专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]微机械多轴加速度传感器-CN200780048385.7有效
  • J·克拉森;A·弗兰克;D·舒伯特;K·克尔;R·赖兴巴赫 - 罗伯特·博世有限公司
  • 2007-11-14 - 2009-10-28 - G01P15/125
  • 本发明涉及一种微机械加速度传感器,其包括基底(1)、平行于基底平面延伸的弹性薄膜(5)和振动质量(6),弹性薄膜(5)部分地与基底连接并具有能够垂直于基底平面偏移的平面区域,振动质量(6)的重心位于弹性薄膜(5)平面之外,其中,振动质量(6)隔开距离地在基底区域上方延伸,这些基底区域位于弹性薄膜(5)区域之外并且具有由多个电极(3a,3b,3c,3d)组成的装置,这些电极分别与振动质量(6)的对置区域在电路技术上构成电容器,并且振动质量(6)在其中心区域在弹性薄膜(5)的能够垂直于基底平面偏移的平面区域中固定在弹性薄膜(5)上。
  • 微机械多轴加速度传感器

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