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- [发明专利]层叠膜-CN201380020136.2有效
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山下恭弘;黑田俊也
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住友化学株式会社
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2013-04-11
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2016-11-09
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B32B3/30
- 本发明提供一种层叠膜，其基材的表面已平坦化，且气体阻隔性优异。在具有基材(2)和在基材(2)的表面上形成有薄膜层(3)的层叠膜(1)中，在垂直于基材(2)的表面的方向的截面上，将对基材的表面(21)的一个端部(211)和另一个端部(212)进行连结的方向设为(X)方向，并将垂直于(X)方向的方向设为(Y)方向，求出通过基材的表面(21)上的凸起部(23)的边缘(231)且平行于(X)方向的线段(x1)与通过凸起部(23)的顶点(232)且平行于(Y)方向的线段(y1)的交点(p1)，并将线段(y1)的顶点(232)与交点(p1)之间的距离设为a，且将线段(x1)的边缘(231)与交点(p1)之间的距离设为b，将凸起部(23)附近的平坦部(211)上的薄膜层(3)的厚度设为h；其中，所述截面是设定为使a/b的值成为最大的截面，所述表面(21)的所有凸起部(23)均满足由式(1)表示的关系：a/b＜0.7(a/h)‑1+0.31……(1)。
- 层叠
- [发明专利]成膜装置和成膜方法-CN201180048181.X有效
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长谷川彰;黑田俊也;真田隆
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住友化学株式会社
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2011-10-05
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2013-06-12
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C23C16/44
- 一种形成具有充分的阻气性且具有耐屈曲性的阻气性层叠膜的成膜装置。该成膜装置具有如下：真空室，其在内部收容基材；气体供给装置，其向该真空室内供给成膜气体，该成膜气体包含作为薄膜的原料的有机金属化合物和与该有机金属化合物发生反应的反应气体；一对电极，其配置在上述真空室内；等离子体发生用电源，其向这一对电极外加交流电力，使成膜气体的等离子体发生；控制部，其控制上述气体供给装置或上述等离子体发生用电源的任意一方或两方，切换第一反应条件和第二反应条件，所述第一反应条件是，通过所述有机金属化合物和反应气体反应，使含形成有机金属化合物的金属元素或半金属元素且不含碳的化合物生成，所述第二反应条件是，通过所述有机金属化合物和所述反应气体发生反应，使含形成有机金属化合物的碳和金属元素或半金属元素的含碳化合物生成。
- 装置方法
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