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[实用新型]一种空气压缩机气水分离的管路结构-CN202222245424.7有效
发明人：陈足君;胡龙飞;黄富源 -专利权人：国营安庆海燕机械厂
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： F04B39/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种空气压缩机气水分离的管路结构，涉及空气压缩机技术领域，包括连通一级冷却器和二级气缸的通气钢管，通气钢管间断设置且通气钢管之间安装有气水分离器，通气钢管安装有监测气体压力的气体压力表。本实用新型通过在一级冷却器和二级气缸的通气钢管上设置独立的气水分离器，气水分离器的容积大，可选用匹配型号多，同时在通气钢管安装用于监测气体压力的气体压力表，根据压力值，及时调整气水分离器，可以对气水彻底分离，保障气体压缩机的稳定运行。
一种空气压缩机水分管路结构

[发明专利]一种用于架空供电线路清理的无人机挂载激光切割机构-CN202110984459.X有效
发明人：陈曦;秦良;吴能成;胡卫军;刘均华;潘绍钦;黄眺信;蓝仕祥;黄富源;黄杰有 -专利权人：广西电网有限责任公司防城港供电局
申请日： 2021-08-25 - 公布日： 2023-02-07 - 主分类号： B64U10/13 文献下载
摘要：本发明提供一种用于架空供电线路清理的无人机挂载激光切割机构，包括激光切割装置本体，所述激光切割装置本体包括无人机，所述无人机的顶部安装有控制箱，所述无人机的边侧固定有支撑架，所述支撑架一端顶部安装有风叶，所述无人机的底部固定有固定座。该用于架空供电线路清理的无人机挂载激光切割机构固定座上安装有限位杆，限位杆通过旋转与两侧固定杆相接触，限位杆推动固定杆的斜杆向外侧打开，使固定杆形成支架使用，无人机下降与地面接触时通过固定杆与地面接触，固定杆通过扭力弹簧轴进行旋转，通过扭力弹簧轴自身的弹力对无人机的降落提供减震，避免受到损坏。
一种用于架空供电线路清理无人机激光切割机构

[发明专利]组合式晶舟结构-CN202110490026.9在审
发明人：黄立佐;吴进原;张修凯;黄富源 -专利权人：弘塑科技股份有限公司
申请日： 2021-05-06 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供一种组合式晶舟结构，包含一第一框架、一第二框架、二第一支撑板及二第二支撑板。其中，第二框架相对于第一框架设置。二第一支撑板及二第二支撑板分别透过复数连接杆被夹设于第一框架及第二框架之间。二第一支撑板及二第二支撑板可组合地被复数连接杆所穿设，二第一支撑板及二第二支撑板上各设置有复数沟槽，且该复数沟槽各具有一三角形截面以对应容置具有特定尺寸及特定翘曲度之复数晶圆，从而减少特殊尺寸之晶舟的购买需求，藉此降低晶圆的制造成本。
组合式结构

[实用新型]组合式晶舟结构-CN202120951775.2有效
发明人：黄立佐;吴进原;张修凯;黄富源 -专利权人：弘塑科技股份有限公司
申请日： 2021-05-06 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种组合式晶舟结构，包含一第一框架、一第二框架、二第一支撑板及二第二支撑板。其中，第二框架相对于第一框架设置。二第一支撑板及二第二支撑板分别透过复数连接杆被夹设于第一框架及第二框架之间。二第一支撑板及二第二支撑板可组合地被复数连接杆所穿设，二第一支撑板及二第二支撑板上各设置有复数沟槽，且该复数沟槽各具有一三角形截面以对应容置具有特定尺寸及特定翘曲度之复数晶圆，从而减少特殊尺寸之晶舟的购买需求，藉此降低晶圆的制造成本。
组合式结构

[发明专利]批次式基板浸泡洗边设备-CN202010332083.X在审
发明人：黄立佐;张修凯;黄富源 -专利权人：弘塑科技股份有限公司
申请日： 2020-04-24 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种批次式基板浸泡洗边设备，包括一槽体、一升降机构、一旋转机构、以及一洗边构件。所述槽体包括一容槽，用于盛装溶液及用于容纳基板载具及所述基板载具中的基板。所述升降机构，设置在所述槽体上，包括一升降座，所述升降座用于承载所述基板载具；所述旋转机构设置在所述升降座上，并且包括至少一旋转轴杆，用于与所述基板接触并带动所述基板旋转，所述旋转轴杆的表面设有复数个凹槽。所述洗边构件包括设置在所述凹槽外两侧的刷毛丛及/或设置在所述凹槽内表面的粗糙部，所述刷毛丛及/或粗糙部用于在所述旋转轴杆带动所述基板旋转时，摩擦所述基板的边缘。
批次式基板浸泡设备

