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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]具有偏转单元的粒子束装置-CN202210386325.2在审
发明人： D.普赖克斯扎斯;M.W.法纳夫 -专利权人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司
申请日： 2022-04-13 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： H01J37/147 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于对物体进行成像、分析和/或处理的粒子束装置。该粒子束装置包括：第一粒子束发生器，其中该第一粒子束发生器具有第一发生器束轴，其中该粒子束装置的光轴和该第一发生器束轴相同；第二粒子束发生器，其中该第二粒子束发生器具有第二发生器束轴，其中该光轴和该第二发生器束轴成不同于0°和180°的某角度布置；偏转单元，其中该偏转单元具有第一开口和不同于该第一开口的第二开口，其中该光轴延伸穿过该第一开口，其中该第二发生器束轴延伸穿过该第二开口；用于将该第一粒子束或该第二粒子束聚焦到该物体上的物镜，其中该光轴延伸穿过该物镜；以及用于检测相互作用粒子和/或相互作用辐射的至少一个检测器。
具有偏转单元粒子束装置

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