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[发明专利]一种钌钴铼合金粉末的制备方法-CN202110310641.7有效
发明人：王永超;陈耘田;赵泽良;史豪杰;仝红岩;王留土;郑海强;居炎鹏;郭利乐;刘占军;李伟 -专利权人：河南东微电子材料有限公司
申请日： 2021-03-24 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： B22F1/065 文献下载
摘要：本发明公开了一种钌钴铼合金粉的制备方法，其步骤包括：一、按一定质量比称取钌粉（纯度99.99%）、钴片（纯度99.99%）、铼粉（纯度99.99%）；二、将原料混合放入中频真空感应炉中，在氩气保护下进行多次熔炼，得到均匀化的钌钴铼合金液；三、将母合金液经中间包导入高温气雾化炉，合金液流入雾化室进行气雾化分散，冷却后得到粉末；四、将步骤三所得粉末进行超声洗涤、干燥、分级筛分后，获得钌钴铼合金粉末产品。本发明通过限定原料和控制气雾化法工艺，可以制备纯度高于99.95%、平均粒径为15μm的钌钴铼合金粉末，该粉合金粉成分均匀、杂质少、流动性好。本发明工艺流程简单，适合批量化生产，满足磁控溅射靶材制备对高质量钌钴铼合金粉的要求。
一种钌钴铼合金粉末制备方法

[发明专利]一种氧化镁靶材背板的氧化铝涂层制备方法-CN202110746747.1有效
发明人：王永超;居炎鹏;赵泽良;仝红岩;王留土;郑海强;史豪杰;陈耘田;郭利乐;刘占军;李伟 -专利权人：河南东微电子材料有限公司
申请日： 2021-07-02 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： C23C4/134 文献下载
摘要：本发明提供了一种氧化镁靶材背板的氧化铝涂层制备方法，步骤包括：将氧化镁靶材溅射面、背板非喷涂面均用耐高温布包裹保护；清洗喷涂的部位；对喷涂部位进行喷砂处理；再次清洗喷涂部位；等离子喷涂工艺进行氧化铝喷涂；氧化铝涂层进行磨削抛光处理。本发明的氧化铝涂层能在磁控溅射中保护氧化镁靶材和背板，能有效避免焊接层料因发热而受损影响磁控溅射，延长氧化镁靶材使用寿命，对降低镀膜不良率，提高成膜质量起着至关重要作用。
一种氧化镁背板氧化铝涂层制备方法

[发明专利]一种用于铬钛靶材的CrTiLa合金粉末的制备方法-CN202011336758.4有效
发明人：王永超;居炎鹏;赵泽良;仝红岩;王留土;郑海强;史豪杰;陈耘田;郭利乐;刘占军;李伟 -专利权人：河南东微电子材料有限公司
申请日： 2020-11-25 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： B22F9/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于铬钛靶材的CrTiLa合金粉的制备方法，通过气雾化方法制备，包括：按一定量比称取Cr粉（纯度99.99%）、Ti粉（纯度99.95%）、La粉（纯度99.9%）；将混合粉放入中频真空感应炉中，在氩气气氛下进行多次熔炼，得到均匀化的CrTiLa合金液；将CrTiLa合金液导入高温气雾化炉，合金液流入雾化室进行气雾化分散，冷却后得到合金粉末；最后将CrTiLa合金粉末进行超声洗涤、干燥、分级筛分后，得到最终合金粉末。通过本发明专利方案制的合金粉末，粒径细小，平均粒径能达2～30μm，该粉合金粉成分均匀、杂质少、流动性好，满足磁记录介质靶材制备用粉体要求。
一种用于铬钛靶材 crtila 合金粉末制备方法

