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- [发明专利]具有可拉伸回复力件的微加工反射器-CN99812840.6无效
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J·D·德雷克;J·H·杰曼;J·D·格雷德
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西加特技术有限责任公司
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1999-09-17
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2003-11-19
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G11B7/00
- 一种用于使一光束转向的微米尺寸的反射器组件(200)。该反射器组件包括一平基部(301)和一与该平基部隔开并基本平行于该平基部而设置的平反射器(220)。该平反射器具有第一和第二端部(220a,220b)以及一延伸于第一和第二端部之间的纵轴线(303);第一和第二扭转件(306,307)沿该纵轴线延伸并分别连接于第一和第二端部,以允许反射器相对于平基部绕纵轴线在第一和第二位置之间摇动。第一和第二扭转件固定于平基部。反射器至少一部分是由导电材料制成。平基部携带有隔开的第一和第二电极(322,323),用于在第一和第二位置之间驱动反射器。相对于纵轴线而横向延伸有一系链件(431),它固定于第一扭转件并连接于平基部。该系链件调节反射器的摇动。
- 具有拉伸回复加工反射
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