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[发明专利]用于热处理衬底上形成的结构的方法和装置-CN201310180448.1有效
发明人： A·马耀;M·杨;A·巴拉克里希纳;P·凯里;D·詹宁斯;S·莫法特;W·谢弗;A·N·雷纳;T·N·托马斯;A·M·亨特 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2007-02-23 - 公布日： 2013-09-11 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：本发明一般描述用来在衬底的预期区域上执行退火处理的一种或多种设备及多种方法。在一实施例中，传送一定量的能量至衬底表面以优先熔化衬底的某些预期区域，以去除先前处理步骤造成的不需要的损害，而使掺杂剂更均匀地分布在衬底的各个区域内，和／或活化衬底的各个区域。因为掺杂剂原子在衬底的熔化区内的扩散速率以及溶解度增加，所以该优先熔化处理使这些掺杂剂可更均匀地分布在熔化区内。因而熔化区的创建容许：1)这些掺杂剂原子更均匀地重新分布，2)去除先前处理步骤中所造成的缺陷，以及3)形成具有超陡峭（hyper-abrupt）掺杂剂浓度的区域。
用于热处理衬底形成结构方法装置

[发明专利]快速热处理基板的适应性性控制方法-CN200780012505.8无效
发明人： J·M·瑞尼西;T·迪克西特;D·詹宁斯;B·拉马钱德兰;A·亨特;W·阿德霍尔德;B·亚当斯;W·T·张 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2007-03-07 - 公布日： 2009-07-29 - 主分类号： G01L9/06 文献下载
摘要：本发明涉及快速热处理(RTP)基板的方法。本发明的实施例包括利用实时适应性控制算法或利用选自用于各种基板类型的固定控制算法系列的控制算法来控制热处理制造工艺。基于热处理期间测量的基板的光学特性来选择控制算法。在一实施例中，使用组合的控制算法，其中大部分的照灯群组受控于固定的控制算法，而实质上较少量的照灯区域受控于适应性控制算法。
快速热处理适应性控制方法

[发明专利]扳机上带有减振部件的注射装置-CN200780019888.1有效
发明人： N·哈里森;D·詹宁斯 -专利权人：西拉格国际有限公司
申请日： 2007-05-30 - 公布日： 2009-06-10 - 主分类号： A61M5/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种扳机上带有减振部件的注射装置。该注射装置(110)包括壳体(112)和驱动器(121)，该驱动器(121)在被扳机(114)释放时作用于注射器(122)。扳机(114)能从静止位置运动到活动位置，在该静止位置，所述扳机(114)使所述驱动器(121)被保持，在该活动位置，所述扳机(114)不再使所述驱动器(121)被保持。减振部件(132)被布置成与所述扳机(114)连接以防止所述装置(110)的意外启动。该注射装置(110)提供改进的可靠性并且对由冲击力，例如当装置(110)掉落在坚硬表面上时引起的损坏的恢复。扳机(114)在致动后也保持在其活动位置，表明所述装置(110)已经被使用过。此外，由扳机(114)的操作产生的令人不悦的噪音被减少。
扳机带有部件注射装置

[发明专利]用于热处理衬底上形成的结构的方法和装置-CN200780008142.0有效
发明人： A·马耀;M·杨;A·巴拉克里希纳;P·凯里;D·詹宁斯;S·莫法特;W·谢弗;A·N·雷纳;T·N·托马斯;A·M·亨特 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2007-02-23 - 公布日： 2009-03-25 - 主分类号： H01L21/76 文献下载
摘要：本发明一般描述用来在衬底的预期区域上执行退火处理的一种或多种设备及多种方法。在一实施例中，传送一定量的能量至衬底表面以优先熔化衬底的某些预期区域，以去除先前处理步骤造成的不需要的损害，而使掺杂剂更均匀地分布在衬底的各个区域内，和/或活化衬底的各个区域。因为掺杂剂原子在衬底的熔化区内的扩散速率以及溶解度增加，所以该优先熔化处理使这些掺杂剂可更均匀地分布在熔化区内。因而熔化区的创建容许：1)这些掺杂剂原子更均匀地重新分布，2)去除先前处理步骤中所造成的缺陷，以及3)形成具有超陡峭(hyper-abrupt)掺杂剂浓度的区域。
用于热处理衬底形成结构方法装置

