4）的装置及喷嘴头。该装置包括：处理室（26），处理室内具有气体环境（14）；喷嘴头（2），该喷嘴头布置在该处理室（26）内；前驱物供应及排放构件。该喷嘴头（2）包括：一个或更多个第一前驱物喷嘴（8），用于使该基板（6）的该表面（4）历经第一前驱物（A）；一个或更多个第二前驱物喷嘴（10），用于使该基板（6）的该表面（4）历经第二前驱物（B）；以及一个或更多个冲洗气体通道（12），介于所述第一前驱物喷嘴与第二前驱物喷嘴（8，10）之间。在本发明中，该冲洗气体通道（12）至少部分地朝包括冲洗气体的该气体环境（14）敞开，使该基板（6）的该表面（4）历经冲洗气体。
喷嘴装置

[发明专利]涂覆方法及装置-CN201180019782.8无效
发明人： M·拉加拉;O·佩科宁 -专利权人： BENEQ有限公司
申请日： 2011-03-02 - 公布日： 2012-12-26 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：涂覆方法及用于该方法的涂覆装置。涂覆装置包括组件(5,6)，用于形成混合物，所述混合物包含至少一种表面反应的前体；组件(7)，用于使混合物雾化成为液滴(8)；组件(1)，用于将混合物的液滴(8)往将被表面反应涂覆的基板(4)的表面(3)传输。调整用于形成混合物的组件(5,6)，以将液态载体物质混合到混合物中，所述液态载体物质并不是表面反应的前体，并且在已定义的方法空间中其沸点低于表面反应的前体的沸点。本发明所提出的设置同时提高涂覆方法的速度和质量。
方法装置