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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]衬底载运器-CN201780016298.7有效
发明人： M·L·约翰逊;G·M·加拉格尔;B·格雷格森 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2017-02-09 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明公开一种衬底容器(100)，其包含基底(105)及盖(115)。盖(115)配合基底(105)以界定封闭空间。互锁托架(405)的堆叠可安置于基底(105)内。每一互锁托架(405)包含嵌入凸缘(410)，其界定用于支撑衬底的配准面(420)。互锁托架(405)还包含凸肩部分(415)。离隙特征(435)界定于凸肩部分(415)与配准面(420)之间的接合点。离隙特征(435)可防止衬底的尖锐边缘接触凸肩部分(415)，借此减少颗粒产生。
衬底载运

[发明专利]具有集成静电放电缓解的流体回路-CN202211102782.0在审
发明人： J·利斯;J·C·林德;J·J·麦肯齐;B·格雷格森;B·C·雷伊乔 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2019-02-27 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H05F3/02 文献下载
摘要：本申请涉及具有集成静电放电缓解的流体回路。所述流体回路包含多个管件节段及多个操作组件。每一管件节段包含：i)非导电聚合物部分，其界定流体通道；及ii)一或多个内部导电氟聚合物条带，其轴向延伸到所述相应管件节段中的每一者的端。每一操作组件包含导电氟聚合物，其在形成所述流体回路的一部分的多个管件连接器配件之间延伸，其中所述管件连接器配件中的每一者将所述操作组件的相应导体导电地连接到所述管件节段的所述内部导电氟聚合物条带以提供延伸穿过每一操作组件及每一管件节段到达接地的路径。
具有集成静电放电缓解流体回路

[发明专利]具有集成静电放电缓解的流体回路-CN201980030822.5有效
发明人： J·利斯;J·C·林德;J·J·麦肯齐;B·格雷格森;B·C·雷伊乔 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2019-02-27 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： F16L9/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种流体回路，其包含多个管件节段及多个操作组件。每一管件节段包含：i)非导电聚合物部分，其界定流体通道；及ii)一或多个内部导电氟聚合物条带，其轴向延伸到所述相应管件节段中的每一者的端。每一操作组件包含导电氟聚合物，其在形成所述流体回路的一部分的多个管件连接器配件之间延伸，其中所述管件连接器配件中的每一者将所述操作组件的相应导体导电地连接到所述管件节段的所述内部导电氟聚合物条带以提供延伸穿过每一操作组件及每一管件节段到达接地的路径。
具有集成静电放电缓解流体回路

[发明专利]具有侧光罩遏制的光罩舱-CN201780053077.7有效
发明人： R·拉施克;B·格雷格森;S·埃格门 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2017-08-24 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G03F1/66 文献下载
摘要：一种光罩舱，其包含外舱、内舱盖和内底座板。光罩支撑在所述底座上，且包含在由所述内舱盖和所述内舱底座产生的环境内。所述内舱盖可包含多个光罩保持器，其经配置以接触所述光罩的侧壁，并限制所述光罩在水平方向上的移动。
具有侧光罩遏制光罩舱

[发明专利]柔性衬底载运器-CN201780016407.5在审
发明人： M·L·约翰逊;G·M·加拉格尔;B·格雷格森 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2017-02-09 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种衬底容器(100)包含容座(105)及盖(110)。所述容座(105)包含用于支撑衬底的基底部分(115)及从所述基底部分(115)向上延伸的侧壁部分(120)。所述盖(110)在所述容座(105)上方界定封闭件。在一个实施例中，所述容座(105)包含位于所述容座(105)的外表面上的第一对准特征(300、305)。所述第一对准特征(300、305)自动界接来对准所述容座(105)。在另一实施例中，所述盖(110)包含用于将压缩负载施加到所述衬底容器(100)的内容物的轮廓化表面(135)。
容座衬底容器对准特征衬底向上延伸压缩负载封闭件轮廓化内容物载运器侧壁界定界接对准施加支撑

