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[发明专利]用于制造过程参数估计的模块式自动编码器模型-CN202180088188.8在审
发明人： A·奥纳斯;B·J·M·铁默斯马;N·弗赫尔;R·德克斯 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G06N3/084 文献下载
摘要：描述一种模块式自动编码器模型。该模块式自动编码器模型包括：输入模型，该输入模型被配置成将一个或更多个输入处理成适于与其它输入组合的第一级维度；共同模型，该共同模型被配置成：降低所组合的经处理的输入的维度以在潜在空间中产生低维度数据；并且将该潜在空间中的该低维度数据扩展成适于产生一个或更多个不同的输出的该一个或更多个输入的一个或更多个扩展版本；输出模型，该输出模型被配置成使用该一个或更多个输入的该一个或更多个扩展版本来产生该一个或更多个不同的输出，该一个或更多个不同的输出是该一个或更多个输入的近似值；以及预测模型，该预测模型被配置成基于该潜在空间中的该低维度数据来估计一个或更多个参数。
用于制造过程参数估计模块自动编码器模型

[发明专利]用于制造过程参数估计的模块式自动编码器模型-CN202180088590.6在审
发明人： B·J·M·铁默斯马;A·奥纳斯;N·弗赫尔;R·德克斯 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G06N3/0455 文献下载
摘要：描述一种模块式自动编码器模型。该模块式自动编码器模型包括：输入模型，该输入模型被配置成将一个或更多个输入处理成适于与其它输入组合的第一级维度；共同模型，该共同模型被配置成：降低所组合的经处理的输入的维度以在潜在空间中产生低维度数据；并且将该潜在空间中的该低维度数据扩展成适于产生一个或更多个不同的输出的该一个或更多个输入的一个或更多个扩展版本；输出模型，该输出模型被配置成使用该一个或更多个输入的该一个或更多个扩展版本来产生该一个或更多个不同的输出，该一个或更多个不同的输出是该一个或更多个输入的近似值；以及预测模型，该预测模型被配置成基于该潜在空间中的该低维度数据来估计一个或更多个参数。
用于制造过程参数估计模块自动编码器模型

[发明专利]用于制造过程参数估计的模块式自动编码器模型-CN202180088237.8在审
发明人： A·奥纳斯;B·J·M·铁默斯马;N·弗赫尔;R·德克斯;D·巴比埃里;H·A·范拉霍文 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G06N3/08 文献下载
摘要：描述一种模块式自动编码器模型。该模块式自动编码器模型包括：输入模型，该输入模型被配置成将一个或更多个输入处理成适于与其它输入组合的第一级维度；共同模型，该共同模型被配置成：降低所组合的经处理的输入的维度以在潜在空间中产生低维度数据；并且将该潜在空间中的该低维度数据扩展成适于产生一个或更多个不同的输出的该一个或更多个输入的一个或更多个扩展版本；输出模型，该输出模型被配置成使用该一个或更多个输入的该一个或更多个扩展版本来产生该一个或更多个不同的输出，该一个或更多个不同的输出是该一个或更多个输入的近似值；以及预测模型，该预测模型被配置成基于该潜在空间中的该低维度数据来估计一个或更多个参数。
用于制造过程参数估计模块自动编码器模型