专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]光阻清洗剂-CN200510000184.2有效
  • 许铭案;郭光埌;蔡牧霖;戴杏如 - 新应材股份有限公司
  • 2005-01-06 - 2006-07-12 - G03F7/26
  • 本发明提供了一种包含单甲基醚丙二醇(PGME)或单甲基醚丙二醇衍生物与环己酮(ANONE)或环己酮衍生物成分的光阻清洗剂。具有下列特点:对光阻材料层具有良好的溶解度,适宜的挥发性,及优越的清洗能力和于不同光阻之间的良好兼容性;能于室温储存,成本低廉,且不需更换传统设备与生产条件;对人体具极低毒性,使用上具安全性,且无令人不愉快气味;不会对环境造成污染,且其废液及废水容易处理。
  • 光阻清洗剂

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