[发明专利]用于柔性衬底的微环境-CN201780015202.5在审
发明人： M·V·史密斯;G·M·加拉格尔;B·格雷格森;M·A·富勒;M·L·约翰逊 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2017-02-09 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底容器(1100)，其包含界定开口的壳(1105)及用于选择性地密封所述开口的门(1505)。悬臂式支撑托架(1120)支撑所述壳(1105)内的衬底(1115)。所述支撑托架(1120)包含支撑轴环(1300)，其用于将所述支撑托架(1120)耦合到支撑柱(1215)，使得所述支撑托架(1120)从所述支撑柱(1215)悬吊。
支撑托架支撑柱衬底开口悬臂式支撑衬底容器支撑轴环微环境耦合到界定托架悬吊密封支撑

[发明专利]带隔离系统的光罩盒-CN200680013975.1有效
发明人： B·格雷格森;D·哈伯梅尔;S·森纳;B·怀斯曼;A·M·蒂本;J·斯特里克 -专利权人：安堤格里斯公司
申请日： 2006-02-27 - 公布日： 2008-04-23 - 主分类号： B65D85/00 文献下载
摘要：本发明提供一种光罩容器，其配备有辅助容器，所述辅助容器容纳光罩并容纳于主容器中。所述辅助容器通过震动及振动隔离部件固持于主容器内，从而使所述辅助容器在主容器内具有多个运动自由度。所述光罩紧固于所述辅助容器内部，从而使从光罩容器传递至光罩的震动及振动得到实质衰减。
隔离系统光罩盒

[发明专利]带均压的衬底容器-CN200680014024.6无效
发明人： B·格雷格森;D·哈伯梅尔;S·森纳;B·怀斯曼;A·M·蒂本;J·斯特里克 -专利权人：安堤格里斯公司
申请日： 2006-02-27 - 公布日： 2008-04-23 - 主分类号： B65G1/133 文献下载
摘要：本发明是一种用于容纳对微粒敏感的衬底的盒，用于在所述盒的外部与内部环境之间提供均压并用于使靠近所述对微粒敏感的衬底的内部气态流体流最小化。所述盒包含主盒、以及位于封盖中的隔膜，所述隔膜具有正常的未挠曲位置，所述隔膜可相对于所述正常的未挠曲位置发生挠曲。较佳地，所述盒包含设置于所述主盒中的辅助盒，以界定用于容纳所述对微粒敏感的衬底的第二外壳。所述盒可包含过滤器，所述过滤器附装至所述盒并在所述盒的外部与所述盒的内部之间提供气态流体连通。所述隔膜可响应于快速的压力变化，而所述过滤器可响应于较慢的压力变化并使所述隔膜能够返回至其正常的未挠曲位置。
带均压衬底容器

[发明专利]晶片容器的缓冲系统-CN03804458.7有效
发明人： G·博雷斯;M·扎布卡;B·格雷格森 -专利权人：诚实公司
申请日： 2003-02-21 - 公布日： 2005-07-13 - 主分类号： B65D85/00 文献下载
摘要：一种晶片容器，其包括具有供晶片装入和取出的敞开前部(24)的容器部分(20)，包括带有缓冲系统(140，142)的门(100)，该缓冲系统利用独特的晶片限制系统(114)和结构特征来为晶片提供最大的保护，并可防止所述晶片旋转。门(100)的一个特征是，门盖板的前部具有一对锁定凹腔，它们位于门(100)的朝外侧面上。锁定凹腔容纳有二个带有锁定件(130)的锁定机构(122，124)，锁定件伸出到门(100)的上、下边缘之外。锁定机构(122，124)被一对门面板(118，120)所覆盖，门面板具有钩子(186)，其与门(100)的周边相连，并且还与垂直方向上的中部附近的柱子相连。
晶片容器缓冲系统

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