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[发明专利]能量色散X射线谱的方法、粒子束系统和计算机程序产品-CN202110122133.6在审
发明人： M.伯泽 -专利权人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司
申请日： 2021-01-28 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： G01N23/20091 文献下载
摘要：本发明涉及用于物体的能量色散X射线谱的方法、粒子束系统和计算机程序产品。该方法包括：在物体的扫描区域上扫描粒子束，其结果是，带电粒子被发射，并且X射线也被该物体的扫描区域发射；用用于检测这些带电粒子的粒子检测器检测由该物体的扫描区域发射的这些带电粒子；基于用该粒子检测器检测到的这些粒子，生成该扫描区域的图像；用能量色散X射线检测器至少检测由该扫描区域的部分区域发射的这些X射线；基于检测到的X射线的由于在该扫描区域的部分区域上对该粒子束的扫描而由该物体发射的那部分来生成能量色散X射线光谱的表示，其中，该部分区域在其面积方面小于该扫描区域。
能量色散射线方法粒子束系统计算机程序产品

[发明专利]EDX方法-CN202011036541.1在审
发明人： R.阿诺德;W.伯格;M.伯泽;S.迪默;H.多默;M.埃德尔曼;L.汉;M.希特尔;A.詹森;S.迈耶;K.舒伯特 -专利权人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司
申请日： 2020-09-27 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： G01N23/2252 文献下载
摘要：一种EDX方法，包括：基于x射线辐射检测器的输出，生成具有多个图像元素的图像；向每个图像元素分配至少一组化学元素和这些化学元素的相对比例；确定两个图像元素子集；确定两个过滤器，这些过滤器从该图像元素的该组化学元素中选择预定子集；利用该第一过滤器和该第二过滤器分别过滤该图像元素的这些化学元素；基于过滤后的化学元素子集确定这些图像元素的代表性特征；以及使用这些代表性特征在显示设备上表示该图像元素。
edx 方法