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[发明专利]传感器元件及其制造方法与用法-CN201180011056.1有效
发明人： W·沙德;N·凯尔;M·安格尔马尔;P·丰肯 -专利权人： 费劳恩霍夫应用研究促进协会;德拉卡电缆伍珀塔尔有限责任公司
申请日： 2011-01-24 - 公布日： 2013-01-02 - 主分类号： G01D5/353 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于获取机械状态变量的传感器元件，其包括至少一个光波导，在光波导内引入至少一个光纤布拉格光栅，传感器元件包括至少一个平面光学滤波器元件，从光波导发出的光能够被供至平面光学滤波器元件，传感器元件还具有至少一个测量装置，测量装置能够用于确定斯托克斯线与反斯托克斯线之间的强度比和/或光信号的传播时间。本发明还涉及一种用于获取机械状态变量的方法，其中，至少一个光波导沿着测量区段延伸，多个光纤布拉格光栅布置到光波导中，具有至少能够预定的中心波长以及能够预定的谱宽的光被耦合到光波导中，并且在光波导内反射和/或散射的光被供到至少两个测量装置，在第一测量装置中，从光波导以选择的频谱范围发出的光的强度被确定，并且在第二测量装置中，斯托克斯线与反斯托克斯线之间的强度比和/或光信号的传播时间被确定。
传感器元件及其制造方法用法

[发明专利]涂布设备和涂布方法-CN201080024724.X无效
发明人： T·哈里希;M·赫费尔;A·劳卡特;L·舍费尔;M·阿尔姆加特 -专利权人： 费劳恩霍夫应用研究促进协会
申请日： 2010-05-17 - 公布日： 2012-11-28 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本发明涉及涂布设备，其包含至少一个用于接收基材的可抽真空的接收装置、至少一个可将至少一种气态前体导入接收装置中的气体供应装置以及至少一个具有可预先确定的纵向长度并利用至少一个所属的机械固定装置加以固定的可加热的活化元件，其中经由至少两个接触元件向活化元件供应电流，其中以相对于接收装置几乎不移动的方式固定接触元件，及以相对于接收装置可移动的方式设置活化元件。此外，本发明还涉及相应的涂布方法。
布设方法

[发明专利]涂布设备和涂布方法-CN201080024586.5有效
发明人： T·哈里希;M·霍弗;A·劳卡特;L·谢弗;M·阿尔姆戈特 -专利权人： 费劳恩霍夫应用研究促进协会
申请日： 2010-05-13 - 公布日： 2012-05-16 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本发明涉及涂布设备，其包括至少一个接收部，该接收部可以被抽空并且用于接收基底，至少一个气体供应装置，通过该气体供应装置至少一种气态前体可被引入至接收部，和至少一个可加热的活化部件，该活化部件具有可预定的纵向区域并且通过至少一个专用的机械固定装置相对于接收部几乎不可移动地被固定。通过至少两个接触部件电流被供应到活化部件，至少一个该接触部件被设计成与活化部件在多个改变的接触点上接触。本发明还涉及相应的涂布方法。
布设方法

[发明专利]涂布设备和涂布方法-CN201080024725.4有效
发明人： T·哈里希;M·霍弗;A·劳卡特;L·谢弗;M·阿尔姆戈特 -专利权人： 费劳恩霍夫应用研究促进协会
申请日： 2010-05-13 - 公布日： 2012-05-16 - 主分类号： C23C16/22 文献下载
摘要：本发明涉及涂布设备，其包括至少一个可抽空的接收部，所述接收部用于接收基底；至少一个气体供应装置，其将至少一种气态前体引入到所述接收部中；以及至少一个活化装置，该活化装置包括至少一个可加热的活化部件，所述活化部件的末端被紧固到保持部件的紧固点处。并提供屏蔽部件，其至少保护所述紧固点至少部分地免受气态前体的作用。所述屏蔽部件具有带第一侧面和第二侧面的纵向区域，该第一侧面布置在所述保持部件上，在屏蔽部件的第二侧面上布置有闭合部件，该闭合部件具有至少一个出口端口。本发明的特征在于至少一个分隔部布置在所述屏蔽部件内部并将所述屏蔽部件的内部空间分隔为第一子空间和第二子空间。
布设方法