专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]低蒸汽压化合物的等离子体增强化学沉积方法-CN200310102841.5有效
  • J·D·阿菲尼托 - 巴特勒记忆研究所
  • 1998-09-29 - 2004-05-12 - C23C16/50
  • 本发明的设备通常为(a)闪蒸壳体(116),该壳体带有一单体雾化器(120),用于制备单体颗粒(122)、加热蒸发表面(124),用于从单体颗粒制备蒸发物、和蒸发物出口(128),联接于(b)辉光放电电极(204),该电极从蒸发物产生辉光放电等离子体,其中(c)衬底(104)靠近辉光放电等离子体,以便在其上接受和冷凝辉光放电等离子体。本发明的方法具有下列步骤:(a)闪蒸液体单体,在蒸发物出口形成蒸发物;(b)使蒸发物通过辉光放电电极,从蒸发物产生辉光放电单体等离子体;以及(c)将辉光放电单体等离子体低温冷凝于衬底上,并使辉光放电等离子体交联其上,其中由辉光放电等离子体中产生的自由基导致交联,并达到自固化。
  • 蒸汽化合物等离子体增强化学沉积方法
  • [发明专利]低蒸汽压化合物的等离子体增强化学沉积方法-CN98809599.8有效
  • J·D·阿菲尼托 - 巴特勒记忆研究所
  • 1998-09-29 - 2003-12-10 - C23C16/44
  • 本发明的设备通常为(a)闪蒸壳体(116),该壳体带有一单体雾化器(120),用于制备单体颗粒(122)、加热蒸发表面(124),用于从单体颗粒制备蒸发物、和蒸发物出口(128),联接于(b)辉光放电电极(204),该电极从蒸发物产生辉光放电等离子体,其中(c)衬底(104)靠近辉光放电等离子体,以便在其上接受和冷凝辉光放电等离子体。本发明的方法具有下列步骤(a)闪蒸液体单体,在蒸发物出口形成蒸发物;(b)使蒸发物通过辉光放电电极,从蒸发物产生辉光放电单体等离子体;以及(c)将辉光放电单体等离子体低温冷凝于衬底上,并使辉光放电等离子体交联其上,其中由辉光放电等离子体中产生的自由基导致交联,并达到自固化。
  • 蒸汽化合物等离子体增强化学沉积方法

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