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[发明专利]用以接合衬底的装置及方法-CN201811177139.8有效
发明人： T.瓦根莱特纳;M.温普林格;P.林德纳;T.普拉赫;F.库尔茨 -专利权人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
申请日： 2013-05-29 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01L21/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种用以接合衬底的装置及方法，其中在第一接纳设备(1)的第一接纳表面(2o)上安置该第一衬底(3)且在第二接纳设备(4)的第二接纳表面(2o')上接纳该第二衬底(8);在接合起始位点(20)上接触该接触表面(3k、8k);沿着自该接合起始位点(20)行进至该衬底(3、8)的侧边缘(3s、8s)的接合波将该第一衬底(3)接合至该第二衬底(8)，其中该第一衬底(3)和/或该第二衬底(8)经变形以在该接合之前和/或在该接合期间使该接触表面(3k、8k)在该接合起始位点(20)外对准。
用以接合衬底装置方法

[发明专利]用以接合衬底的装置及方法-CN201811176948.7有效
发明人： T.瓦根莱特纳;M.温普林格;P.林德纳;T.普拉赫;F.库尔茨 -专利权人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
申请日： 2013-05-29 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H01L21/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种用以接合衬底的装置及方法，其中在第一接纳设备(1)的第一接纳表面(2o)上安置该第一衬底(3)且在第二接纳设备(4)的第二接纳表面(2o')上接纳该第二衬底(8);在接合起始位点(20)上接触该接触表面(3k、8k);沿着自该接合起始位点(20)行进至该衬底(3、8)的侧边缘(3s、8s)的接合波将该第一衬底(3)接合至该第二衬底(8)，其中该第一衬底(3)和/或该第二衬底(8)经变形以在该接合之前和/或在该接合期间使该接触表面(3k、8k)在该接合起始位点(20)外对准。
用以接合衬底装置方法

[发明专利]用以接合衬底的装置及方法-CN201811176940.0有效
发明人： T.瓦根莱特纳;M.温普林格;P.林德纳;T.普拉赫;F.库尔茨 -专利权人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
申请日： 2013-05-29 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： H01L21/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种用以接合衬底的装置及方法，其中在第一接纳设备(1)的第一接纳表面(2o)上安置该第一衬底(3)且在第二接纳设备(4)的第二接纳表面(2o')上接纳该第二衬底(8);在接合起始位点(20)上接触该接触表面(3k、8k);沿着自该接合起始位点(20)行进至该衬底(3、8)的侧边缘(3s、8s)的接合波将该第一衬底(3)接合至该第二衬底(8)，其中该第一衬底(3)和/或该第二衬底(8)经变形以在该接合之前和/或在该接合期间使该接触表面(3k、8k)在该接合起始位点(20)外对准。
用以接合衬底装置方法

[发明专利]用以接合衬底的装置及方法-CN201811176939.8有效
发明人： T.瓦根莱特纳;M.温普林格;P.林德纳;T.普拉赫;F.库尔茨 -专利权人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
申请日： 2013-05-29 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种用以接合衬底的装置及方法，其中在第一接纳设备(1)的第一接纳表面(2o)上安置该第一衬底(3)且在第二接纳设备(4)的第二接纳表面(2o')上接纳该第二衬底(8);在接合起始位点(20)上接触该接触表面(3k、8k);沿着自该接合起始位点(20)行进至该衬底(3、8)的侧边缘(3s、8s)的接合波将该第一衬底(3)接合至该第二衬底(8)，其中该第一衬底(3)和/或该第二衬底(8)经变形以在该接合之前和/或在该接合期间使该接触表面(3k、8k)在该接合起始位点(20)外对准。
用以接合衬底装置方法

[发明专利]用以接合衬底的装置及方法-CN201811176950.4有效
发明人： T.瓦根莱特纳;M.温普林格;P.林德纳;T.普拉赫;F.库尔茨 -专利权人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
申请日： 2013-05-29 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H01L21/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种用以接合衬底的装置及方法，其中在第一接纳设备(1)的第一接纳表面(2o)上安置该第一衬底(3)且在第二接纳设备(4)的第二接纳表面(2o')上接纳该第二衬底(8);在接合起始位点(20)上接触该接触表面(3k、8k);沿着自该接合起始位点(20)行进至该衬底(3、8)的侧边缘(3s、8s)的接合波将该第一衬底(3)接合至该第二衬底(8)，其中该第一衬底(3)和/或该第二衬底(8)经变形以在该接合之前和/或在该接合期间使该接触表面(3k、8k)在该接合起始位点(20)外对准。
用以接合衬底装置方法

