专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]衬底处理设备和方法-CN201910764138.1在审
  • D·K·戴罗伊斯特 - ASMIP控股有限公司
  • 2019-08-19 - 2020-03-03 - H01L21/67
  • 本申请公开了一种衬底处理设备和方法,所述衬底处理设备包括湿法处理站,所述湿法处理站具有用于在衬底上涂布抗蚀剂的抗蚀剂涂布装置和/或用于在所述衬底上显影所述抗蚀剂的显影处理装置。所述设备可具有额外处理站和衬底处置器,所述衬底处置器用于将所述衬底移动到所述湿法处理站和/或所述额外处理站且在进入和/或离开所述衬底处理设备的方向上移动所述衬底。所述额外处理站包括渗透装置。所述方法包括用所述衬底处理设备处理衬底。
  • 衬底处理设备方法

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