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[发明专利]用于封闭开口的门-CN201180007474.3有效
发明人： F.盖泽;A.诺伊梅尔;C.瓦格纳 -专利权人： VAT控股公司
申请日： 2011-01-18 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： F16K51/02 文献下载
摘要：一种用于使真空腔室（4）的腔室壁（3）中的开口（2）相对于大气封闭的门，其包括封闭部件（1）、门体（10）以及至少一个倾翻执行器（25，25’，26，26’），所述封闭部件安置在至少一个连杆（9，9’，9”）上，并且所述封闭部件能够在打开位置、中间位置以及闭合位置之间调整，在所述打开位置中所述封闭部件释放开口（2），在所述中间位置中所述封闭部件覆盖开口（2）但是从包围开口（2）的底座（7）中升起来，在所述闭合位置中所述封闭部件压紧到所述底座（7）上；所述门体承载有至少一个连杆（9，9’，9”）和所述封闭部件（1），并且所述门体为了在所述中间位置与所述闭合位置之间调整所述封闭部件（1）能够相对于所述腔室壁（3）围绕倾翻轴线（20）倾翻；所述倾翻执行器具有内部空腔（27），能够将压缩气体导入到所述空腔中，以使所述门体（10）围绕倾翻轴线（20）倾翻。所述倾翻执行器（25，25’，26，26’）的至少一个限定所述倾翻执行器（25，25’，26，26’）的内部空腔（27）的壁（39）至少在其伸展部的区段上弹性地和/或柔性地构造。
用于封闭开口

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