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[实用新型]承载装置及处理设备-CN202120921355.X有效
发明人：董坤玲;李海卫;金建高;范铎;张鹏斌;陈鲁;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-04-29 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本申请提供一种承载装置及处理设备。承载装置包括第一夹持结构及能够相对第一夹持结构移动的第二夹持结构，第一夹持结构包括第一夹持环及自第一夹持环的内侧朝第一夹持环的中心延伸的第一夹持件，第一夹持件包括相接的承载面及第一斜面，承载面用于承载工件；第二夹持结构包括第二夹持环及自第二夹持环的内侧朝第二夹持环的中心延伸的第二夹持件，第二夹持件包括相接的夹持面及第二斜面；其中：在第二夹持结构相对第一夹持结构移动的过程中，第二斜面与第一斜面配合且相对移动，直至承载面与夹持面相对以使工件夹持于承载面与夹持面之间。本申请的承载装置中，第二斜面与第一斜面配合移动以缓缓夹持工件于承载面上，防止直接夹持而损坏工件。
承载装置处理设备

[实用新型]检测系统-CN202121227256.8有效
发明人：陈鲁;董坤玲;范铎;杨楠;金建高;张鹏斌;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-06-02 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本申请公开了一种检测系统。检测系统用于检测工件，检测系统包括安装装置、第一检测装置及第二检测装置，第一检测装置安装于安装装置，第一检测装置对工件的待检测面进行成像以得到二维图像，并用于检测待检测面上的二维缺陷；第二检测装置安装于安装装置，第二检测装置对待检测面上的三维特征进行成像以得到三维图像，并用于检测待检测面上的三维缺陷。同时设置第一检测装置及第二检测装置，可以较完整地对待检测面上各种类型的缺陷都进行检测，检测的效果较好，另外，在同一个检测系统中，就可以实现对二维缺陷和三维缺陷的检测，不需要将工件转移至其他的检测设备中再次进行缺陷检测，提高了检测的效率。
检测系统

[实用新型]半导体检测设备-CN202022720798.0有效
发明人：李海卫;张鹏斌;董坤玲;金建高;范铎;陈鲁 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2020-11-20 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本申请公开了一种半导体检测设备。半导体检测设备包括箱体、传输装置及校准装置。其中，箱体包括相互间隔的校准区及翻转区。传输装置位于箱体内的校准区及翻转区之外，传输装置用于获取并传输工件。校准装置位于箱体内的校准区，并用于校准工件的状态，传输装置还用于选择性地将校准后的工件传输至箱体外，或将工件传输至翻转区进行翻转，及将翻转后的工件传输至箱体外。本申请的半导体检测设备中，校准装置能够校准工件的状态，传输装置能够获取工件，并将工件传输校准区进行校准，或将工件传输至翻转区进行翻转，以根据需求使工件以正面朝上或背面朝上的状态并保持校准后的位置送入其他装置。
半导体检测设备

[实用新型]检测系统-CN202022730980.4有效
发明人：陈鲁;李海卫;张鹏斌;董坤玲;金建高;范铎 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2020-11-20 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本申请的检测系统包括承载装置和探测装置。承载装置用于承载待检测件，承载装置设有贯穿孔，待检测件包括相背的第一待检面和第二待检面；探测装置包括第一检测单元和第二检测单元，第一检测单元和第二检测单元设置在承载装置的相背两侧，第一检测单元与第一待检面相对，第二检测单元与第二待检面相对，第二检测单元用于检测第二待检面中与贯穿孔对应的第一待检区域的缺陷，第一检测单元用于检测第一待检面中的第二待检区域的缺陷，第一待检区域与第二待检区域位置对应。检测系统能够同时对第一待检面和第二待检面进行检测，检测效率较高。
检测系统

[实用新型]承载装置及半导体处理设备-CN202022715957.8有效
发明人： 金建高;张鹏斌;李海卫;范铎;董坤玲;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2020-11-20 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本申请公开了一种承载装置及半导体处理设备。承载装置包括承载件、压紧件及气路。承载件开设有腔体，腔体包括承载面，承载面开设有气槽。压紧件用于压迫工件的第一区域于承载面，工件的第二区域与腔体对应并与腔体的底面间隔，第一区域环绕第二区域。腔体的侧壁设置有气路，气路与气槽连通并用于抽气以将工件吸附在承载面。本申请的承载装置在需要对工件的背面进行处理时，将工件的背面朝上并将工件的正面朝下并承载在承载面上。如此，一方面工件的背面朝上便于对其进行光学检测等其他处理；另一方面，由于工件正面的第一区域承载在承载面上，工件正面的第二区域与腔体的底面间隔，能够减小处理过程中对工件的污染及造成缺陷的几率。
承载装置半导体处理设备

