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[发明专利]一种柔性伞状微结构阵列超表面及其制造方法-CN202210748294.0有效
发明人：马炳和;张忠刚;康梓睿;裴光耀;罗剑;叶涛;邓进军;苑伟政 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2022-06-22 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： B29C39/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种柔性伞状微结构阵列超表面及其制备方法，属于微纳制造领域。该柔性伞状微结构阵列，材料为热固化或光固化成型聚合物材料，伞状微结构由伞帽、伞帽边缘垂直向下的突起、伞柄构成，伞状微结构高度为12μm～55μm；伞帽表面平整，直径为7μm～40μm，厚度为2μm～5m；伞帽边缘垂直向下突起的高度为1μm～4μm，厚度为1μm～4μm，伞帽边缘垂直向下突起的外边缘与伞帽外边缘平齐，无突出部分。本发明利用双面光刻工艺制备复杂伞状微结构阵列模具，利用聚合物翻模工艺一次成型得到伞帽边缘具有垂直向下突起的柔性伞状微结构阵列超表面，与现有的3D打印技术相比，生产效率更高，实现了柔性伞状微结构阵列超表面的可控较大面积制备。
一种柔性微结构阵列表面及其制造方法

[发明专利]一种声表面波微传感器及其制备方法-CN202211507649.3在审
发明人：马炳和;裴光耀;高伟;罗剑;赵珂藜;张忠刚 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： G01L1/25 文献下载
摘要：本发明公开了一种声表面波微传感器及其制备方法，所述微传感器包括：下层基底，下层基底上设有盲槽；上层基底，上层基底上设有第一通孔，第二通孔，连接第一通孔和第二通孔的第一应力释放桥、第二应力释放桥，及第一通孔、第二通孔、第一应力释放桥和第二应力释放桥围成的应力隔离梁，应力隔离梁靠近下层基底侧悬空；盲槽与上层基底密封为压力敏感单元，应力隔离梁与下层基底连接为温度敏感单元，压力敏感单元和温度敏感单元无重合区且其声表面波谐振频率、工作频段均不同；导电层，被配置为转换交流电信号为周期性电磁场并加载至上层基底中，获取压力敏感单元与温度敏感单元的声表面波。实现高温转子压力和温度测量，并提高了测量准确性。
一种表面波传感器及其制备方法

[发明专利]一种柔性二维壁面剪应力传感器及其制备方法-CN202211501360.0在审
发明人：马炳和;庞鹏;罗剑;裴光耀;赵珂藜;刘赟哲 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： G01L9/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种柔性二维壁面剪应力传感器及其制备方法，所述传感器包括：柔性衬底；测力单元，所述测力单元设于所述柔性衬底上；被配置为通过检测其在流场中的温度变化量得到二维壁面剪应力的大小；测向单元，所述测向单元位于所述柔性衬底上，环设于所述测力单元外围；被配置为对所述测向单元与所述测力单元预设正方向的夹角、所述测向单元在所述流场中的温度变化量进行运算，得到所述二维壁面剪应力与所述测力单元预设正方向的夹角，所述夹角用于表示所述二维壁面剪应力的方向，实现了壁面剪应力大小及其方向的高精度测量。
一种柔性二维剪应力传感器及其制备方法