专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于研磨的无机氧化物颗粒淤浆及调节所述颗粒的磨蚀性的方法-CN99814723.0无效
  • J·N·普赖尔 - 格雷斯公司
  • 1999-10-21 - 2004-03-24 - C09G1/02
  • 用压热器处理多孔的、无机氧化物颗粒的淤浆,所述处理方法导致所述颗粒的磨损性增加,表现为当按标准抛光条件进行化学机械抛光时,被抛光基材的除去速率增加。本发明提供了具有新型磨损性的淤浆,具体地说,是以二氧化硅为基础的淤浆。颗粒磨损性的增加与颗粒表面积的减少有很大关系,其中表面积由氮气吸附法测定(BET法)。因此,通过采用加热无机氧化物颗粒的淤浆使其达到某BET表面积的方法可获得具有符合要求的磨损度的淤浆,而已经证实,BET法测定的比表面积与所需的磨损度有关。所得的淤浆可用于传统的抛光机。所述方法特别适合制备以二氧化硅为基础的研磨淤浆。
  • 用于研磨无机氧化物颗粒调节磨蚀方法

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