[发明专利]基板湿处理设备及回收环-CN202010005819.2在审
发明人：吴宗恩;黄富源 -专利权人：弘塑科技股份有限公司
申请日： 2020-01-03 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本揭示提供一种基板湿处理设备及回收环。基板湿处理设备，包含旋转台、液体供应装置、液体回收装置、和多个气体回收装置。旋转台配置为放置基板。液体供应装置配置为对所述基板施加工艺液体。所述液体回收装置包含回收环，其配置为收集所述工艺液体及其混合的气液混合物。所述回收环包含多个区域和多个抽气口，且其中之一抽气口对应设置在其中之一区域。多个气体回收装置分别与所述回收环的所述多个抽气口对应连接，以收集所述回收环的对应区域内的所述气液混合物。
基板湿处理设备回收

[发明专利]晶圆湿处理工作站-CN202010000385.7在审
发明人： 黄富源;吴宗恩;邱云正;吴进原 -专利权人：弘塑科技股份有限公司
申请日： 2020-01-02 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本揭示提供一种晶圆湿处理工作站，包含浸泡槽、机械手臂、和单晶圆处理设备。晶圆以其板面垂直于水平面的方式浸入预先注满工艺液体的所述浸泡槽内。机械手臂包含保持部和翻转部。所述晶圆保持于所述保持部上。翻转部控制所述保持部相对于所述水平面翻转。通过所述翻转部将所述保持部翻转90度而使得所述晶圆以其板面平行于所述水平面的方式传送。单晶圆处理设备施加清洗液体至浸泡过所述工艺液体的晶圆的所述板面。晶圆湿处理工作站可对晶圆执行浸泡、喷洗等一系列清洗工艺，以实现具有芯片微小化和高密度导线布局的晶圆的清洗。
晶圆湿处理工作站

[发明专利]基板压平设备与使用所述基板压平设备的半导体制造方法-CN201610378204.8有效
发明人： 黄富源;刘文明;陈薇云;陈建龙 -专利权人：弘塑科技股份有限公司
申请日： 2016-05-31 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种基板压平设备和使用所述基板压平设备的半导体制造方法。所述基板压平设备，包含：一基座；一旋转臂，其一端与所述基座可转动地连接；以及一盘型组件，与所述旋转臂的另一端连接，其中所述盘型组件随着所述旋转臂在一垂直平面上的转动而向下移动，使得所述盘型组件的一盘面叠置于承载在一旋转夹头的一基板上，并且对所述基板施以一垂直向下的压力，以便将所述基板平整地压合于所述旋转夹头上。
压平设备使用述基板半导体制造方法

[实用新型]过条清洗机构-CN201922304548.6有效
发明人：李志平;莫海森;颜万涛;黄富源 -专利权人：胜美达电机（广西）有限公司
申请日： 2019-12-20 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： B08B1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了过条清洗机构，属于制品清洗装置领域，包括机架，所述机架上设置有清洗过条装置，清洗过条装置包括制品面清洗盒、进料输送带、治具压紧气缸、进料推进气缸、治具到位检测感应器、制品底部清洗盒、制品夹取过条装置、过条滑动支撑板、制品传送电机和空治具回流输送带，进料输送带和空治具回流输送带平行间隔设置在机架上。采用自动化设备自动过条、清洗，代替人工复杂过条清洗搬运动作，从而实现自动化代替手工作业的目的，使用制品面清洗盒和制品底部清洗盒完成对制品的两边和底部的清洗过程，使用进料推进气缸、治具压紧气缸和制品夹取过条装置完成把制品从治具中取出并传送到一个处理工艺的设备上，完成空治具的自动传回功能。
清洗机构

[实用新型]批次式基板浸泡洗边设备-CN202020636217.2有效
发明人：黄立佐;张修凯;黄富源 -专利权人：弘塑科技股份有限公司
申请日： 2020-04-24 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种批次式基板浸泡洗边设备，包括一槽体、一升降机构、一旋转机构、以及一洗边构件。所述槽体包括一容槽，用于盛装溶液及用于容纳基板载具及所述基板载具中的基板。所述升降机构，设置在所述槽体上，包括一升降座，所述升降座用于承载所述基板载具；所述旋转机构设置在所述升降座上，并且包括至少一旋转轴杆，用于与所述基板接触并带动所述基板旋转，所述旋转轴杆的表面设有复数个凹槽。所述洗边构件包括设置在所述凹槽外两侧的刷毛丛及/或设置在所述凹槽内表面的粗糙部，所述刷毛丛及/或粗糙部用于在所述旋转轴杆带动所述基板旋转时，摩擦所述基板的边缘。
批次式基板浸泡设备