[发明专利]使用低温沉积含碳硬掩膜的半导体基材制程-CN200680029299.7无效
发明人： K·拉马斯瓦米;H·哈那瓦;B·加罗;K·S·考林斯;K·玛;V·帕里哈;D·詹宁斯;A·J·马耀;A·奥－巴亚缇;A·恩盖耶 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2006-08-07 - 公布日： 2008-08-13 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明提供一种利用光学可写式掩膜处理一半导体基材上的薄膜结构的方法，其包括将该基材置放于一反应器处理室中，该基材于其表面上具有一欲依据预定图案作蚀刻的目标层；藉由下列方式于该基材上沉积含碳硬掩膜层：(a)将含碳制程气体引入处理室中；(b)藉由将等离子射频电源耦合至一再进入路径的外部的方式于该再进入路径中形成再进入环形射频等离子电流，其中该再进入路径包括一位于该工作件上方的制程区；以及(c)将射频等离子偏压电源或偏压电压耦合至该工作件。该方法更包括于该含碳硬掩膜层中光微影地定义该预定图案，并在该硬掩膜层的存在下蚀刻该目标层。
使用低温沉积含碳硬掩膜半导体基材

[发明专利]时间数据检验单元、用于检验时间数据的电子设备和方法-CN200610172969.2有效
发明人： D·詹宁斯;E·德尔夫斯;U·兰詹;A·斯格尔科 -专利权人：英飞凌科技股份公司
申请日： 2006-10-19 - 公布日： 2007-05-30 - 主分类号： G04G7/00 文献下载
摘要：提供可由用户改变的第一时间数据，并且将所述第一时间数据存储在第一存储器中。此外在第一时间数据的检验单元外部进行的改变的情况下，确定在所存储的第一时间数据与被改变的第一时间数据之间的差。此外在使用可靠的第二时间数据、所述第一时间数据、以及所述差的情况下检验，是否符合预先给定的准则。
时间数据检验单元用于电子设备方法

[发明专利]数据处理设备、电信终端设备和借助数据处理设备处理数据的方法-CN200510135854.1无效
发明人： E·德夫斯;M·戈德克;U·希德布兰德;D·詹宁斯 -专利权人：因芬尼昂技术股份公司
申请日： 2005-12-23 - 公布日： 2006-06-28 - 主分类号： G06F21/00 文献下载
摘要：设置有用于输入数据的数据输入单元以及第一处理器和第二处理器。该第一处理器被设立用于接收和处理在第一数据输入模式中被输入到数据输入单元中的数据，而第二处理器被设立用于接收和处理在第二、安全相关的数据输入模式中被输入到数据输入单元中的数据。
数据处理设备电信终端设备借助处理数据方法

[发明专利]用于灯的分区域控制的系统和方法-CN03809972.1无效
发明人： D·詹宁斯 -专利权人：应用材料有限公司
申请日： 2003-03-04 - 公布日： 2005-08-03 - 主分类号： H05B3/00 文献下载
摘要：根据对半导体晶片进行热处理的制法，一个工作电压施加到第一和第二组上。然后可以确定，工作电压是介于预定的低电压与预定的上限电压之间的电压范围内的一个干扰电压。随后，第一电压被施加到第一组加热灯上，第二电压被供给到第二组加热灯上。第一电压高于预定的上限电压，而第二电压低于预定的低电压。而且，第一和第二电压的一个加权平均值近似于这一干扰电压。同时，根据本制法，工作电压加到剩余的一批加热灯上，这时，工作电压低于预定的上限电压。
用于区域控制系统方法

[发明专利]输送装置-CN00810190.6无效
发明人： P·赫尔格松;D·詹宁斯;M·杰普松;B·麦克迈克尔;M·帕顿 -专利权人：阿斯特拉曾尼卡有限公司
申请日： 2000-07-07 - 公布日： 2002-07-24 - 主分类号： B05B11/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于输送一定容积液体的手动输送装置,包括一个壳体,该壳体包括一个在使用中输送液体的出口(27);一个盖元件(39),其相对于壳体可动地设置在第一位置和第二位置之间,在第一位置中所述盖元件(39)至少局部地覆盖出口(27),在第二位置中所述盖元件(39)用作一个控制杆,使用时被使用者操纵以致动输送装置。该输送装置还包括一个表示输送装置致动次数的指示器。还提供用于锁定输送装置的装置,以便防止输送装置已经被致动预定次数后再次操作输送装置。
输送装置

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