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[发明专利]高电感值、高Q值和高谐振频率的薄膜电感器的制备方法-CN202110238832.7有效
发明人：余忠;青豪;孙科;冉茂君;邬传健;刘海;蒋晓娜;兰中文 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2021-03-04 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： H01F37/00 文献下载
摘要：一种高电感值、高Q值和高谐振频率的薄膜电感器，属于薄膜电感器制备技术领域。该薄膜电感器包括衬底基片，形成于衬底基片之上的磁性薄膜，形成于磁性薄膜之上的电感线圈；其中，所述衬底基片包括依次设置的硅基片、聚酰亚胺层和氮化硅层，聚酰亚胺层的厚度为30μm～70μm。本发明薄膜电感器通过在基底上形成聚酰亚胺层，有效降低了电感的衬底损耗和寄生电容，使薄膜电感器具有高的Q值和谐振频率；采用旋转喷涂法低温沉积磁性薄膜，避免聚酰亚胺层的高温分解开裂；通过对电感线圈的匝数、导线宽度、导线间距和导线厚度进行优化，最终得到了高电感值、高Q值和高谐振频率的薄膜电感器。
电感谐振频率薄膜电感器制备方法

[发明专利]一种高性能NiZn铁氧体薄膜的制备方法-CN202110238727.3有效
发明人：余忠;青豪;孙科;冉茂君;邬传健;刘海;蒋晓娜;兰中文 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2021-03-04 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： B05D1/02 文献下载
摘要：一种高性能NiZn铁氧体薄膜的制备方法，属于薄膜制备技术领域。包括：1)将亚硝酸钠、乙酸钠加入去离子水中，搅拌混合均匀，得到氧化反应液；2)将氯化亚铁、氯化镍、氯化锌、氯化钴加入去离子水中，搅拌混合均匀，得到还原反应液；3)将干净的基板放置于旋转喷涂设备的加热板中央，调节基板温度、旋转速度、氧化反应液和还原反应液的供应速率、超声雾化功率，沉积薄膜。本发明通过减少主配方中Fe含量并引入Co，降低了薄膜面内磁各向异性，提高NiZn铁氧体薄膜起始磁导率的同时还兼具高的截止频率和饱和磁化强度，为磁性薄膜应用于片上系统的电感器和高频开关电源提供了有效方法。
一种性能 nizn 铁氧体薄膜制备方法

[发明专利]一种改善旋转喷涂制备NiZn铁氧体薄膜性能的方法-CN202110225386.6有效
发明人：余忠;冉茂君;孙科;邬传健;青豪;蒋晓娜;兰中文 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2021-03-01 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： B05D7/24 文献下载
摘要：一种改善旋转喷涂制备NiZn铁氧体薄膜性能的方法，属于薄膜制备技术领域。包括：1)清洗基板；2)将可溶性二价铁盐、镍盐、锌盐加入去离子水中，配制还原反应液；将亚硝酸钠、乙酸盐、乙酸加入去离子水中，配制氧化反应液；3)在基板温度90～95℃、旋转速度100～150r/min、氧化和还原反应液的供应速率0.6～1.0L/h、超声雾化功率2～3W的条件下，沉积10～60min。本发明通过在氧化液中预先构建乙酸‑乙酸钠缓冲对，提高溶液反应体系中OH‑离子浓度稳定性，提高旋转喷涂法制备NiZn铁氧体薄膜的成膜质量，使薄膜具有更好的结晶性、更均匀的晶粒和更高的饱和磁化强度、磁导率。
一种改善旋转喷涂制备 nizn 铁氧体薄膜性能方法

[发明专利]一种降低旋转喷涂溶液接触角的薄膜制备方法-CN202110225396.X在审
发明人：余忠;冉茂君;孙科;邬传健;兰中文;蒋晓娜;青豪;刘海 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2021-03-01 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： C23C18/12 文献下载
摘要：一种降低旋转喷涂溶液接触角的薄膜制备方法，属于薄膜制备技术领域。包括：1)清洗基板；2)将可溶性二价铁盐、镍盐、锌盐、无水乙醇加入去离子水中，配制得到还原反应液；将亚硝酸钠、乙酸盐、无水乙醇加入去离子水中，配制得到氧化反应液；3)在基板温度为90～95℃、旋转速度为100～150r/min、氧化和还原反应液的供应速率为0.6～0.9L/h、超声雾化功率为2.5～3.5W的条件下，沉积10～60min。本发明通过在氧化反应液和还原反应液中添加乙醇，通过低表面张力的乙醇与去离子水互溶来降低溶液表面张力，浸润性增加，接触角变小，提高成膜率，对制备相关薄膜磁性器件提供了新方法。
一种降低旋转喷涂溶液接触角薄膜制备方法