[实用新型]一种高纯钌靶生产用打磨装置-CN202121742337.1有效
发明人：王永超;居炎鹏;赵泽良;仝红岩;王留土;郑海强;史豪杰;陈耘田;郭利乐;刘占军;李伟 -专利权人：河南东微电子材料有限公司
申请日： 2021-07-29 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： B24B41/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高纯钌靶生产用打磨装置，包括底板，所述底板上表面的四角处设置有支撑柱，所述支撑柱的顶部固定有支撑板，所述支撑板的底部固定连接有打磨机构；所述底板的上表面的前后两侧均开设有水平的凹槽，所述凹槽内转动连接有双向螺纹杆，两个所述双向螺纹杆的左端均延伸至所述底板的外侧，且两者之间通过皮带传动连接，其中一个双向螺纹杆上设置有自锁式手轮；所述双向螺纹杆上螺纹旋向相反的部分上分别设置有移动块，所述移动块与所述双向螺纹杆之间螺纹连接且其卡设在所述凹槽内，所述移动块的上表面设置有伸缩机构，前后两个对应的伸缩机构之间设置有水平的安装杆，所述安装杆上套装有用于紧固靶材的夹持组件。
一种高纯生产打磨装置

[实用新型]一种高纯铬钛合金靶加工用清洗装置-CN202121742650.5有效
发明人：王永超;居炎鹏;赵泽良;仝红岩;王留土;郑海强;史豪杰;陈耘田;郭利乐;刘占军;李伟 -专利权人：河南东微电子材料有限公司
申请日： 2021-07-29 - 公布日： 2022-01-21 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及铬钛合金靶清洗技术领域，特别是一种高纯铬钛合金靶加工用清洗装置，包括清洗箱和位于清洗箱内的螺纹杆，螺纹杆的上端延伸出清洗箱的顶部并设有链轮，两个链轮通过链条传动连接，在清洗箱的一侧上方设有电机，电机的输出轴与其中一个螺纹杆同轴连接；在螺纹杆上分别设有滑块,在两个滑块之间设有支撑板，在支撑板上设有清洗网框，在清洗网框内设有放置网板，在每个放置网板上分别设有夹持板；在清洗箱的下部盛装有清洗液，在清洗箱的底部设有超声波发生器；在清洗箱的上部设有干燥装置，干燥装置包括进风口和通风口，在通风口内设有通风风扇。本实用新型具有清洗效率高、自动干燥、使用便捷高效的优点。
一种高纯钛合金工用清洗装置

[实用新型]存储芯片用氧化镁靶材分类研究台-CN202120832615.6有效
发明人：王永超;赵泽良;贾时君;陈耘田;陈渊博;王留土;张亚萌;李伟 -专利权人：河南东微电子材料有限公司
申请日： 2021-04-22 - 公布日： 2022-01-21 - 主分类号： B07B13/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了存储芯片用氧化镁靶材分类研究台包括箱体，所述箱体内壁设有若干块挡板，所述箱体内部设有第一空间、第二空间、第三空间、第四空间，所述第一空间、第二空间、第三空间、第四空间由相邻的两块所述挡板和挡板与箱体内壁围成，所述第一空间、第二空间、第三空间、第四空间直径依次降低，所述第一空间、第二空间、第三空间、第四空间的两内侧壁均固定连接有凸台，若干个所述凸台均设置斜度，若干个所述凸台斜度相等，所述箱体两内侧壁固定连接有同一个安装板，所述安装板与所述挡板上表面固定连接。本实用新型通过卡槽与不同直径的镁靶材配合，从而使不同直径的镁靶材进入不同的通孔内，实现了自动化分类大大提高了分类效率。
存储芯片氧化镁分类研究

[实用新型]氧化镁靶材制备用输送装置-CN202120832927.7有效
发明人：王永超;赵泽良;贾时君;陈耘田;陈渊博;王留土;张亚萌;李伟 -专利权人：河南东微电子材料有限公司
申请日： 2021-04-22 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： B02C13/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了氧化镁靶材制备用输送装置,包括底座，所述底座的上侧壁通过多个支脚固定连接有粉碎箱，所述粉碎箱的内顶壁与内底壁均固定连接有轴承，两个所述轴承的内圈共同固定连接有粉碎轴，所述粉碎轴的外壁固定套设有齿轮，所述粉碎轴的外壁固定连接有多个粉碎杆，所述粉碎箱的两侧内壁之间共同固定连接有过滤网。本实用新型通过往复转动的粉碎杆，实现对原料的充分粉碎，并通过鼓风机的设置，将原料循环粉碎，确保了原料被充分粉碎，从而提高氧化镁的提取率。
氧化镁制备输送装置

