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[发明专利]用于制造微机械结构元件的方法和微机械结构元件-CN201680071569.4有效
发明人： P·卡佩;M·阿梅托沃布拉;J·阿姆托尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2016-10-12 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明提出用于制造微机械结构元件的方法，所述微机械结构元件具有衬底和与衬底连接且与衬底包围第一空穴的罩，在第一空穴中存在第一压力且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，在第一方法步骤中，在衬底或罩中构造连接第一空穴与微机械结构元件周围环境的进入开口，其中，第二方法步骤中，设定第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分，其中，在第三方法步骤中，通过借助于激光将能量引入到衬底或罩的吸收部分中来封闭进入开口，其中，在第四方法步骤中，实施衬底或罩的热处理以减小在衬底或罩中的温度梯度。
用于制造微机结构元件方法

[发明专利]具有扩散截止通道的微机械构件-CN201710032426.9有效
发明人： A·布莱特林;F·赖兴巴赫;J·莱茵穆特;J·阿姆托尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2017-01-16 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明提出用于制造微机械构件的方法，具有衬底和与衬底连接且与衬底包围第一空穴的罩，在第一空穴中存在第一压力且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，罩与衬底包围第二空穴，第二空穴中存在第二压力且包含具有第二化学组分的第二气体混合物，第一方法步骤中，在衬底或罩中构造连接第一空穴与微机械构件周围环境的进入开口，第二方法步骤中，设定第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分，第三方法步骤中，通过借助于激光将能量引入到衬底或罩的吸收部分中来封闭进入开口，第四方法步骤中，构造布置在第一空穴与第二空穴之间的空隙，用于排出第一气体混合物的第一微粒类型和/或第二气体混合物的第二微粒类型。
具有扩散截止通道微机构件

[发明专利]用于制造微机械构件的方法-CN201710032518.7有效
发明人： A·布莱特林;F·赖兴巴赫;J·莱茵穆特;J·阿姆托尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2017-01-16 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明提出用于制造微机械构件的方法，具有衬底和与衬底连接且与衬底包围第一空穴的罩，在第一空穴中存在第一压力且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，第一方法步骤中，在衬底或罩中构造连接第一空穴与微机械构件周围环境的进入开口，第二方法步骤中，调节第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分，第三方法步骤中，通过借助激光将能量或热量引入衬底或罩的吸收部分来封闭进入开口，其特征在于，第四方法步骤中，第一晶体层或第一无定型层或第一纳米晶体层或第一多晶体层在衬底或罩表面上沉积或生长，其中，在第五方法步骤中，将空隙引入到衬底或罩中，用于接收第一晶体层或第一无定型层或第一纳米晶体层或第一多晶体层。
用于制造微机构件方法

[发明专利]具有不同罩材料的激光再封装-CN201611114288.0有效
发明人： A·布莱特林;F·赖兴巴赫;J·弗莱;J·莱茵穆特;J·阿姆托尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2016-12-07 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明提出用于制造微机械构件的方法，具有衬底和与衬底连接且与衬底包围第一空穴的罩，在第一空穴中存在第一压力且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，‑第一方法步骤中，在衬底或罩中构造连接第一空穴与微机械构件周围环境的进入开口，‑第二方法步骤中，调节第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分，‑第三方法步骤中，通过借助激光将能量或热量引入衬底或罩的吸收部分来封闭进入开口，其特征在于，‑第四方法步骤中，第一晶体层或第一无定型层或第一纳米晶体层或第一多晶体层在衬底或罩表面上沉积或生长，‑第五方法步骤中，提供包括第二晶体层和/或第二无定型层和/或纳米晶体层和/或第二多晶体层的衬底或者罩。
具有不同材料激光封装

[发明专利]用于制造微机械结构元件的方法和微机械结构元件-CN201611101906.8有效
发明人： A·布莱特林;F·赖兴巴赫;J·莱茵穆特;J·阿姆托尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2016-12-05 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明提出一种用于制造微机械结构元件的方法，所述微机械结构元件具有基底以及与所述基底连接并且与所述基底包围第一空腔的盖，其中，在第一空腔中，第一压力占主导并且包括具有第一化学成分的第一气体混合物，其中，‑在第一方法步骤中，在基底中或者在盖中构造使第一空腔与微机械结构元件的周围环境连接的进口孔，其中，‑在第二方法步骤中，调节第一空腔中的第一压力和/或第一化学成分，其中，‑在第三方法步骤中，通过借助于激光将能量或热引入到基底或盖的吸收部分中来封闭进口孔，其中，在第四方法步骤中，将用于进一步调节第一压力和/或第一化学成分的反应气体引入到第一空腔中。
用于制造微机结构元件方法

