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[实用新型]一体式氮气吹扫模块和干式真空泵-CN202221278805.9有效
发明人：周阳;沈文武;周贤忠;刘滔;侯亚旅;何建修;谌绍飞;游诗琪;聂小波 -专利权人：四川莱斯特真空科技有限公司
申请日： 2022-05-25 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： F04C25/02 文献下载
摘要：本实用新型的实施例提供了一种一体式氮气吹扫模块和干式真空泵，涉及半导体技术领域。一体式氮气吹扫模块包括模块主体以及安装在模块主体上的进气单向阀、减压阀和主路电磁阀，模块主体内部开设有气道，还开设有与气道连通的多个出气口，每个出气口内安装有限流螺钉，进气单向阀用于连接氮气源，通过气道，进气单向阀、减压阀、主路电磁阀以及出气口依次连通。一体式氮气吹扫模块能够对泵体上的多个位置进行氮气吹扫，而且每个位置的氮气流量可以灵活调节，氮气的线路布置集成度高、占用空间小。
体式氮气模块真空泵

[实用新型]干式机械密封真空泵-CN202221290903.4有效
发明人：沈文武;周贤忠;周阳;刘滔;侯亚旅;何建修;谌绍飞;游诗琪;聂小波 -专利权人：四川莱斯特真空科技有限公司
申请日： 2022-05-25 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： F16J15/34 文献下载
摘要：本实用新型的实施例提供了一种干式机械密封真空泵，涉及真空泵技术领域。干式机械密封真空泵包括轴承、转子、端盖和干式机械密封装置，轴承、端盖和干式机械密封装置均套设在转子的端部，干式机械密封装置夹持在轴承与端盖之间；干式机械密封装置包括动环密封组件和静环密封组件，动环密封组件套设在转子上、且随转子同步转动，静环密封组件连接在端盖上，动环密封组件的端面与静环密封组件的端面为一对摩擦副。通过采用干式机械密封装置能够提高干式真空泵的真空度，增加泵腔体和轴承箱的密封性能，从而提高泵的使用寿命和改善上游设备的工艺环境，避免工艺气体遭受油污染，同时，避免泵腔内灰尘进入轴承箱，对轴承造成破坏。
机械密封真空泵

[发明专利]干式机械密封真空泵-CN202210579273.0在审
发明人：沈文武;周贤忠;聂小波;周阳;刘滔;侯亚旅;何建修;谌绍飞;游诗琪 -专利权人：四川莱斯特真空科技有限公司
申请日： 2022-05-25 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： F16J15/34 文献下载
摘要：本发明的实施例提供了一种干式机械密封真空泵，涉及真空泵技术领域。干式机械密封真空泵包括轴承、转子、端盖和干式机械密封装置，轴承、端盖和干式机械密封装置均套设在转子的端部，干式机械密封装置夹持在轴承与端盖之间；干式机械密封装置包括动环密封组件和静环密封组件，动环密封组件套设在转子上、且随转子同步转动，静环密封组件连接在端盖上，动环密封组件的端面与静环密封组件的端面为一对摩擦副。通过采用干式机械密封装置能够提高干式真空泵的真空度，增加泵腔体和轴承箱的密封性能，从而提高泵的使用寿命和改善上游设备的工艺环境，避免工艺气体遭受油污染，同时，避免泵腔内灰尘进入轴承箱，对轴承造成破坏。
机械密封真空泵

[发明专利]整体式氮气吹扫装置和干式真空泵-CN202210580048.9在审
发明人：沈文武;周贤忠;周阳;刘滔;侯亚旅;何建修;谌绍飞;游诗琪;聂小波 -专利权人：四川莱斯特真空科技有限公司
申请日： 2022-05-25 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： F04C25/02 文献下载
摘要：本发明的实施例提供了一种整体式氮气吹扫装置和干式真空泵，涉及半导体技术领域。整体式氮气吹扫装置包括模块主体以及安装在模块主体上的进气单向阀、减压阀和主路电磁阀，模块主体内部开设有气道，还开设有与气道连通的多个出气口，每个出气口内安装有限流螺钉，进气单向阀用于连接氮气源，通过气道，进气单向阀、减压阀、主路电磁阀以及出气口依次连通。整体式氮气吹扫装置能够对泵体上的多个位置进行氮气吹扫，而且每个位置的氮气流量可以灵活调节，氮气的线路布置集成度高、占用空间小。
整体氮气装置真空泵

[实用新型]一种主泵与前级泵连接处水冷结构-CN202123389549.9有效
发明人：沈文武;杨胜勇;周贤忠;谌绍飞 -专利权人：四川莱斯特真空科技有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： F04C29/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种主泵与前级泵连接处水冷结构，涉及真空泵领域。本主泵与前级泵连接处水冷结构包括连接件、冷却板和冷却管，连接件用于分别连接于主泵与前级泵，冷却板设置于连接件，冷却管穿设于冷却板，冷却管的一端用于与真空泵的进水口连接，另一端用于与真空泵的排水口连接，通过在主泵与前级泵连接处设置冷却结构，即将冷却板安装在连接件上，在穿设于冷却板的冷却管内通入水，以降低连接件内的气体温度，减小腐蚀性气体对零部件的腐蚀。
一种前级泵连接水冷结构