[实用新型]一种氧化镁靶材制备用存放设备-CN202120832594.8有效
发明人：王永超;赵泽良;贾时君;陈耘田;陈渊博;王留土;张亚萌;李伟 -专利权人：河南东微电子材料有限公司
申请日： 2021-04-22 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： B65D81/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种氧化镁靶材制备用存放设备，包括壳体，所述壳体的前侧设有第一安装槽，所述壳体的前侧通过合页转动连接有转动门，所述转动门的前侧安装有第一把手，所述第一安装槽内水平设有多个滑动板，所述第一安装槽的左右内壁设有多个滑动槽，每个所述滑动板的左右两端与对应的滑动槽内壁滑动连接，每个所述滑动板的上端安装有多个放置盒，所述第一安装槽的左右内壁均安装有多个照明灯。该装置搬运时候可以使用自锁万向轮和转动把手，实用性较强，安装盒内定时放置干燥剂，避免氧化镁受到潮气影响，打开转动门时，照明灯自动亮起，方便工作人员快速找到需要的原料，提高装置的使用效果。
一种氧化镁制备存放设备

[实用新型]一种旋转靶材绑定固定装置-CN202022818975.9有效
发明人：王永超;赵泽良;居炎鹏;陈耘田;郭利乐;仝红岩;王留土;郑海强;史豪杰;刘占军 -专利权人：河南东微电子材料有限公司
申请日： 2020-11-30 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： B22D19/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种旋转靶材绑定固定装置，包括底板，所述底板上壁固定连接有两个固定板，所述底板上壁固定连接有背管，所述底板上方设有旋转靶材，所述底板上壁固定连接有注液管，所述底板上方设有用于夹持旋转靶材的夹持机构。本实用新型结构设计合理，能够将旋转靶材夹紧，防止旋转靶材在绑定的过程中发生晃动，且能够保证旋转靶材与背管的圆心位于同一位置，以确保背管周围各个方向的绑定材料能够填充均匀，提高了旋转靶材的绑定效果，还能够使得液态绑定材料由下往上流动，能够保证填充材料均匀的布满空隙内，进一步提高了旋转靶材的绑定效果。
一种旋转绑定固定装置

[实用新型]一种靶材废料处理装置-CN202022849430.4有效
发明人：王永超;赵泽良;居炎鹏;陈耘田;郭利乐;仝红岩;王留土;郑海强;史豪杰;刘占军 -专利权人：河南东微电子材料有限公司
申请日： 2020-12-02 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： B08B3/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种靶材废料处理装置，包括底座，所述处理箱中开设有清洗槽，所述底座上固定安装有超声波发生器，所述处理箱底部安装有换能器，所述气动杆远离气缸一端安装有载物架，所述载物架和气动杆之间安装有卡紧装置，所述固定架上安装有水平推动装置。优点在于：本实用新型在处理箱中开设了清洗槽，同时处理箱的底部安装了超声波发生器和换能器，利用超声波进行清洗，代替了人工清洗的方式，不仅降低了工人的劳动强度，更是提高了清理的效率和质量，本实用新型通过第二电机和气缸分别控制载物架进行水平和垂直移动，同时利用卡紧装置来对载物架进行拆装，进而方便进行更换载物架，对载物架进行清洗以及卸料，提高了废料处理的效率。
一种废料处理装置

[实用新型]一种靶材与背板的连接结构-CN202022777407.9有效
发明人：王永超;赵泽良;居炎鹏;陈耘田;郭利乐;仝红岩;王留土;郑海强;史豪杰;刘占军 -专利权人：河南东微电子材料有限公司
申请日： 2020-11-26 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： B25B11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种靶材与背板的连接结构，包括背板本体与靶材本体，所述背板本体上设有放置槽，所述放置槽内设有连接板，所述连接板上设有安装槽，所述安装槽内设有用于夹紧靶材本体的夹紧机构，所述背板本体内设有一对安装腔，所述安装腔内设有用于固定连接板的卡接机构，所述背板本体内设有空腔，所述安装腔与空腔通过连接口连通，所述空腔内设有用于实现背板本体与连接板分离的拆卸机构。本实用新型结构合理，其便于对靶材与背板进行连接，操作方便，且可以快速拆卸更换。
一种背板连接结构

