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[发明专利]一种尺蠖式压电驱动器-CN202210682710.1在审
发明人：魏凤龙;郭抗;倪明阳;隋永新;杨怀江 -专利权人：长春国科精密光学技术有限公司
申请日： 2022-06-16 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： H02N2/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种尺蠖式压电驱动器，包括：左钳位单元、右钳位单元、预紧单元和驱动单元，左钳位单元和右钳位单元位于预紧单元内，预紧单元用于对左钳位单元和右钳位单元施加预紧力，驱动单元分别与左钳位单元和右钳位单元连接，左钳位单元、驱动单元和右钳位单元在时序控制下可在预紧单元内左右运动，左钳位单元、驱动单元和右钳位单元的伸缩方向与其运动方向相同，可以在小体积范围内实现较大的推力，同时压电驱动器在掉电状态下，通过预紧单元可以对左钳位单元和右钳位单元提供较大的钳位摩擦力。
一种尺蠖压电驱动器

[发明专利]一种位移检测装置及方法-CN202210680933.4在审
发明人：杨帛浩;王学亮;郭抗;魏凤龙;倪明阳;隋永新;杨怀江 -专利权人：长春国科精密光学技术有限公司
申请日： 2022-06-16 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G01B21/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种位移检测装置及方法，位移检测装置包括平台、第一位移台、第二位移台、位移台组件、第一检测组件、第二检测组件、电源和控制及运算模块，第一位移台沿第一方向运动，第二位移台沿第二方向运动，且压电陶瓷装载于第二位移台，第一检测组件检测通电后的压电陶瓷沿第一方向的位移，位移台组件沿第一方向和第三方向运动，第二检测组件检测通电后的压电陶瓷沿第三方向的位移，电源向压电陶瓷供电，控制及运算模块根据电源输出的电压值、第一检测组件检测到的位移、第二检测组件检测到的位移计算压电陶瓷的位移。上述位移检测装置可实现压电陶瓷在全行程下的测试，且结构简单，安装容易，具有操作简便、自动化程度高的特点。
一种位移检测装置方法

[发明专利]一种粘接工装及其压紧组件-CN202210682452.7在审
发明人：王宗礼;郭抗;魏凤龙;隋永新;杨怀江 -专利权人：长春国科精密光学技术有限公司
申请日： 2022-06-16 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种粘接工装及其压紧组件，压紧组件包括底座板、压紧件和驱动件，底座板用于放置待粘接组件；压紧件设于底座板上，压紧件用于沿第一方向压紧待粘接组件使待粘接组件粘接后保持预设尺寸，压紧件包括框体、运动部和导向部，运动部用于沿第一方向相对框体运动，以压紧待粘接组件，导向部连接运动部与框体，导向部用于防止运动部运动时发生歪斜，从而保证运动部的运动精度；驱动件可活动地连接框体，驱动件用于驱动运动部。上述压紧组件可大大提高运动部的运动精度，且可在整个压紧过程中使运动部与底座板始终保证亚微米级的平行度，这样即可提高待粘接组件粘接后的尺寸精度，进而使多个待粘接组件粘接后获得更优良的高度一致性。
一种工装及其压紧组件

[实用新型]一种压电驱动器性能测试平台-CN202220912113.9有效
发明人：王树新;郭抗;魏凤龙;隋永新 -专利权人：长春国科精密光学技术有限公司
申请日： 2022-04-19 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： G01M99/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种压电驱动器性能测试平台，包括：底板，底板表面沿长度方向设置有待测驱动器和直线导轨；直线导轨上设置有活动块，活动块的一端固连待测驱动器；活动块表面设置有两组悬挂负载机构，两组悬挂负载机构的外端分别悬吊至底板两端的外侧。悬吊负载机构、待测驱动器和直线导轨均沿底板的长度方向设置在同一条直线上，以减少测试过程中的阿贝误差。两侧的悬挂负载机构对称设置，在其中一侧的悬挂负载机构上增加额外负载时，可带动活动块沿直线导轨滑动从而向待测驱动器施加均匀负载，随后开启待测压电驱动器抵抗负载运动并测量其多项性能。本申请相对于现有测试器具备更高的稳定性和更低的操作难度。
一种压电驱动器性能测试平台

[发明专利]一种压电驱动器-CN202210681415.4在审
发明人：杨帛浩;郭抗;魏凤龙;倪明阳;隋永新;杨怀江 -专利权人：长春国科精密光学技术有限公司
申请日： 2022-06-16 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： H02N2/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种压电驱动器，包括：驱动组件、运动组件、预紧组件，预紧组件用于对驱动组件施加预紧力，驱动组件包括两组位于运动组件上下方的压电驱动单元，每个压电驱动单元包括两个纵向伸缩压电叠堆、一个平行四边形铰链和一个桥式铰链，平行四边形铰链的一侧与运动组件接触，与该侧相对的一侧与桥式铰链连接；其中一个纵向伸缩压电叠堆与桥式铰链连接，以控制桥式铰链纵向伸缩；另一个纵向伸缩压电叠堆与平行四边形铰链连接，以控制平行四边形铰链横向伸缩。其中通过桥式铰链可以提供纵向预紧力，通过平行四边形铰链可以实现运动组件在正反两个方向上高精度、小步长的运动，而且无需剪切压电叠堆，可有效降低驱动组件的成本。
一种压电驱动器