[实用新型]H型平齿翅片管及H型平齿翅片管换热管束-CN201420343697.8有效
发明人：马有福;李昂;孙镇宇;谌绍飞 -专利权人：上海理工大学
申请日： 2014-06-25 - 公布日： 2015-01-21 - 主分类号： F28F1/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种H型平齿翅片管及其翅片管换热管束，H型平齿翅片管包括：基管部，以及翅片部，翅片部包含多个分别沿基管部轴向以预定间距连接在基管部的外壁上的矩形平齿翅片组，其中，矩形平齿翅片组包含两片位于至少一根基管两侧的矩形平齿翅片，矩形平齿翅片内凹成一定弧度与基管的外壁相嵌合连接，两片矩形平齿翅片相隔一定间距且与基管形成H状，每片矩形平齿翅片包含固定设置在外壁上的基片、与基片连成一体的多个平齿、以及多个形成在每相邻的两个平齿之间的开口槽，多个平齿设置在矩形翅片与基管外气流流向相平行的两侧边部上，翅片部的这种结构提供了一种间断性不连续换热表面，进一步提高现有H型翅片管的强化换热性能。
型平齿翅片管型平齿翅片管换热管束

[实用新型]矩形扭齿翅片管及矩形扭齿翅片管换热管束-CN201420343698.2有效
发明人：马有福;李昂;孙镇宇;谌绍飞 -专利权人：上海理工大学
申请日： 2014-06-25 - 公布日： 2014-11-05 - 主分类号： F28F1/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种矩形扭齿翅片管及其翅片管换热管束，矩形扭齿翅片管包括：基管部，以及翅片部，其中，翅片部包含多片分别沿基管部的轴向以预定间距连接在基管部外壁上的矩形扭齿翅片，其中，每片矩形扭齿翅片包含固定设置在外壁上的基片、与基片连成一体且顶端向着基管部的外部延伸的多个扭齿、以及多个形成在每相邻的两个扭齿之间的开口槽，多个扭齿设置在矩形翅片与基管外气流流向相平行方向上的两侧边部上，扭齿的顶端相对于基片扭转一定角度，大幅度增强了翅片对管外气流的扰动和换热，使得矩形扭齿翅片管具有优异的强化换热性能。
矩形扭齿翅片管扭齿翅片管换热管束

[实用新型]H型扭齿翅片管及H型扭齿翅片管换热管束-CN201420343761.2有效
发明人：马有福;李昂;孙镇宇;谌绍飞 -专利权人：上海理工大学
申请日： 2014-06-25 - 公布日： 2014-11-05 - 主分类号： F28F1/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种H型扭齿翅片管及其翅片管换热管束，H型扭齿翅片管包括：基管部以及翅片部，其中，翅片部包含多个分别沿基管部轴向以预定间距连接在基管部外壁上的矩形扭齿翅片组，矩形扭齿翅片组包含两片位于至少一根基管两侧的矩形扭齿翅片，矩形扭齿翅片内凹成一定弧度相隔一定间距与基管的外壁相嵌合连接，形成H状，每片矩形扭齿翅片包含固定设置在外壁上的基片、与基片连成一体且顶端向着基管部的外部延伸的扭齿、以及多个形成在相邻的两个扭齿之间的开口槽，扭齿设置在矩形翅片与基管外气流流向相平行的两侧边部上，扭齿的顶端相对于基片扭转一定角度，增强了翅片对管外气流的扰动和换热，进一步提高现有H型翅片管的强化换热性能。
型扭齿翅片管型扭齿翅片管换热管束

[实用新型]矩形平齿翅片管及矩形平齿翅片管换热管束-CN201420343738.3有效
发明人：马有福;李昂;孙镇宇;谌绍飞 -专利权人：上海理工大学
申请日： 2014-06-25 - 公布日： 2014-11-05 - 主分类号： F28F1/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种矩形平齿翅片管及矩形平齿翅片管换热管束，矩形平齿翅片管包括：基管部和翅片部，翅片部包含：多片分别沿基管部的轴向以预定间距连接在基管部的外壁上的矩形平齿翅片，其中，每片矩形翅片包含固定设置在外壁上的基片、与基片连成一体的多个平齿、以及多个形成在每相邻的两个平齿之间的开口槽，多个平齿设置在矩形翅片与基管外气流流向相平行方向上的两侧边部上，翅片部的这种结构提供了一种间断性不连续换热表面，进一步提高现有矩形翅片管的强化换热性能。
矩形平齿翅片管平齿翅片管换热管束

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