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- [发明专利]等离子体光源-CN201180034427.8有效
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B·普雷斯顿
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塞拉维申有限公司
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2011-07-12
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2013-06-12
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H01J65/04
- 高频光源(11)具有熔融石英的中央主体(12),中央主体(12)具有中央的中空(14),中空(14)填充有可由高频能量激发的材料的填充物(16),以形成发光等离子体。穿孔金属片的内部套管(17)沿着中央主体的长度延伸至在距离中空端部的2.5mm内,以提供发射间隙(18)。套管具有跨越中央主体的另一内部端延伸的横向端部(19)。具有内部孔(21)的熔融石英的外部圆柱体(20)例如与内部套管滑动安装,内部套管滑动安装在中央主体上。穿孔金属的外部套管(22)包围外部圆柱体并且具有跨越石英主体和圆柱体(12,20)的齐平中空端部延伸的端部(23)。外部套管具有在铝托架(26)上超出石英元件的另一齐平端延伸的裙边(25),裙边(25)被夹住,以保持石英元件抵接托架。由此,套管与其端部(22)和托架(26)形成围绕石英和等离子体中空(14)的法拉第罩。与托架绝缘的天线(27)从托架延伸至石英圆柱体(20)的孔(28)中,用于将HF辐射引入到由内部和外部套管(17,22)形成的共轴波导中。它们的穿孔使得它们不透明并且包封HF辐射,但仍然透光,从而来自等离子体的光可以传播通过它们。托架中天线的部分提供至未示出的HF能量源的连接。以与外部套管及其端部(23)相同的方式,内部套管(17)在其端部(19)被接地到托架。由此,内部套管的端部和法拉第罩的端部之间的间隙(18)形成用于HF能量的发射间隙以辐射至等离子体中空,并且建立和维持其中的等离子体。来自等离子体的光传播通过石英并且传播通过套管和端部(19)中的穿孔,由此从光源发射。
- 等离子体光源
- [发明专利]灯-CN201080057758.9无效
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B·普雷斯顿
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塞拉维申有限公司
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2010-12-16
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2012-11-21
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H01J61/33
- 一种厚壁电极灯(11),具有接附到其两端部的钼杯密封(10)。该密封具有延伸到厚壁管的孔所形成的中空(15)中的钨电极(14)。该密封还包括钨杯(16),其具有设置在短的薄壁石英管(18)的端部中的羽状边缘(17),该石英管(18)熔合到厚壁石英管(12)的端部。电极在接点(19)处钎焊到所述杯。该灯中可填充有其惰性气体或金属卤化物填料,或其他通过杯状密封前方的辅助抽气管(20)而填充的激发材料。
- 灯
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