[发明专利]一种二自由度压电驱动器-CN202210681516.1在审
发明人：魏凤龙;郭抗;倪明阳;隋永新;杨怀江 -专利权人：长春国科精密光学技术有限公司
申请日： 2022-06-16 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： H02N2/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种二自由度压电驱动器，包括：机座、运动轴、压电驱动组件，运动轴可转动和可移动地连接在机座上，压电驱动组件设于机座上，压电驱动组件均包括两组压电驱动单元，其中一组压电驱动单元用于对运动轴产生钳位运动，另一组压电驱动单元用于对运动轴产生驱动运动，通过对两组压电驱动单元的驱动电压的时序控制，运动轴在两组压电驱动单元的交替驱动和钳位作用下进行直线运动输出和旋转运动输出。
一种自由度压电驱动器

[发明专利]一种压电驱动三自由度微动电机-CN202210682436.8在审
发明人：魏凤龙;郭抗;倪明阳;隋永新;杨怀江 -专利权人：长春国科精密光学技术有限公司
申请日： 2022-06-16 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： H02N2/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种压电驱动三自由度微动电机，包括：压电驱动组件、动子、定子及导向组件，定子用于支撑压电驱动组件、动子和导向组件，压电驱动组件包括四个沿圆周方向均匀分布的压电陶瓷腿，各压电陶瓷腿均包括一个纵向伸缩压电叠堆和一个耐磨半球头，耐磨半球头与动子的下表面接触，通过耐磨半球头可以降低其磨损，进而提高其使用寿命，导向组件用于对动子施加朝向压电驱动组件的预紧力，以提高动子的运动稳定性和电机的整体刚度。四个压电陶瓷腿在相同电压驱动下，可驱动动子移动；四个压电陶瓷腿在不同电压驱动下，可驱动动子绕两个轴转动，以使电机具备三个自由度，进而提高电机的应用范围。
一种压电驱动自由度微动电机

[发明专利]一种双向步进式压电驱动器-CN202210682709.9在审
发明人：魏凤龙;郭抗;倪明阳;隋永新;杨怀江 -专利权人：长春国科精密光学技术有限公司
申请日： 2022-06-16 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： H02N2/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种双向步进式压电驱动器，包括：驱动组件、运动组件、预紧组件和支撑组件，驱动组件包括两组压电单元，每组压电单元包括三个压电陶瓷腿，每个压电陶瓷腿包括一个纵向伸缩压电叠堆和一个横向剪切压电叠堆，每组压电单元的三个压电陶瓷腿在平面内呈正三角形分布，六个压电陶瓷腿在平面内呈正六边形分布，该分布方式可以提高运动组件移动的平稳性，而且结构紧凑，两组压电单元的横向剪切压电叠堆的横向剪切变形方向在平面内正交。驱动器在运动时，一组压电单元产生钳位运动，另一组压电单元产生步进运动，两组压电单元在电压时序控制下，可实现驱动器在两个正交方向的步进运动。
一种双向步进压电驱动器

[实用新型]一种压电驱动器的驱动装置-CN202220918371.8有效
发明人：王学亮;郭抗;隋永新;杨怀江 -专利权人：长春国科精密光学技术有限公司
申请日： 2022-04-20 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H02N2/14 文献下载
摘要：本申请公开了一种压电驱动器的驱动装置，包括：处理器和多路驱动电路；多路驱动电路均包括数模转换器、可控电压参考源和放大器，各数模转换器将各自的模拟信号经各路放大器放大后，输出施加于各压电陶瓷的输出电压；通过可控电压参考源调控各路数模转换器的电压参考值或通过放大器调整各输出电压的放大倍数，以使各压电陶瓷的最小位移变化量相同。在标定的过程中，无需调整输入数码的范围，所以每一路都可以保持设计的动态范围，此外还可解决现有技术方案位移分辨率不一致的问题，进而保证压电驱动器在进行直线位移时各压电陶瓷的伸缩量相同。
一种压电驱动器驱动装置

[发明专利]一种压电驱动器的驱动装置-CN202210416852.3在审
发明人：王学亮;郭抗;隋永新;杨怀江 -专利权人：长春国科精密光学技术有限公司
申请日： 2022-04-20 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： H02N2/14 文献下载
摘要：本申请公开了一种压电驱动器的驱动装置，包括：处理器和多路驱动电路；多路驱动电路均包括数模转换器、可控电压参考源和放大器，各数模转换器将各自的模拟信号经各路放大器放大后，输出施加于各压电陶瓷的输出电压；通过可控电压参考源调控各路数模转换器的电压参考值或通过放大器调整各输出电压的放大倍数，以使各压电陶瓷的最小位移变化量相同。在标定的过程中，无需调整输入数码的范围，所以每一路都可以保持设计的动态范围，此外还可解决现有技术方案位移分辨率不一致的问题，进而保证压电驱动器在进行直线位移时各压电陶瓷的伸缩量相同。
一种压电驱动器驱动装置

