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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于从光谱数据确定样品组成的方法及系统-CN202210757321.0在审
发明人： O·卡普伦科;J·克卢萨切克;T·图马;M·卡普伦科;O·马彻克 -专利权人： FEI 公司
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： G01N23/2273 文献下载
摘要：用于从光谱数据确定样品组成的方法及系统。公开用于从带电粒子显微镜系统所获取的光谱数据确定样品组成的方法及系统。通过用经训练神经网络（NN）处理所述光谱数据来识别样品中的化学元素。如果所识别的化学元素与所述样品的已知元素组成不匹配，那么用所述光谱数据及所述样品的所述已知元素组成重新训练所述经训练NN。接着可使用经重新训练的NN来识别其它样品内的化学元素。
用于光谱数据确定样品组成方法系统

[发明专利]用于谱数据的分量分析的方法和系统-CN202210106122.3在审
发明人： P·赫拉文卡;J·克卢萨切克;O·塞姆贝拉 -专利权人： FEI 公司
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： G01N23/20091 文献下载
摘要：用于谱数据的分量分析的方法和系统。响应于带电粒子束的照射，以谱数据的形式获取来自样品的发射。基于检测器的特性由机器学习估计器将所述谱数据分解为丰度和谱分量。基于所述丰度和所述谱分量生成示出所述样品的组成信息的图像。
用于数据分量分析方法系统

[发明专利]使用带电粒子束设备检查样品的方法-CN202111002223.8在审
发明人： O·卡普连科;O·马切克;T·维斯塔维尔;J·克卢萨切克;K·布克维绍娃;M·卡普连科 -专利权人： FEI 公司
申请日： 2021-08-30 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： G01N23/2252 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于使用带电粒子束设备检查样品的方法和设备。本文所定义的所述方法包括以下步骤：响应于所述带电粒子束照射所述样品，使用第一检测器检测来自所述样品的第一类型的发射。所述方法进一步包括以下步骤：响应于所述带电粒子束照射所述样品，获取关于来自所述样品的第二类型的发射的光谱信息。如本文所定义，所述获取光谱信息的步骤包括以下步骤：提供光谱信息预测算法，以及基于检测到的所述第一类型的发射作为所述算法的输入参数，使用所述算法来预测所述光谱信息。由此可以仅使用BSE检测器来收集EDS数据。
使用带电粒子束设备检查样品方法

[发明专利]使用带电粒子显微镜检查样品的方法-CN202010756834.0在审
发明人： T·图玛;J·克卢萨切克;J·派特雷克 -专利权人： FEI公司
申请日： 2020-07-31 - 公布日： 2021-02-23 - 主分类号： G01N23/20091 文献下载
摘要：本发明涉及使用带电粒子显微镜检查样品的方法，其包含以下步骤：提供带电粒子射束以及样品；使所述带电粒子射束在所述样品上扫描；和使用第一检测器检测因响应于样品的扫描射束而产生的来自所述样品的第一类型的发射。检测到的所述第一类型的发射的光谱信息用于将多个相互不同的相位分配给所述样品。在另外的步骤中，参考HSV颜色空间，使对应的多种不同的颜色色调与所述多个相互不同的相位相关联。使用第二检测器检测因响应于样品的扫描射束而产生的来自所述样品的第二类型的发射。最后，提供了所述样品的图像表示。
使用带电粒子显微镜检查样品方法

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