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[发明专利]一种亚微米级单晶薄膜的制备方法-CN202211508213.6在审
发明人：龙勇;丁雨憧;马晋毅;石自彬;胡吉海;陈哲明;邹少红;武欢 -专利权人：中国电子科技集团公司第二十六研究所
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G02B1/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种亚微米级单晶薄膜的制备方法，1）将功能层晶圆和支撑层晶圆通过键合工艺键合在一起，得到键合体；2）将键合体中的功能层机械减薄至15μm的厚度；3）对步骤2）减薄后的键合体功能层再进行离子束物理轰击处理，使键合体中的功能层厚度不均匀性控制在5%以内；4）最后采用化学机械抛光至目标厚度，即得到亚微米级单晶薄膜。本发明能够使亚微米级单晶薄膜的膜厚不均匀性偏差控制在5%以内，避免由于膜厚不均匀性对光波导性能造成的不利影响。
一种微米级单晶薄膜制备方法

[发明专利]一种钙钛矿型Relaxor-PT固溶体单晶薄膜复合材料及制备方法-CN202211056640.5在审
发明人：陈哲明;丁雨憧;马晋毅;毛世平;龙勇;石自彬;邹少红 -专利权人：中国电子科技集团公司第二十六研究所
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： H01L41/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种钙钛矿型Relaxor‑PT固溶体单晶薄膜复合材料及制备方法，该制备方法包括，1）在衬底基板上沉积缺陷捕获层，再在缺陷捕获层上沉积氧化埋层，以形成复合基板；2）通过离子注入法将一种或混合离子注入到钙钛矿型Relaxor‑PT固溶体单晶晶圆，以形成薄膜层、损伤层和余料层；3）将薄膜层和氧化埋层键合以使复合基板和钙钛矿型Relaxor‑PT固溶体单晶形成键合体，对键合体加热预定时间，使薄膜层与余料层分离，分离后的薄膜层及残余部分损伤层与复合基板一起形成初始单晶薄膜复合材料，最后通过化学机械抛光去除损伤层，得到钙钛矿型Relaxor‑PT固溶体单晶薄膜复合材料。本发明提高了器件的工作效率和温度稳定性等性能指标，为器件的半导体集成和小型化提供了便利。
一种钙钛矿型 relaxor pt 固溶体薄膜复合材料制备方法

[实用新型]一种用于园林防涝集雨设备-CN201921621717.2有效
发明人：刘小兰;张晓静;邹少红;姚得荣 -专利权人：广州市中森园林绿化工程有限公司
申请日： 2019-09-26 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： A01G9/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于园林防涝集雨设备,包括防水底座，防水底座上端固定连接有防水层，防水层上端固定连接有束口抽绳，防水底座下方固定安装有盆体，盆体下端开设有第一渗水孔，盆体外侧固定安装有集水箱，装置通过集水箱内壁是上进水槽为向内倾斜设置，使得下雨时的水能更容易通过进水槽进入集水箱被储存起来从而能减少之后外部洒水的次数以致节约水的使用，同时通过密水板上的第二渗水孔与盆体上的第一渗水孔使得集水箱内的水分子能进入盆体内方便被植物吸收，再通过密水板为聚乙烯设置，使得密水板能浮在集水箱的水面上，当集水箱内水分过多时密水板能直接堵住盆体下端的第一渗水孔，使得放在盆体内的植物不会被水淹。
一种用于园林防涝设备