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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体检测设备的调试方法-CN202310108124.0在审
  • 李小虎;赵信全;朱婧;熊星 - 苏州华兴源创科技股份有限公司
  • 2023-02-14 - 2023-05-09 - G01M11/02
  • 本发明涉及一种半导体检测设备的调试方法，用于调整显微光学系统与物镜平台、样品平台至相对水平，显微光学系统包括激光组件以及成像组件，包括以下步骤：S100，通过水平仪器调整样品平台以及物镜平台至相对水平；S200，通过电子光轴校准器将成像组件调整至与物镜平台相对水平；S300，根据显微光学系统对样品平台的成像采集将激光组件调整至与样品平台相对水平；在确定样品平台和物镜平台相对水平后通过电子光轴校准器、显微光学系统采集影像数据作为显微光学系统与物镜平台、样品平台的相对位置的判断依据，并基于此进行显微光学系统的调整，调整误差小，减少人为判断，实现显微光学系统与物镜平台、样品平台相对水平的精准调整。
  • 半导体检测设备调试方法
  •  1 
  • 共 1 条
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