[发明专利]用于加工衬底的设备-CN201610082140.7有效
发明人： F·赖兴巴赫;J·弗莱;M·阿梅特沃布拉;P·卡佩;J·巴茨;J·赖因穆特;J·阿姆托尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2016-02-05 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种用于加工衬底的设备(100)，所述设备具有：‑至少一个真空腔室(10)，在所述至少一个真空腔室中能够调节限定的气压；‑用于加热所述衬底的加热装置；以及‑布置在所述真空腔室(10)之外的激光器装置(20)，其中，所述激光器装置(20)相对于所述衬底可运动，其中，借助所述激光器装置(20)能够通过熔化衬底材料封闭布置在所述真空腔室(10)中的衬底的至少一个空腔。
用于加工衬底设备

[发明专利]用于避免激光再封装结构突出晶片表面的结构和工艺-CN201610985268.4在审
发明人： F·赖兴巴赫;J·赖因穆特;J·弗莱;J·阿姆托尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2016-10-25 - 公布日： 2017-08-11 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明提出一种用于制造微机械构件的方法，所述微机械构件具有衬底和与所述衬底连接并且连同所述衬底包围第一空穴的罩，其中，在所述第一空穴中存在第一压力并且包围具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，在第一方法步骤中，在所述衬底中或在所述罩中构造连接第一空穴与所述微机械构件的周围环境的进入开口；其中，在第二方法步骤中，调节所述第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分；其中，在第三方法步骤中，通过借助于激光器引入能量或热量到所述衬底的或所述罩的吸收部分中来封闭所述进入开口，其中，在第四方法步骤中，在所述衬底的或所述罩的背向所述第一空穴的表面中在所述进入开口的区域中构造凹槽，所述凹槽用于容纳所述衬底的或所述罩的在所述第三方法步骤中转换为液态物态的材料区域。
用于避免激光封装结构突出晶片表面工艺

[发明专利]具有应力补偿层的激光再封-CN201611113123.1在审
发明人： A·布莱特林;F·赖兴巴赫;J·莱茵穆特;J·阿姆托尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2016-12-07 - 公布日： 2017-08-11 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明提出用于制造微机械结构元件的方法，微机械结构元件具有基底和与基底连接并与基底包围一第一空腔的盖，其中，在第一空腔中，第一压力占主导并且包括具有第一化学成分的第一气体混合物，其中，在第一方法步骤中，在基底中或者在盖中构造使第一空腔与微机械结构元件的周围环境连接的进口孔，其中，在第二方法步骤中，调节第一空腔中的第一压力和/或第一化学成分，其中，在第三方法步骤中，通过借助于激光将能量或热导入到基底或盖的吸收部分中来封闭进口孔，其中，在第四方法步骤中，在基底的或盖的表面上在进口孔的区域中沉积或生长一个层，用于产生第二机械应力，所述第二机械应力反作用于在进口孔被封闭的情况下产生的第一机械应力。
具有应力补偿激光

[发明专利]用于在使用寿命中稳定空穴内部压力的附加面-CN201611108178.3在审
发明人： A·布莱特林;F·赖兴巴赫;J·莱茵穆特;J·阿姆托尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2016-12-06 - 公布日： 2017-07-14 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明提出一种用于制造微机械构件的方法，具有衬底和与衬底连接并且与衬底包围第一空穴的罩，其中，在第一空穴中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，‑在第一方法步骤中，在衬底或在罩中构造连接第一空穴与微机械构件周围环境的进入开口，其中，‑在第二方法步骤中，调节在第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分，其中，‑在第三方法步骤中，通过借助于激光器将能量或热量引入到衬底或罩的吸收部分中来封闭进入开口，其特征在于，在第四方法步骤中，用于继续调节第一压力和/或第一化学组分的吸气剂材料在衬底的面向第一空穴的第一表面上和/或在罩的面向第一空穴的第二表面上沉积或者生长。
用于使用寿命稳定空穴内部压力附加

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