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[发明专利]晶圆的表面形貌的获取方法-CN202310150815.7在审
发明人： 陈柔婧;陈梦来;叶星辰 -专利权人：上海精测半导体技术有限公司
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆的表面形貌的获取方法，包括：采集晶圆的至少三幅干涉条纹图；对所述晶圆进行划分，以获取所述晶圆上的多个分区；对至少三幅所述干涉条纹图进行处理，以分别获取每一个分区的振动相移量，并根据所述振动相移量获取每一个分区的相位分布图；将各分区的所述相位分布图进行拼接，以获取所述晶圆的相位分布图；将所述晶圆的相位分布图转换为用于描述表面形貌的高度分布图。本发明可以降低由于环境振动对于晶圆表面的形貌测量的结果的精度的影响。
表面形貌获取方法

[发明专利]一种改进5步相移干涉算法在极小相移步长下的应用-CN202210614771.4在审
发明人：韩森;陈柔婧;李雪园 -专利权人：苏州慧利仪器有限责任公司
申请日： 2022-06-01 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本发明公开了一种改进5步相移干涉算法在极小相移步长下的应用，具有这样的特征，包括以下步骤：步骤1，使相移器产生预先设定的极小相移步长；步骤2，由电荷耦合元件采样记录5幅干涉条纹图；步骤3，进一步由改进5步相移算法对干涉条纹图中的光强数据进行处理，得到不连续的包裹相位；步骤4，对不连续的包裹相位通过相位解包裹算法得到连续的待测相位分布。本发明在线性相移误差情况下，由于通过相位空间求和取平均运算，极大地减少了相位纹波误差，可计算得到高度近似实际相移的相移步长，进一步提高了5步Hariharan算法的精度。而在随机相移误差情况下，为完全利用干涉条纹信息，扩展了相移频率求解步骤。
一种改进相移干涉算法极小步长应用