[发明专利]用以接合衬底的装置及方法-CN201811177137.9有效
发明人： T.瓦根莱特纳;M.温普林格;P.林德纳;T.普拉赫;F.库尔茨 -专利权人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
申请日： 2013-05-29 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01L21/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种用以接合衬底的装置及方法，其中在第一接纳设备(1)的第一接纳表面(2o)上安置该第一衬底(3)且在第二接纳设备(4)的第二接纳表面(2o')上接纳该第二衬底(8);在接合起始位点(20)上接触该接触表面(3k、8k);沿着自该接合起始位点(20)行进至该衬底(3、8)的侧边缘(3s、8s)的接合波将该第一衬底(3)接合至该第二衬底(8)，其中该第一衬底(3)和/或该第二衬底(8)经变形以在该接合之前和/或在该接合期间使该接触表面(3k、8k)在该接合起始位点(20)外对准。
用以接合衬底装置方法

[发明专利]用于结合两个基板的装置和方法-CN202310010441.9在审
发明人： M.温普林格;F.库尔茨;V.德拉戈伊 -专利权人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
申请日： 2016-09-29 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本提出了用于结合两个基板的装置、系统和方法。第一基板保持器具有凹部和隆起。
用于结合两个装置方法

[发明专利]用于结合两个基板的装置和方法-CN202310010432.X在审
发明人： M.温普林格;F.库尔茨;V.德拉戈伊 -专利权人： EV集团E·索尔纳有限责任公司
申请日： 2016-09-29 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提出了用于结合两个基板的装置、系统和方法。第一基板保持器具有凹部和隆起。
用于结合两个装置方法

[发明专利]用于结合两个基板的装置和方法-CN201680089133.8有效
发明人： M.温普林格;F.库尔茨;V.德拉戈伊 -专利权人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
申请日： 2016-09-29 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提出了用于结合两个基板的装置、系统和方法。第一基板保持器具有凹部和隆起。
用于结合两个装置方法

[发明专利]用于接合衬底的方法-CN202210003742.4在审
发明人： F.库尔茨;T.瓦根莱特纳;T.普拉赫;J.M.聚斯 -专利权人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
申请日： 2016-02-16 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： H01L21/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于将第一衬底（2）与第二衬底（2＇）在所述衬底（2，2＇）的接触面（2o，2o＇）处接合的方法，其具有如下步骤、尤其是如下流程：‑用保持力FH1将所述第一衬底（2）保持在第一样品支架（1）的第一样品支架表面（1o）上，以及用保持力FH2将所述第二衬底（2＇）保持在第二样品支架（1＇）的第二样品支架表面（1o＇）上，‑将所述接触面（2o，2o＇）在接合发起部位（20）处接触并且至少将所述第二样品支架表面（1o，1o＇）加热到加热温度TH，‑沿着从所述接合发起部位（20）伸展至所述衬底（2，2＇）的侧边缘（2s，2s＇）的接合波，将所述第一衬底（2）与所述第二衬底（2＇）接合，其特征在于，在接合期间减小在所述第二样品支架表面（1o＇）上的所述加热温度TH。
用于接合衬底方法

[发明专利]用于接合衬底的设备和方法-CN202210003747.7在审
发明人： F.库尔茨;T.瓦根莱特纳;T.普拉赫;J.M.聚斯 -专利权人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
申请日： 2016-02-16 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： H01L21/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于将第一衬底（2）与第二衬底（2＇）在所述衬底（2，2＇）的接触面（2o，2o＇）处接合的方法，其具有如下步骤、尤其是如下流程：‑用保持力FH1将所述第一衬底（2）保持在第一样品支架（1）的第一样品支架表面（1o）上，以及用保持力FH2将所述第二衬底（2＇）保持在第二样品支架（1＇）的第二样品支架表面（1o＇）上，‑将所述接触面（2o，2o＇）在接合发起部位（20）处接触并且至少将所述第二样品支架表面（1o，1o＇）加热到加热温度TH，‑沿着从所述接合发起部位（20）伸展至所述衬底（2，2＇）的侧边缘（2s，2s＇）的接合波，将所述第一衬底（2）与所述第二衬底（2＇）接合，其特征在于，在接合期间减小在所述第二样品支架表面（1o＇）上的所述加热温度TH。
用于接合衬底设备方法

