专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]基于阵列的表征工具-CN202210723696.5在审
  • A·利普金德;A·罗森塔尔;F·基莱塞;J·格尔林;L·穆劳伊;R·海恩斯 - 科磊股份有限公司
  • 2019-04-30 - 2022-09-13 - G02B21/00
  • 本申请实施例涉及基于阵列的表征工具。一种扫描电子显微术SEM系统包含多个电子束源,该多个电子束源经配置以产生初级电子束。该SEM系统包含具有多个电子光学柱的电子光学柱阵列。电子光学柱包含多个电子光学元件。该多个电子光学元件包含偏转器层,该偏转器层经配置以经由由该多个电子光学柱中的至少一些电子光学柱共享的共同控制器驱动;且包含修整偏转器层,该修整偏转器层经配置以由个别控制器驱动。该多个电子光学元件经布置以形成电子束通道,该电子束通道经配置以将该初级电子束引导到固定于载台上的样本,该样本响应于该初级电子束而发射电子束。该电子光学柱包含电子检测器。该电子束通道经配置以将该电子束引导到该电子检测器。
  • 基于阵列表征工具

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