[实用新型]承载装置及半导体处理设备-CN202022718976.6有效
发明人：陈鲁;李海卫;张鹏斌;董坤玲;金建高;范铎 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2020-11-20 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本申请提供一种承载装置及半导体处理设备。承载装置包括承载件、压紧组件、及驱动件。承载件包括承载面及设置在承载件的气路，气路与承载面连通，承载面包括第一区域及环绕第一区域的第二区域，气路用于抽气以将工件吸附在第一区域。压紧组件用于将工件压紧在第二区域。驱动件与压紧组件连接，并用于驱动压紧组件相对承载件移动以选择性地压紧或释放工件。本申请的承载装置及半导体处理设备中，承载件能够承载并吸附工件，使工件不发生偏移。压紧组件能够将工件压紧在第二区域，以使工件与承载面接触的表面更加平整，使工件能够顺利吸附在承载件上。
承载装置半导体处理设备

[实用新型]一种承载装置及具有该承载装置的检测设备-CN202022683774.2有效
发明人：李海卫;张鹏斌;董坤玲;金建高;范铎;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2020-11-18 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开一种承载装置及具有该承载装置的检测设备，该承载装置包括承载盘，所述承载盘具有内外嵌套设置的胶膜吸附面和框架承载面，所述胶膜吸附面高于所述框架承载面，且所述胶膜吸附面内侧的承载盘具有下凹形成的待测物避让空间。通过优化改进该承载装置的安装固定结构，为确保待测物在检测过程中的稳定性提供了技术保障。当胶膜框架放置在该承载盘上时，高于框架承载面的胶膜吸附面构成对胶膜的支撑，与此同时，基于自重置于框架承载面上的框架完成对胶膜的向外全向抻拉，以及避让空间为位于胶膜中部的待测物提供了下落裕度，进一步形成对胶膜的向内全向抻拉，使得整个胶膜得以张紧，从而起到固定胶膜并保证待测物稳定性的作用。
一种承载装置具有检测设备

[发明专利]承载装置、半导体处理设备、及固定工件的方法-CN202011312601.8在审
发明人：陈鲁;李海卫;张鹏斌;董坤玲;金建高;范铎 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2020-11-20 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本申请提供一种承载装置、半导体处理设备、及利用承载装置固定工件的方法。承载装置包括承载件、压紧组件、及驱动件。承载件包括承载面及设置在承载件的气路，承载面包括第一区域及环绕第一区域的第二区域，气路用于抽气以将工件吸附在第一区域。压紧组件用于将工件压紧在第二区域。驱动件与压紧组件连接，并用于驱动压紧组件相对承载件移动以选择性地压紧或释放工件。本申请的承载装置、半导体处理设备、及利用承载装置固定工件的方法中，承载件能够承载并吸附工件，使工件不发生偏移。压紧组件能够将工件压紧在第二区域，以使工件与承载面接触的表面更加平整，使工件能够顺利吸附在承载件上。
承载装置半导体处理设备固定工件方法

[发明专利]检测系统和检测方法-CN202011312617.9在审
发明人：陈鲁;李海卫;张鹏斌;董坤玲;金建高;范铎 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2020-11-20 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本申请的检测系统包括承载装置和探测装置。承载装置用于承载待检测件，承载装置设有贯穿孔，待检测件包括相背的第一待检面和第二待检面；探测装置包括第一检测单元和第二检测单元，第一检测单元和第二检测单元设置在承载装置的相背两侧，第一检测单元与第一待检面相对，第二检测单元与第二待检面相对，第二检测单元用于对第二待检面中与贯穿孔对应的第一待检区域进行检测处理，第一检测单元用于对第一待检面中的第二待检区域进行检测处理，第一待检区域与第二待检区域位置对应。检测系统和检测方法能够同时对第一待检面和第二待检面进行检测，检测效率较高。
检测系统方法

[发明专利]一种轻小型亿像素高分辨率空间相机-CN201610921309.3有效
发明人：张文昱;王保华;阮宁娟;金建高;张琢;吕红 -专利权人：北京空间机电研究所
申请日： 2016-10-21 - 公布日： 2018-09-18 - 主分类号： G02B17/06 文献下载
摘要：本发明一种轻小型亿像素高分辨率空间相机，包括一个离轴三反光学系统和垂直电荷转移探测器组件，所述的光学系统相对孔径在2～3之间，包括主镜、次镜、三镜，主镜是凹四次双曲面镜，次镜是凸二次双曲面镜，三镜是凹椭球面镜，所述的光学系统在视场内可见光波段调制传递函数在167lp/mm～250lp/mm的奈奎斯特频率下可以达到0.4以上；所述的垂直电荷转移探测器组件包括垂直电荷转移探测器及相应的信号处理电路，其中垂直电荷转移探测器的像素规模1亿，单个像元面积1μm2。本发明适用于可见光波段光学遥感对地成像。
一种小型像素高分辨率空间相机