[发明专利]一种压电驱动器性能测试平台-CN202210411050.3在审
发明人：王树新;郭抗;魏凤龙;隋永新 -专利权人：长春国科精密光学技术有限公司
申请日： 2022-04-19 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： G01M99/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种压电驱动器性能测试平台，包括：底板，底板表面沿长度方向设置有待测驱动器和直线导轨；直线导轨上设置有活动块，活动块的一端固连待测驱动器；活动块表面设置有两组悬挂负载机构，两组悬挂负载机构的外端分别悬吊至底板两端的外侧。悬吊负载机构、待测驱动器和直线导轨均沿底板的长度方向设置在同一条直线上，以减少测试过程中的阿贝误差。两侧的悬挂负载机构对称设置，在其中一侧的悬挂负载机构上增加额外负载时，可带动活动块沿直线导轨滑动从而向待测驱动器施加均匀负载，随后开启待测压电驱动器抵抗负载运动并测量其多项性能。本申请相对于现有测试器具备更高的稳定性和更低的操作难度。
一种压电驱动器性能测试平台

[发明专利]一种基于Roberts机构的圆周导向机构-CN201710431502.3有效
发明人：郭抗;孙振;陈华男;倪明阳;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2017-06-09 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： F16C27/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于Roberts机构的圆周导向机构，包括：外连接环；内连接环，所述内连接环和所述外连接环同轴；所述外连接环和内连接环之间分布有多个Roberts机构，所述多个Roberts机构将所述外连接环和所述内连接环连为一体。本发明所提供的基于Roberts机构的圆周导向机构为一体化结构，无需加工多个零件组装，采用电火花线切割工艺即可加工完成，加工制作简单，且易于实现较高的加工精度，进而利于提高导向精度。
一种基于 roberts 机构圆周导向

[发明专利]一种微位移传感器标定装置及其应用-CN201610957068.8有效
发明人：郭抗;葛川;陈华男;倪明阳;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2016-10-27 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： G01B21/02 文献下载
摘要：本发明涉及高精度位移检测标定技术领域，具体公开一种微位移传感器标定装置及其应用，标定装置包括被标定传感器、激光干涉仪、四杆机构、压电叠堆、被测目标物以及固定底座；四杆机构包括上侧杆件、下侧杆件、左侧杆件以及右侧杆件，下侧杆件安装在固定底座上；压电叠堆的一端与下侧杆件连接；压电叠堆的另一端与上侧杆件、左侧杆件或右侧杆件的其中之一连接；被标定传感器安装于上侧杆件上；被测目标物为被标定传感器的测量目标，安装于固定底座上。本发明的标定装置结构简单，扩展性好，能够实现高频率高精度的微位移传感器标定。
一种位移传感器标定装置及其应用

[发明专利]一种平面平行度的测量方法-CN201610970778.4有效
发明人：郭抗;陈华男;倪明阳;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2016-10-28 - 公布日： 2021-03-19 - 主分类号： G01B21/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种平面平行度的测量方法，所述测量方法包括以下步骤：将具有过渡平面的第一零件和具有待测平面的第二零件进行装配得到装配部件，测量过渡平面的平面度和待测平面的平面度并根据过渡平面的第一平面度和待测平面的平面度得到所述过渡平面和待测平面之间的平行度；测量基准平面的平面度，将所述装配部件与具有基准平面的第三零件进行装配，再次测量过渡平面的平面度得到过渡平面的第二平面度；根据所述过渡平面的第二平面度和基准平面的平面度得到所述过渡平面与基准平面之间的平行度；根据所述过渡平面和待测平面之间的平行度以及所述过渡平面与基准平面之间的平行度，得到所述基准平面和待测平面之间的平行度最大值。该测量方法可以实现当两平面之间的间距太过微小时，平面平行度的测量。
一种平面平行测量方法

[发明专利]一种一体式轴向精密微调装置-CN201610652135.5有效
发明人：陈华男;郭抗;倪明阳;李显凌;张巍;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2016-08-10 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本发明涉及深紫外投影光刻物镜技术领域，具体公开一种一体式轴向精密微调装置。本发明提供一种一体式轴向精密微调装置，包括镜框、驱动器，镜框为圆环结构，包括平动部、固定部和连接部，平动部和固定部由沿圆周的间接切割线分开，连接部为整体切割的铰链，铰链设置在切割线的间接处，用于平动部和固定部的连接；驱动器设置在铰链上，用于镜框的轴向微调。通过一体式圆环结构的设计，使此轴向精密微调装置结构简单、紧凑，便于加工、装配，提高轴向运动精度。
一种体式轴向精密微调装置