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- [实用新型]承载装置及处理设备-CN202120921355.X有效
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董坤玲;李海卫;金建高;范铎;张鹏斌;陈鲁;张嵩
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深圳中科飞测科技股份有限公司
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2021-04-29
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2021-11-30
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H01L21/687
- 本申请提供一种承载装置及处理设备。承载装置包括第一夹持结构及能够相对第一夹持结构移动的第二夹持结构,第一夹持结构包括第一夹持环及自第一夹持环的内侧朝第一夹持环的中心延伸的第一夹持件,第一夹持件包括相接的承载面及第一斜面,承载面用于承载工件;第二夹持结构包括第二夹持环及自第二夹持环的内侧朝第二夹持环的中心延伸的第二夹持件,第二夹持件包括相接的夹持面及第二斜面;其中:在第二夹持结构相对第一夹持结构移动的过程中,第二斜面与第一斜面配合且相对移动,直至承载面与夹持面相对以使工件夹持于承载面与夹持面之间。本申请的承载装置中,第二斜面与第一斜面配合移动以缓缓夹持工件于承载面上,防止直接夹持而损坏工件。
- 承载装置处理设备
- [实用新型]检测系统-CN202121227256.8有效
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陈鲁;董坤玲;范铎;杨楠;金建高;张鹏斌;张嵩
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深圳中科飞测科技股份有限公司
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2021-06-02
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2021-11-30
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G01N21/88
- 本申请公开了一种检测系统。检测系统用于检测工件,检测系统包括安装装置、第一检测装置及第二检测装置,第一检测装置安装于安装装置,第一检测装置对工件的待检测面进行成像以得到二维图像,并用于检测待检测面上的二维缺陷;第二检测装置安装于安装装置,第二检测装置对待检测面上的三维特征进行成像以得到三维图像,并用于检测待检测面上的三维缺陷。同时设置第一检测装置及第二检测装置,可以较完整地对待检测面上各种类型的缺陷都进行检测,检测的效果较好,另外,在同一个检测系统中,就可以实现对二维缺陷和三维缺陷的检测,不需要将工件转移至其他的检测设备中再次进行缺陷检测,提高了检测的效率。
- 检测系统
- [实用新型]半导体检测设备-CN202022720798.0有效
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李海卫;张鹏斌;董坤玲;金建高;范铎;陈鲁
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深圳中科飞测科技股份有限公司
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2020-11-20
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2021-10-29
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B65G47/90
- 本申请公开了一种半导体检测设备。半导体检测设备包括箱体、传输装置及校准装置。其中,箱体包括相互间隔的校准区及翻转区。传输装置位于箱体内的校准区及翻转区之外,传输装置用于获取并传输工件。校准装置位于箱体内的校准区,并用于校准工件的状态,传输装置还用于选择性地将校准后的工件传输至箱体外,或将工件传输至翻转区进行翻转,及将翻转后的工件传输至箱体外。本申请的半导体检测设备中,校准装置能够校准工件的状态,传输装置能够获取工件,并将工件传输校准区进行校准,或将工件传输至翻转区进行翻转,以根据需求使工件以正面朝上或背面朝上的状态并保持校准后的位置送入其他装置。
- 半导体检测设备
- [实用新型]检测系统-CN202022730980.4有效
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陈鲁;李海卫;张鹏斌;董坤玲;金建高;范铎
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深圳中科飞测科技股份有限公司
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2020-11-20
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2021-08-10
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H01L21/66
- 本申请的检测系统包括承载装置和探测装置。承载装置用于承载待检测件,承载装置设有贯穿孔,待检测件包括相背的第一待检面和第二待检面;探测装置包括第一检测单元和第二检测单元,第一检测单元和第二检测单元设置在承载装置的相背两侧,第一检测单元与第一待检面相对,第二检测单元与第二待检面相对,第二检测单元用于检测第二待检面中与贯穿孔对应的第一待检区域的缺陷,第一检测单元用于检测第一待检面中的第二待检区域的缺陷,第一待检区域与第二待检区域位置对应。检测系统能够同时对第一待检面和第二待检面进行检测,检测效率较高。
- 检测系统
- [发明专利]一种平面薄膜镜安装方法-CN201510106688.6有效
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金建高;苏云;阮宁娟;郭崇岭
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北京空间机电研究所
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2015-03-11
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2017-01-18
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G02B7/188
- 一种平面薄膜镜安装方法,首先将圆形薄膜镜展开成平面状态,通过特制的工装在薄膜镜四周均匀牢固地粘接矩形带孔薄垫片,用N根绳两端分别连接矩形垫片和拉力传感器,固定四周拉力传感器使各绳位于同一平面。然后,将精密支撑环放置于薄膜镜的下方,用带有环状台阶面的一侧轻顶薄膜镜,再将压环安装到支撑环上方,通过螺钉预紧压环但要保证薄膜镜能在压环与支撑环之间移动,在薄膜镜四周绳最外端施加拉力,并由拉力传感器显示拉力值,调节拉力值并实时检测薄膜镜面形,根据实测面形反复调节各拉力值使薄膜镜面形达到最优。本发明通过支撑环支撑以及薄膜镜边缘共面拉力调节的方式实现高精度平面薄膜镜的安装,能满足高精度光学系统的使用需求。
- 一种平面薄膜安装方法
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