[发明专利]一种宽谱段衍射光学成像系统-CN201510424114.3有效
发明人：焦建超;张秉隆;王保华;张月;王超;金建高;阮宁娟;苏云;郭崇岭;吴立民 -专利权人：北京空间机电研究所
申请日： 2015-07-17 - 公布日： 2018-03-09 - 主分类号： G02B27/42 文献下载
摘要：一种宽谱段衍射光学成像系统，包括光学模块、探测器模块和图像复原模块；光学模块包括谐衍射光学元件和波前编码元件；光线经过谐衍射光学元件会聚成像，波前编码元件对会聚光线进行像差调制；探测器模块接收调制后的光线进行光电转换，得到图像；图像复原模块结合波前编码元件对会聚光线的调制信息，对探测器模块输出的图像进行处理，去除波前编码元件对会聚光线的调制作用并消除像差，获得图像。本发明以谐衍射光学元件作为光学系统主镜，利用谐衍射光学元件自身消色差的特点以及波前编码技术的像差校正特点，具有较宽的光谱带宽，降低系统复杂度及公差约束，使衍射光学成像系统更易实现。
一种宽谱段衍射光学成像系统

[发明专利]一种光学元件用透明衍射薄膜的旋涂制备方法-CN201510169302.6有效
发明人：张月;焦建超;王保华;金建高;苏云 -专利权人：北京空间机电研究所
申请日： 2015-04-10 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： G02B5/00 文献下载
摘要：一种光学元件用透明衍射薄膜的旋涂制备方法，其主要包括清洗基底、放置基底、涂胶、静置、匀胶、二次涂胶、二次匀胶、第N次涂胶、第N次匀胶、静置48小时以上、烤胶、揭胶等步骤。本发明方法可用于制备口径≤300mm、面形精度PV<0.5μm、膜层厚度可控的多台阶或连续台阶透明膜基衍射光学元件，解决制备过程中面形精度低、膜层厚度不可控、透明膜基衍射光学元件衍射效率低的问题。
一种光学元件透明衍射薄膜制备方法

[发明专利]一种平面薄膜镜安装方法-CN201510106688.6有效
发明人： 金建高;苏云;阮宁娟;郭崇岭 -专利权人：北京空间机电研究所
申请日： 2015-03-11 - 公布日： 2017-01-18 - 主分类号： G02B7/188 文献下载
摘要：一种平面薄膜镜安装方法，首先将圆形薄膜镜展开成平面状态，通过特制的工装在薄膜镜四周均匀牢固地粘接矩形带孔薄垫片，用N根绳两端分别连接矩形垫片和拉力传感器，固定四周拉力传感器使各绳位于同一平面。然后，将精密支撑环放置于薄膜镜的下方，用带有环状台阶面的一侧轻顶薄膜镜，再将压环安装到支撑环上方，通过螺钉预紧压环但要保证薄膜镜能在压环与支撑环之间移动，在薄膜镜四周绳最外端施加拉力，并由拉力传感器显示拉力值，调节拉力值并实时检测薄膜镜面形，根据实测面形反复调节各拉力值使薄膜镜面形达到最优。本发明通过支撑环支撑以及薄膜镜边缘共面拉力调节的方式实现高精度平面薄膜镜的安装，能满足高精度光学系统的使用需求。
一种平面薄膜安装方法

[发明专利]垂直电荷转移成像探测器像元合并方法-CN201410086304.4有效
发明人：阮宁娟;张文昱;刘兆军;金建高;何宝琨;张琢;闫锋 -专利权人：北京空间机电研究所
申请日： 2014-03-10 - 公布日： 2014-06-18 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：本发明涉及垂直电荷转移成像探测器像元合并方法，包括三种像元阵列合并方法，其中奇偶行对齐的等效像元阵列合并时，每N₁×M₁个相邻实际像元合并为1个等效像元，合并后的奇数行等效像元和偶数行等效像元对齐没有错位；奇偶行错位的等效像元阵列合并时，每N₂×M₂个相邻实际像元合并为1个等效像元，合并后的奇数行等效像元和偶数行等效像元错位若干个实际像元；异形等效像元阵列合并时，每N₃×N₃－M₃×M₃个相邻实际像元合并为1个等效像元，合并后每个等效像元的一个顶角的M₃×M₃个实际像元不参与合并；该方法可以根据需要得到不同尺寸大小的等效像元，可以使成像系统性能达到最优状态，且像元合并还可以大幅提高探测器信噪比。
垂直电荷转移成像探测器合并方法

[发明专利]一种基于压缩光学的空间光学实验室系统-CN201310372830.2有效
发明人：王小勇;苏云;钟晓明;阮宁娟;伏瑞敏;马永利;程少园;金建高;吕红 -专利权人：北京空间机电研究所
申请日： 2013-08-23 - 公布日： 2013-12-25 - 主分类号： G01D5/26 文献下载
摘要：一种基于压缩光学的空间光学实验室系统，包括望远装置、光束控制装置、二维跟踪机构、窗口、密封舱载荷适配器、非密封舱载荷适配器、综合管理模块、载荷模块；二维跟踪机构驱动望远装置对准观测区域，由望远装置接收目标信号；望远装置将目标信号大口径的平行光压缩成小口径的平行光后送至光束控制装置；光束控制装置将接收到的平行光束送至非密封舱载荷适配器，同时平行光束还通过窗口送至密封舱载荷适配器；将非密封舱载荷适配器以及密封舱载荷适配器与载荷模块相连，完成实验任务。本发明采用该总体设计理念，能够充分体现系统的扩展性与通用性，真正体现了未来“空间光学技术实验室”的顶层定位要求。
一种基于压缩光学空间实验室系统