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[实用新型]一种分子束外延设备中的衬底托板-CN202320519270.8有效
发明人： 赵旭熠;许东;王玮竹;尚金铭;唐天义 -专利权人：上海新微半导体有限公司
申请日： 2023-03-15 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： C30B25/12 文献下载
摘要：本实用新型提供一种分子束外延设备中的衬底托板，将晶圆衬底通过卡槽固定，可以缩小晶圆衬底与衬底托板的接触面积，从而扩大了分子束外延工艺过程中晶圆衬底的可利用面积，还可以提升外延生长过程中，晶圆衬底边缘的热均匀性，从而提高晶圆生长良率；此外，由于组成内环的第一半圆环与第二半圆环之间设置有一定宽度的缝隙，从而可以兼容原始晶圆衬底存在的加工误差，并能够进一步限制晶圆衬底在生长过程中的滑动，以减少分子束外延工艺过程中在晶圆边缘产生的划痕和污染，从而提高分子束外延产品的生长良率。
一种分子外延设备中的衬底

[发明专利]一种外腔激光器及其调谐方法-CN201810503699.1在审
发明人：严进一;龚谦;王海龙;曹春芳;周长帅;赵旭熠;高金金 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2018-05-23 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： H01S5/14 文献下载
摘要：本发明提供一种外腔激光器，其沿一光轴依次排布有半导体光增益芯片、准直透镜和一维平面光栅，半导体光增益芯片的一个腔面与一维平面光栅共同组成光学谐振腔，所述一维平面光栅设置为在一维平面光栅所在平面内进行平移，其与一一维驱动机构连接。本发明还提供了该外腔激光器的调谐方法。本发明的外腔激光器利用平移一维平面光栅实现调谐功能，一维平动可以利用压电陶瓷或马达进行驱动，简便易行，结构简单、易于设计和实现；而且一维平动仅仅产生相位变化，外腔结构中比如光程等物理量将保持不变，可以有效提高外腔激光器的调谐精度。
外腔激光器调谐光栅一维平面平移一维平动光增益半导体物理量芯片光学谐振腔设计和实现平面光栅驱动机构所在平面外腔结构相位变化压电陶瓷准直透镜光程光轴排布腔面马达驱动

[发明专利]一种ZnO/CdS/Cu₂ZnSnS₄ pn 结纳米棒阵列的制备方法-CN201210592304.2有效
发明人：王春瑞;刘旭;徐靖;张瑶;陈效双;赵旭熠;莫志伟 -专利权人：东华大学
申请日： 2012-12-31 - 公布日： 2013-04-24 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种ZnO/CdS/Cu2ZnSnS4 pn结纳米棒阵列的制备方法，包括：（1）将玻璃衬底浸入Zn(CH3COO)2·2H2O的乙醇溶液，得ZnO种子层的基底；（2）将Zn(NO3)2·6H2O的溶液和六次甲基四胺HMTA的溶液，转入放有种子层基底的反应釜中，反应，得ZnO纳米棒阵列；（3）将上述纳米棒阵列浸入到硝酸镉的乙醇溶液，冲洗，再浸入硫化钠的甲醇溶液，得到ZnO/CdS芯/鞘纳米棒阵列；（4）将上述所得物质浸入Cu(CH3COO)2·H2O、ZnCl2、SnCl2·2H2O以及硫脲的无水二甲亚砜溶液，即得。本发明制备工艺简单，常压下采用易于大规模生产的溶液法，重复性好。
一种 zno cds cu sub znsns pn 纳米阵列制备方法