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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种微机械工艺中控制间隙的装配方法-CN202211146451.7在审
发明人：李永增;陶硕;尚帅;郄利伟;张琳琳;裴志强;王天宇;赵黎明 -专利权人：北京晨晶电子有限公司
申请日： 2022-09-20 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： B81C3/00 文献下载
摘要：本发明涉及半导体加工技术领域，提供一种微机械工艺中控制间隙的装配方法，包括：获取第一组件，第一组件设有待粘接位置；获取遮掩件，遮掩件包括遮掩部和镂空部，遮掩部与待粘接位置相对应，镂空部与第一组件的其余位置相对应；将遮掩件覆盖组装于第一组件，使遮掩部对应遮挡待粘接位置，镂空部对应显露其余位置；向遮掩件喷涂第一胶体；拆除遮掩件，对第一胶体进行固化处理；在待粘接位置点涂第二胶体；获取第二组件，将第二组件组装至待粘接位置；对第二胶体进行固化处理，以使第二组件通过第二胶体与第一组件粘接固定；去除第一组件和第二组件的装配体上的第一胶体。本发明可以实现微机械工艺中对间隙灵活且精准的控制。
一种微机工艺控制间隙装配方法

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