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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]真空系统-CN202010474186.X有效
发明人： T·斯托尔;M·施魏格霍费尔;J·霍夫曼;J·L·伯奇 -专利权人：普发真空有限公司;安捷伦科技有限公司
申请日： 2020-05-29 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种真空系统，其包括：优选为涡轮分子泵的真空泵以及至少一个真空室，其中，真空泵包括：至少第一入口、第二入口和共用出口；至少第一泵级和第二泵级，每个泵级包括至少一个布置在共用转子轴上的转子元件，其中第一入口连接至第一泵级的上游端并且第二入口连接至第二泵级的上游端；导向元件，用于防止气体从第一泵级的下游端流向第二入口；导管，其具有导管入口和导管出口，其中导管入口连接到第一泵级的下游端，并且导管出口连接到第二泵级的下游的位置；其中，真空泵的第一入口和第二入口连接到同一真空室。
真空系统

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