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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于基板处理平台的RF阻抗匹配网络-CN202280019045.6在审
  • 郭岳;K·K·库坦奈尔;J·于;K·拉马斯瓦米;杨扬 - 应用材料公司
  • 2022-05-02 - 2023-10-20 - H01J37/32
  • 本文提供用于处理基板的使用匹配网络的方法和装置。例如，一种被配置为与等离子体处理腔室一起使用的匹配网络，包括：本地控制器，所述本地控制器可连接至等离子体处理腔室的系统控制器；第一电动电容器，所述第一电动电容器连接至本地控制器；第二电动电容器，所述第二电动电容器连接至第一电动电容器；第一传感器和第二传感器，所述第一传感器在匹配网络的输入处，所述第二传感器在匹配网络的输出处，用于分别获得线内RF电压、电流、相位、谐波和阻抗数据；以及以太网控制自动化技术(EtherCAT)通信接口，所述EtherCAT通信接口将本地控制器连接至第一电动电容器、第二电动电容器、第一传感器以及第二传感器。
  • 用于处理平台rf阻抗匹配网络
  •  1 
  • 共 1 条
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