“F·涂”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果8个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]用于掩模修复的方法和设备-CN202310287860.7在审
发明人： C·F·赫尔曼斯;P·史派兹;D·林诺;M·鲁姆勒;H·施奈德;F·涂;L·阿梅尔斯;B·赫尔德 -专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
申请日： 2023-03-22 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G03F1/72 文献下载
摘要：本发明有关用于处理光刻物体的方法、设备及计算机程序。更具体而言，本发明有关一种用于去除材料的方法、一种对应的设备及一种用于晶片光刻处理的方法、以及一种用于执行所述方法的计算机程序。用于处理光刻物体的方法例如包含：提供含有第一分子的第一气体；在该物体的工作区域中提供粒子束，用于至少部分基于该第一气体去除该工作区域中的第一材料，其中该第一材料包含钌。
用于修复方法设备

[发明专利]用于蚀刻光刻掩模的方法与设备-CN202180057024.9在审
发明人： F·涂;H·施奈德;M·鲍尔;P·斯皮斯;M·鲁姆勒;C·F·赫尔曼斯 -专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
申请日： 2021-08-06 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G03F1/74 文献下载
摘要：用于光刻掩模(100)、特别是用于非透射式EUV光刻掩模的粒子束诱导蚀刻的方法具有以下步骤：a)在工艺气体环境(ATM)中提供(S1)光刻掩模(100)，b)将聚焦粒子束(110)发射(S2)到光刻掩模(100)上的目标位置(ZP)上，c)供应(S3)至少一个第一气体成分(GK1)至工艺气体环境(ATM)中的目标位置(ZP)，其中第一气体成分(GK1)可通过活化转化为反应形式，其中反应形式与光刻掩模(100)的材料反应以形成挥发性化合物，以及d)供应(S4)至少一个第二气体成分(GK2)至工艺气体环境(ATM)中的目标位置(ZP)，其中在预定工艺条件下暴露于粒子束(100)的第二气体成分(GK2)形成沉积物，其包含硅与氧、氮和/或碳的化合物。
用于蚀刻光刻方法设备

[发明专利]用于从电力公司的电力系统的选定区域建立动态列表的方法-CN200910145994.5无效
发明人： T·戈达特;G·卡斯泰利;H·D·布兰德;M·哈克特;M·Q·霍华德;L·E·琼斯;H·S·顺恩;F·涂;W·M·奎尔达斯 -专利权人：阿海珐输配电公司
申请日： 2009-06-12 - 公布日： 2010-03-24 - 主分类号： G06F3/048 文献下载
摘要：提供了用于从电力公司的电力系统的选定区域建立动态列表的方法。电力公司具有带有控制面板的能源管理系统。能源管理系统用来访问站点的一个或多个源显示窗。橡皮条或套索技术用来从源显示窗的至少一部分建立选定区域。列表被动态地建立。针对来自已被橡皮条或套索选定的区域的网络元素列表中的各个元素类型显示操作人员定义信息。
用于电力公司电力系统选定区域建立动态列表方法

[发明专利]用于管理来自电力公司的电力系统的选定区域的高压或低压状况的方法-CN200910145995.X无效
发明人： T·戈达特;G·卡斯泰利;H·D·布兰德;M·哈克特;M·Q·霍华德;L·E·琼斯;H·S·顺恩;F·涂;W·M·奎尔达斯 -专利权人：阿海珐输配电公司
申请日： 2009-06-12 - 公布日： 2010-03-24 - 主分类号： G06Q10/00 文献下载
摘要：提供了用于管理来自电力公司的电力系统的选定区域的高压或低压状况的方法。橡皮条或套索技术用来选择地理区域。可能的低压或高压状况在选定的地理区域中被标识。地域显示窗与添加的乏储备叠加以建立选定地理区域的重叠地域显示窗。重叠地域显示窗用来标识选定的地理区域中可能的低压或高压状况。
用于管理来自电力公司电力系统选定区域高压低压状况方法

[发明专利]用于评估电力公司的电力系统的方法-CN200910145996.4无效
发明人： T·戈达特;G·卡斯泰利;H·D·布兰德;M·哈克特;M·Q·霍华德;L·E·琼斯;H·S·顺恩;F·涂;W·M·奎尔达斯 -专利权人：阿海珐输配电公司
申请日： 2009-06-12 - 公布日： 2010-03-24 - 主分类号： G06Q10/00 文献下载
摘要：提供了用于评估电力公司的电力系统的可靠性的方法。获得至少一个主观察显示窗。越限标记在该主观察显示窗上显示。被监控元素标签利用被监控元素的列表更新。
用于评估电力公司电力系统方法

[发明专利]用于评估电力公司的可能处于险境事态的方法-CN200910145993.0无效
发明人： T·戈达特;G·卡斯泰利;H·D·布兰德;M·哈克特;M·Q·霍华德;L·E·琼斯;H·S·顺恩;F·涂;W·M·奎尔达斯 -专利权人：阿海珐输配电公司
申请日： 2009-06-12 - 公布日： 2010-03-24 - 主分类号： H02J13/00 文献下载
摘要：提供了用于评估电力公司的可能处于险境事态的方法。访问了站点的一个或多个源显示窗。弹出框或数据透镜化用来将源显示窗的一部分显示在前面。弹出框或数据透镜化用来引起对可能处于险境事态的注意、并引导操作人员的注意力而不失去对电力公司的整个电力系统的观察。
用于评估电力公司可能处于险境事态方法

[发明专利]提供对会影响电力公司的可能处于险境事态的实时评估的能源管理系统-CN200910145992.6无效
发明人： T·戈达特;G·卡斯泰利;H·D·布兰德;M·哈克特;M·Q·霍华德;L·E·琼斯;H·S·顺恩;F·涂;W·M·奎尔达斯 -专利权人：阿海珐输配电公司
申请日： 2009-06-12 - 公布日： 2010-03-24 - 主分类号： G06Q10/00 文献下载
摘要：一种能源管理系统具有：电力公司处的控制中心；以及提供对会影响电力公司的可能处于险境事态的实时评估的逻辑资源。本系统提供了至少一个事态仪表板。逻辑资源使操作人员能根据大的观察窗、区域示意性显示窗、以及站点单线显示窗建立辅助操作人员评估电力系统的可能处于险境事态的他们自己的仪表板。
提供影响电力公司可能处于险境事态实时评估能源管理系统

[发明专利]提供对可能的能源管理故障的实时事态认知的能源管理系统-CN200910146204.5无效
发明人： T·戈达特;G·卡斯泰利;H·D·布兰德;M·哈克特;M·Q·霍华德;L·E·琼斯;H·S·顺恩;F·涂;W·M·奎尔达斯 -专利权人：阿海珐输配电公司
申请日： 2009-06-12 - 公布日： 2009-12-16 - 主分类号： G06Q10/00 文献下载
摘要：一种能源管理系统具有：电力公司处的控制中心；以及耦合至电力系统的提供会影响电力公司的能源管理的状况的实时通知的逻辑资源。耦合至逻辑资源的至少一个用户界面在控制中心处设置。用户界面提供对可能的能源管理故障的实时事态认知。
提供可能能源管理故障实时事态认知系统