[实用新型]一种架空输电线路导线识别系统-CN201922192029.5有效
发明人：胡卫军;秦良;陈荣旺;杨家正;胡星宇;黄富源;张宁;黄燕京 -专利权人：广西电网有限责任公司防城港供电局
申请日： 2019-12-10 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： H02G1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种架空输电线路导线识别系统，所述识别系统包括搭载在多旋翼无人机上的识别控制器、设置在架空输电线或杆塔上的识别标签和与所述识别控制器进行通信连接的远程终端，识别控制器包括标签感应模块、可见光照相机、超声波探测器、GPS定位模块、第一图像传输模块、中央控制器和供电模块，远程终端包括第二图像传输模块和PC机终端，所述标签感应模块、可见光照相机、超声波探测器、GPS定位模块、第一图像传输模块的通信控制端分别与所述中央控制器进行连接，所述中央控制器依次通过第一图像传输模块和第二图像传输模块与所述PC机终端进行通信。本实用新型实现了架空输电导线的自动识别，避免无人机与输电导线发生碰撞等意外事故。
一种架空输电线路导线识别系统

[实用新型]晶圆湿处理工作站-CN202020001771.3有效
发明人： 黄富源;吴宗恩;邱云正;吴进原 -专利权人：弘塑科技股份有限公司
申请日： 2020-01-02 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本揭示提供一种晶圆湿处理工作站，包含浸泡槽、机械手臂、和单晶圆处理设备。晶圆以其板面垂直于水平面的方式浸入预先注满工艺液体的所述浸泡槽内。机械手臂包含保持部和翻转部。所述晶圆保持于所述保持部上。翻转部控制所述保持部相对于所述水平面翻转。通过所述翻转部将所述保持部翻转90度而使得所述晶圆以其板面平行于所述水平面的方式传送。单晶圆处理设备施加清洗液体至浸泡过所述工艺液体的晶圆的所述板面。晶圆湿处理工作站可对晶圆执行浸泡、喷洗等一系列清洗工艺，以实现具有芯片微小化和高密度导线布局的晶圆的清洗。
晶圆湿处理工作站

[实用新型]基板湿处理设备及回收环-CN202020012759.2有效
发明人：吴宗恩;黄富源 -专利权人：弘塑科技股份有限公司
申请日： 2020-01-03 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本揭示提供一种基板湿处理设备及回收环。基板湿处理设备，包含旋转台、液体供应装置、液体回收装置、和多个气体回收装置。旋转台配置为放置基板。液体供应装置配置为对所述基板施加工艺液体。所述液体回收装置包含回收环，其配置为收集所述工艺液体及其混合的气液混合物。所述回收环包含多个区域和多个抽气口，且其中之一抽气口对应设置在其中之一区域。多个气体回收装置分别与所述回收环的所述多个抽气口对应连接，以收集所述回收环的对应区域内的所述气液混合物。
基板湿处理设备回收

[发明专利]清洗装置及方法-CN201811376756.0在审
发明人： 黄富源;吴宗恩;王志成 -专利权人：弘塑科技股份有限公司
申请日： 2018-11-19 - 公布日： 2020-05-26 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本揭示提供一种清洗装置及方法，用于去除芯片堆叠结构上的残留物。清洗装置包含：承载台，用于放置芯片堆叠结构，以及二流体喷嘴，可相对于承载台移动至与两相邻的芯片之间的间隔对准，其中二流体喷嘴用于施加包含化学液体和气体的气液混合流体至芯片堆叠结构上。通过气液混合流体的化学液体使在间隙内的残留物从其附着的表面分离，以及通过气液混合流体的气体施加的冲击力将残留物从间隙内带出。
清洗装置方法

[发明专利]清洗装置及方法-CN201810442825.7在审
发明人： 黄富源;吴宗恩;王志成 -专利权人：弘塑科技股份有限公司
申请日： 2018-05-10 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本揭示提供一种清洗装置及方法，用于去除一芯片堆叠结构上的残留物。所述清洗装置包含：一承载台，用于放置所述芯片堆叠结构；一供液装置，用于施加一清洗液体至所述芯片堆叠结构的基板上，使得所述清洗液体沿着间隙的第一侧流入所述间隙内；一抽液装置，用于提供一负压以将位在所述间隙内的所述清洗液体通过所述间隙的第二侧抽出，并且连带地带出残留物；以及一精密驱动装置，与所述抽液装置连接，具有一垂直升降机构，用于控制所述抽液装置相对所述承载台沿着一垂直方向移动，及一水平移动机构用于控制所述抽液装置相对所述承载台沿着一水平方向移动。
抽液装置芯片堆叠结构承载台清洗清洗装置垂直升降机构精密驱动装置水平方向移动水平移动机构供液装置液体通过负压基板连带去除抽出施加移动

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