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[实用新型]一种高精度电容式位移传感器-CN202320517182.4有效
发明人：李洪敏;闫更辉;杨明远;陈峰 -专利权人：哈尔滨芯明天科技有限公司
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： G01B7/02 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种高精度电容式位移传感器，属于测量仪器技术领域。解决了现有电容式位移传感器无法实现稳定均匀的电场而影响测量精度的问题。它包括电极、探针和电极引线，所述电极上套接电极绝缘屏蔽环，所述电极和电极绝缘屏蔽环的外圈套接边缘电极环，所述边缘电极环上套接绝缘屏蔽绝缘环，所述边缘电极环和绝缘屏蔽绝缘环的外圈套接外壳，所述电极引线依次穿过引线座、探针绝缘套和探针固定环后，电极引线的线芯连接在探针上，所述探针固定环上安装屏蔽电极环，所述探针和电极引线安装在外壳内，所述探针与电极相连。它主要用于位移测量。
一种高精度电容位移传感器

[发明专利]一种高精度位置补偿装置-CN202211649099.9在审
发明人：杨明远;郑立双;闫更辉;赵璇;陈峰 -专利权人：哈尔滨芯明天科技有限公司
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H02N2/06 文献下载
摘要：本发明提出了一种高精度位置补偿装置，属于微动操作技术领域。它包括底座、运动机构和运动面，所述底座与运动机构的固定端刚性连接，所述运动机构的运动端与运动面刚性连接，所述运动机构数量为多个，多个运动机构沿圆周方向均匀分布，每个运动机构均为单独驱动控制，所述底座与运动机构及运动机构与运动面均为螺纹连接，所述运动机构的数量为2‑4个。它主要用于高精度位置补偿。
一种高精度位置补偿装置