“邓盛锋”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果6个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种基于垂直耦合光栅集成的编码器芯片的制作方法-CN201910700202.X有效
发明人： 邓盛锋;沈钦龙;张建英 -专利权人：福州高意光学有限公司
申请日： 2019-07-31 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： G01D5/353 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于垂直耦合光栅集成的编码器芯片的制作方法，其使用SOI基片制作，然后在其顶层形成垂直耦合光栅区、SOI波导传输区、PD注入区和金属电极区，由指示光栅光路生成的莫尔条纹将从垂直耦合光栅耦合进SOI波导传输区的结构中，再由SOI波导传输区的结构将光信号传递到PD注入区。光信号将在PD注入区生成光生载流子，从而被金属电极区所引出。金属电极区将覆盖整个PD注入区表面以免受到杂散光干扰，该方案可将原本的信号处理分辨率从10μm突破到SOI波导的尺寸300nm‑700nm，而这些都是在不使用细分器前提下做到的。相比传统编码器结构，不仅提高了信号处理的分辨率，还提高了结构的集成度，为编码器系列微型化提供了很好基础。
一种基于垂直耦合光栅集成编码器芯片制作方法

[发明专利]一种光学光阑的制作方法-CN201810265916.8有效
发明人：吴砺;张建英;黄宏;林磊;邓盛锋 -专利权人：福州高意光学有限公司
申请日： 2018-03-28 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： G02B5/00 文献下载
摘要：本发明涉及光纤通讯技术领域，尤其是涉及一种光学光阑的制作方法，其包括以下步骤：1）在光学晶体上镀金属膜；2）利用飞秒激光器的激光蒸发去除部分金属膜制作通光孔。采用该制作方法制得的光学光阑，用作空间滤波器的空间滤波小孔。本发明设计合理，利用飞秒激光器的激光蒸发去除部分金属膜制作通光孔，其制作简易，成本低廉，有效克服了传统其他方法不易去除金属膜的缺陷。
一种光学光阑制作方法

[发明专利]一种集成了阵列波导光栅和光电探测器的光谱仪芯片-CN201510660961.X在审
发明人：吕苗;吕金科;邓盛锋;冯兴兴;田中群 -专利权人：厦门大学
申请日： 2015-10-14 - 公布日： 2016-01-06 - 主分类号： G01J3/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种集成了阵列波导光栅和光电探测器的光谱仪芯片，包括基板、阵列波导光栅、微反射镜阵列、光电探测器阵列。所述光电探测器阵列、阵列波导光栅和微反射镜阵列都通过微细加工技术依次制作在基板上。输入光信号进入阵列波导光栅，并从阵列波导光栅的输出波导中输出，经与阵列波导光栅一一对应的微反射镜阵列传导到光电探测器阵列上转化为电信号。由于阵列波导光栅具有分光功能，本发明输出的电信号可表征输入光信号的光谱信息，从而实现光谱仪的功能。和传统的光谱仪相比，本发明单片集成了原有的光栅、透镜和CCD的功能，体积、重量小，可用微电子制造技术批量生产，成本低。
一种集成阵列波导光栅光电探测器光谱仪芯片

[发明专利]位于成像光纤顶端的曲面变焦距复眼微透镜的制作方法-CN201410505556.6有效
发明人：吕苗;邓盛锋;吕金科;冯兴兴 -专利权人：厦门大学
申请日： 2014-09-26 - 公布日： 2014-12-17 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种位于成像光纤顶端的曲面变焦距复眼微透镜的制作方法，采用激光光刻工艺在基板上制作单或多层柱状光刻胶阵列,通过改变曝光剂量使阵列中柱状光刻胶的高度和形貌按一定规律排布，通过升温、降温过程使柱状光刻胶阵列回流成微透镜；在所述光刻胶微透镜阵列上旋转涂一种聚合物并使其固化形成柔性模具、将所述柔性模具通过气压的作用弯曲成曲面、在所述曲面柔性模具中滴加光学树脂，剥离后形成变焦距复眼微透镜、将此微透镜安装在成像光纤顶端。本发明的曲面微透镜能够批量生产，成本低，曲面的曲率，曲面上微透镜的焦距、面径和间距可控。
位于成像光纤顶端曲面焦距复眼透镜制作方法

[发明专利]一种制造具有不同焦距曲面复眼微透镜的方法-CN201310687909.4有效
发明人：吕苗;孙鸿达;吴昭;邓盛锋;崔晓斌 -专利权人：厦门大学
申请日： 2013-12-16 - 公布日： 2014-03-05 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种制造具有不同焦距的曲面复眼微透镜的方法。通过在多组彼此电学隔离的下电极组上施加电压使静电变形薄膜受到静电力的作用而变形，由于在所述多组彼此电学隔离的下电极组上施加电压的不同，进而所述静电变形薄膜的变形量也不同，从而使获得的聚合物微透镜阵列中的微透镜具有不同的焦距。在所述聚合物微透镜阵列上旋转涂抹硅橡胶，固化后剥离，并贴在一真空小孔的表面，由于真空的作用使此硅橡胶薄膜弯曲成一个曲面，形成具有不同焦距的曲面复眼透镜。和现有的曲面复眼透镜的制造方法相比，它具有如下优点：成本低，曲面的曲率，曲面上微透镜的焦距、面径和间距可控，采用静电变形薄膜的模具能够批量生产。
一种制造具有不同焦距曲面复眼透镜方法

[发明专利]一种微型混合分光装置-CN201310456561.8有效
发明人：吕苗;邓盛锋;程雅琴;崔晓斌;李一帆 -专利权人：厦门大学
申请日： 2013-09-29 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： G01J3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种微型混合分光装置，其特征在于它包括一基板，该基板上具有一阵列波导光栅，该阵列波导光栅具有一输入光纤和n个输出波导；一反射镜阵列，位于该基板上，具有n个反射镜体，各自与所述输出波导对应；一棱镜组件，置于所述反射镜阵列的出射区域中，将来自所述反射镜阵列的n股光线各自进行分光处理为m股后输出；以及一光电探测器阵列，置于所述棱镜组件后级。本方案采用棱镜组件作为在多衍射级次工作的阵列波导光栅的后级元件，使由该阵列波导光栅的输出波导中输出的多衍射级次的光信号能够进一步纵向色散,在光电探测器阵列所在的焦平面上形成光斑阵列，并通过光电探测器阵列转化为数字信号。该装置可以在较小的体积内实现宽波长范围、高波长分辨率的分光。
一种微型混合分光装置