[发明专利]用于接合衬底的方法-CN202210003748.1在审
发明人： F.库尔茨;T.瓦根莱特纳;T.普拉赫;J.M.聚斯 -专利权人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
申请日： 2016-02-16 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： H01L21/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于将第一衬底（2）与第二衬底（2＇）在所述衬底（2，2＇）的接触面（2o，2o＇）处接合的方法，其具有如下步骤、尤其是如下流程：‑用保持力FH1将所述第一衬底（2）保持在第一样品支架（1）的第一样品支架表面（1o）上，以及用保持力FH2将所述第二衬底（2＇）保持在第二样品支架（1＇）的第二样品支架表面（1o＇）上，‑将所述接触面（2o，2o＇）在接合发起部位（20）处接触并且至少将所述第二样品支架表面（1o，1o＇）加热到加热温度TH，‑沿着从所述接合发起部位（20）伸展至所述衬底（2，2＇）的侧边缘（2s，2s＇）的接合波，将所述第一衬底（2）与所述第二衬底（2＇）接合，其特征在于，在接合期间减小在所述第二样品支架表面（1o＇）上的所述加热温度TH。
用于接合衬底方法

[发明专利]用于接合衬底的方法-CN202210003795.6在审
发明人： F.库尔茨;T.瓦根莱特纳;T.普拉赫;J.M.聚斯 -专利权人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
申请日： 2016-02-16 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： H01L21/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于将第一衬底（2）与第二衬底（2＇）在所述衬底（2，2＇）的接触面（2o，2o＇）处接合的方法，其具有如下步骤、尤其是如下流程：‑用保持力FH1将所述第一衬底（2）保持在第一样品支架（1）的第一样品支架表面（1o）上，以及用保持力FH2将所述第二衬底（2＇）保持在第二样品支架（1＇）的第二样品支架表面（1o＇）上，‑将所述接触面（2o，2o＇）在接合发起部位（20）处接触并且至少将所述第二样品支架表面（1o，1o＇）加热到加热温度TH，‑沿着从所述接合发起部位（20）伸展至所述衬底（2，2＇）的侧边缘（2s，2s＇）的接合波，将所述第一衬底（2）与所述第二衬底（2＇）接合，其特征在于，在接合期间减小在所述第二样品支架表面（1o＇）上的所述加热温度TH。
用于接合衬底方法

[发明专利]用于接合衬底的方法-CN202210003792.2在审
发明人： F.库尔茨;T.瓦根莱特纳;T.普拉赫;J.M.聚斯 -专利权人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
申请日： 2016-02-16 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： H01L21/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于将第一衬底（2）与第二衬底（2＇）在所述衬底（2，2＇）的接触面（2o，2o＇）处接合的方法，其具有如下步骤、尤其是如下流程：‑用保持力FH1将所述第一衬底（2）保持在第一样品支架（1）的第一样品支架表面（1o）上，以及用保持力FH2将所述第二衬底（2＇）保持在第二样品支架（1＇）的第二样品支架表面（1o＇）上，‑将所述接触面（2o，2o＇）在接合发起部位（20）处接触并且至少将所述第二样品支架表面（1o，1o＇）加热到加热温度TH，‑沿着从所述接合发起部位（20）伸展至所述衬底（2，2＇）的侧边缘（2s，2s＇）的接合波，将所述第一衬底（2）与所述第二衬底（2＇）接合，其特征在于，在接合期间减小在所述第二样品支架表面（1o＇）上的所述加热温度TH。
用于接合衬底方法

[发明专利]用于接合衬底的方法-CN202210003793.7在审
发明人： F.库尔茨;T.瓦根莱特纳;T.普拉赫;J.M.聚斯 -专利权人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
申请日： 2016-02-16 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： H01L21/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于将第一衬底（2）与第二衬底（2＇）在所述衬底（2，2＇）的接触面（2o，2o＇）处接合的方法，其具有如下步骤、尤其是如下流程：‑用保持力FH1将所述第一衬底（2）保持在第一样品支架（1）的第一样品支架表面（1o）上，以及用保持力FH2将所述第二衬底（2＇）保持在第二样品支架（1＇）的第二样品支架表面（1o＇）上，‑将所述接触面（2o，2o＇）在接合发起部位（20）处接触并且至少将所述第二样品支架表面（1o，1o＇）加热到加热温度TH，‑沿着从所述接合发起部位（20）伸展至所述衬底（2，2＇）的侧边缘（2s，2s＇）的接合波，将所述第一衬底（2）与所述第二衬底（2＇）接合，其特征在于，在接合期间减小在所述第二样品支架表面（1o＇）上的所述加热温度TH。
用于接合衬底方法

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