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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]基板处理装置及蚀刻基板的控制方法-CN201911064906.9在审
发明人： 钟孟达;林建中;冯传彰;林世佳;何宗育 -专利权人：辛耘企业股份有限公司
申请日： 2019-11-04 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种基板处理装置及蚀刻基板的控制方法，基板处理装置包含基板承载模块、流体供应模块、侦测模块及控制模块。基板承载模块包括旋转台以供设置基板。流体供应模块包括喷嘴以供应蚀刻液。侦测模块包括光源发射器及光谱接收器，光源发射器用以发射光线至基板，光谱接收器用以接收从基板反射的光线并产生光谱信号。控制模块与流体供应模块及侦测模块电连接，并在基板被蚀刻过程中接收光谱信号且对应所接收的光谱信号产生实时光谱数据，再分析实时光谱数据以获得特征数据并据以判断是否已达蚀刻终点。通过在蚀刻制程中可以精准控制蚀刻终点，能使先进制程的基板的小线宽精准蚀刻(侧蚀)容易控制，并能节省制程时间以增加产能且延长蚀刻药水寿命。
处理装置蚀刻控制方法

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