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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于翘曲校正的方法和设备-CN202180050900.5在审
发明人： S·斯如纳乌卡拉苏;陈培翰;K·帕拉西塔森;苏俊良;F·J·林;陈正玮;W·J·D·张 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H10N10/01 文献下载
摘要：本文提供了用于处理基板的方法和设备。例如，一种用于处理基板的系统包括：处理腔室，所述处理腔室包括第一处理空间与第二处理空间；载体，所述载体设置在第一处理空间中，所述载体包括第一热电模块(TEM)，并且所述载体被配置成在基板被加热或冷却时支撑基板；以及吸盘，所述吸盘设置在第二处理空间中，所述吸盘包括第二TEM，并且所述吸盘被配置成从载体接收基板并在基板被加热或冷却时支撑基板；以及系统控制器，所述系统控制器被配置成在操作期间监测基板、载体或吸盘中的至少一者的温度，并基于基板、载体或吸盘中的至少一者的温度来供应电流至第一TEM或第二TEM中的至少一者。
用于校正方法设备

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