专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]具有挠性互连结构的芯片尺寸封装-CN201510973389.2有效
  • M·冈萨雷斯;E·贝内;J·德沃斯 - IMEC非营利协会
  • 2015-12-22 - 2020-05-05 - H01L23/522
  • 一种芯片尺寸封装及其制造方法。芯片尺寸封装包括基片、挠性互连结构和粘结结构。基片在主表面处具有接触垫。挠性互连结构包括:在基片的主表面上的第一介电层;第一通路,电气接触接触垫并从接触垫延伸至第一介电层的第一上部主表面;平面金属弹簧,该弹簧位于第一上部主表面上,且在该弹簧的第一端处电气接触第一通路;第二介电层和第二通路,第二介电层位于第一介电层的顶部上并覆盖该弹簧,第二通路电气接触该弹簧的第二端,并从该弹簧延伸至第二介电层的第二上部主表面;位于第二上部主表面上的第二金属,电气接触第二通路。位于挠性互连结构顶部上的粘结结构电气接触第二金属。挠性互连结构的第一和第二介电层具有低于200MPa的弹性模量。
  • 具有互连结构芯片尺寸封装

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