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[发明专利]使用堆叠式四硼酸锶板的频率转换-CN202180039712.2在审
发明人：勇-霍·亚历克斯·庄;银英·肖李;E·洛基诺娃;J·费尔登;张百钢 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2021-06-07 - 公布日： 2023-02-14 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：在激光器组合件的最终频率转换级中使用包含堆叠式四硼酸锶SrB4O7(SBO)晶体板的非线性晶体以产生波长在125nm到183nm范围内的激光器输出光，所述堆叠式四硼酸锶SrB4O7晶体板经协作配置以形成周期性结构以用于进行准相位匹配(QPM)。使用多个中间频率转换级将具有介于1μm与1.1μm之间的基波波长的一或多个基波光束加倍及/或求和以产生一或多个中间光束频率(例如，二次谐波到八次谐波或其和)，且然后所述最终频率转换级利用所述非线性晶体将单个中间光束频率进行加倍或对两个中间光束频率进行求和以产生具有高功率及高光子能量电平的所期望激光器输出光。还描述一种方法及一种并入有所述激光器组合件的检验系统。
使用堆叠硼酸频率转换

[发明专利]作为光学玻璃材料的四硼酸锶-CN202080049159.6在审
发明人：勇-霍·亚历克斯·庄;银英·李;E·洛基诺娃;J·费尔登 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2020-07-08 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： G02B1/02 文献下载
摘要：四硼酸锶可用作光学材料。四硼酸锶展现高折射率、高光学损坏阈值及高微硬度。四硼酸锶的透射窗涵盖从130nm到3200nm的非常广的波长范围，从而使所述材料在VUV波长下尤其有用。由四硼酸锶制成的光学组件可并入于光学系统中，例如半导体检验系统、计量系统或光刻系统。这些光学组件可包含镜面、透镜、透镜阵列、棱镜、光束分离器、窗、灯单元或布鲁斯特角光学器件。
作为光学玻璃材料硼酸

[发明专利]作为光学涂覆材料的四硼酸锶-CN202080032685.1在审
发明人：勇-霍·亚历克斯·庄;银英·肖李;E·洛基诺娃;J·费尔登 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2020-05-06 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：与常规光学材料相比，将四硼酸锶用作在半导体检验及计量系统中利用的光学组件的光学涂覆材料，以利用其高折射率、高光学破坏阈值及高的微硬度。至少一个四硼酸锶层形成在光学组件的衬底的光接收表面上，使得其厚度用于增大或减小所述光学组件的反射比。一或多个额外涂覆层可放置在所述四硼酸锶层的顶部上或下方，其中所述额外涂覆层由常规光学材料组成。所述额外层的厚度可经选择以实现所述光学组件在特定波长下的期望反射比。所述经涂覆光学组件用于在半导体检验系统、计量系统或光刻系统中利用的照明源或光学系统中。
作为光学材料硼酸