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[发明专利]气浮转台装置的测试系统及其测试方法-CN202310303613.1在审
发明人： 薛陇娟;史生宇 -专利权人：苏州极坐标精密仪器有限公司
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G01B7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种气浮转台装置的测试系统及其测试方法，气浮转台装置包括底座、气浮转台和用于驱动所述气浮转台的气浮转台电机，测试系统包括固定设置于所述气浮转台上且与所述气浮转台同轴线设置的检棒、均绕于所述检棒外围的X1电容传感器、X2电容传感器、Y1电容传感器和Y2电容传感器，及位于所述检棒上方且与所述检棒同轴线设置的Z电容传感器，X1电容传感器的中心轴线、X2电容传感器的中心轴线和检棒的中心轴线定义了第一竖直面，Y1电容传感器的中心轴线、Y2电容传感器的中心轴线和所述检棒的中心轴线定义了第二竖直面，且所述第一竖直面与第二竖直面相垂直。该发明能将气浮转台的精度测试出来，从而在被应用时进行补偿，以提高应用精度。
转台装置测试系统及其方法

[发明专利]圆度仪用气浮转台装置及其标定方法和测量方法-CN202310333189.5在审
发明人： 薛陇娟;史生宇 -专利权人：苏州极坐标精密仪器有限公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G01B7/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种圆度仪用气浮转台装置，包括：底座；气浮转台，包括固定座、可转动地设置于固定座内的转台转子以及跟随转台转子转动的转台台面，固定座设置于所述底座上；传感器座，环向设置于固定座的外周面上，传感器座上沿周向间隔设置有第一电容传感器、第二电容传感器和第三电容传感器，第一电容传感器、第二电容传感器、第三电容传感器对着转台台面的外圆；运动机构，包括竖直Z轴、设置于竖直Z轴的Z轴运动轴套以及设置于Z轴运动轴套的X轴运动横梁，竖直Z轴设置于底座上；检测探针，安装于X轴运动横梁上。本发明还公开了一种标定方法及测量方法。本发明通过实时测量轴线精度，来提高圆度仪整体测量精度，同时兼具标准圆度校准功能。
圆度仪用气浮转台装置及其标定方法测量方法