[实用新型]一种靶材贴合装置-CN202022777400.7有效
发明人：王永超;赵泽良;居炎鹏;陈耘田;郭利乐;仝红岩;王留土;郑海强;史豪杰;刘占军 -专利权人：河南东微电子材料有限公司
申请日： 2020-11-26 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： B32B37/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种靶材贴合装置，包括第一机架，两个第一机架的顶端固定连接有同一个固定座，所述固定座的顶端开设有滤料槽，所述滤料槽中固定连接有加热板，所述加热板的顶端设置有靶拖，所述靶拖的顶端设置有靶材，所述靶拖和靶材之间涂有易熔金属涂层，所述固定座的顶端固定连接有第二机架。本实用新型通过设置第一气缸、刮架和刮板，当靶材与靶拖之间完全牢固后，启动第一气缸，第一气缸的输出端带动刮架下移，刮架上的多个刮板将靶材和靶拖缝隙处溢出的易熔金属液刮除，刮除后的易熔金属液从滤料孔落到收集盒中进行收集，从而避免人工手动进行刮除，大大提高刮除效率，使用更加安全。
一种贴合装置

[实用新型]一种合金靶材的矫直装置-CN202022777408.3有效
发明人：王永超;赵泽良;居炎鹏;陈耘田;郭利乐;仝红岩;王留土;郑海强;史豪杰;刘占军 -专利权人：河南东微电子材料有限公司
申请日： 2020-11-26 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： B21D3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种合金靶材的矫直装置，包括安装板，所述安装板上方固定连接有固定块，且一端垂直固定连接有安装杆，所述固定块上滑动卡设有一对移动块，两个所述移动块相互远离的一端均固定连接有固定条，且相互贴近的一端中部均开设有安装口，两个所述安装口中均滑动连接有挤压块，两个所述挤压块相互贴近的一端均开设有矫直口，所述固定条的长度大于移动块的宽度。本实用新型中，通过转动转动块，使得两个移动块相互贴近，从而使得两个挤压块相互贴近，从而合金靶材与两个挤压块上开设的矫直口内壁贴合，从而达到了矫直的效果。
一种合金矫直装置

[实用新型]一种应用于靶材钎焊的加热平台-CN202022818958.5有效
发明人：王永超;赵泽良;居炎鹏;陈耘田;郭利乐;仝红岩;王留土;郑海强;史豪杰;刘占军 -专利权人：河南东微电子材料有限公司
申请日： 2020-11-30 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： B23K3/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种应用于靶材钎焊的加热平台，包括底座，所述底座的上端面固定连接有两个支撑板，两个所述支撑板上均设有电动滑轨，两个所述电动滑轨上滑动连接有升降板，所述升降板上侧设有焊材，所述升降板上设有用于融化焊材的加热机构，所述底座上固定连接有支撑台，所述支撑台上设有防溅槽，所述支撑台上设有靶材本体，所述靶材本体的右端设有承载板，左端所述支撑板上设有用于夹紧靶材的夹紧机构，右端所述支撑板上转动连接有伸缩杆。本实用新型结构合理，其能够自动进行钎焊，其机械化的钎焊，避免发生安全事故，同时还可以进行靶材的旋转，使得焊接更加全面。
一种应用于钎焊加热平台

[实用新型]一种大尺寸平面靶材冷等静压辅助夹具-CN202022821724.6有效
发明人：王永超;赵泽良;居炎鹏;陈耘田;郭利乐;仝红岩;王留土;郑海强;史豪杰;刘占军 -专利权人：河南东微电子材料有限公司
申请日： 2020-11-30 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： B28B3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种大尺寸平面靶材冷等静压辅助夹具，包括框架，所述框架上转动连接有双向丝杠，且双向丝杠上螺纹连接有两个套筒，两个所述套筒分别套接有上夹板和下夹板，且上夹板和下夹板均与框架滑动连接，所述上夹板的下端侧壁通过多个缓冲机构固定连接有缓冲板。本实用新型涉及冷等静压技术领域，通过设置的双向丝杠和两个套筒的配合，可以通过调控双向丝杠转动，使得上夹板和下夹板可以相互靠近或远离，快速对靶材进行夹持稳固或解除对靶材的夹持状态，相比于通过多个螺栓配合卡箍的固定方式，本装置更为便捷快速，且本装置可以对不同厚度的靶材进行稳固，大大提升了装置的适用范围。
一种尺寸平面靶材冷静压辅助夹具

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