专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]刻蚀设备-CN202210395403.5在审
  • 陈培培;夏培彦 - 英特尔NDTM美国有限公司
  • 2022-04-15 - 2023-10-27 - H01L21/67
  • 本发明提供了一种刻蚀设备,其能够在形成非易失性存储器器件中提高循环式处理槽中的多晶硅刻蚀速率以及改善控制栅刻蚀的晶圆内均匀性。在一些实施例中,该刻蚀设备,包括:内槽,用于蓄留刻蚀液;外槽,配置在内槽的上缘周围,接收从内槽溢出的刻蚀液,并使刻蚀液流回内槽;打孔板,设置在内槽内,其中,在打孔板上开设有多个孔,刻蚀液从多个孔中吐出;和起泡单元,设置在打孔板上,并且被配置成向内槽中的刻蚀液吐出气体。
  • 刻蚀设备
  • [发明专利]3D NAND存储器及其制造方法-CN202111347987.0在审
  • 李红旗 - 英特尔NDTM美国有限公司
  • 2021-11-15 - 2023-05-16 - H01L21/768
  • 本发明提供了一种制造三维(3D)存储器的方法,包括:在包含堆叠结构和形成于所述堆叠结构上的绝缘层的结构上淀积多晶硅层,其中,所述堆叠结构包含交替布置的存储器单元层和氧化层,在所述堆叠结构中形成有沟道层,所述沟道层垂直于堆叠方向延伸通过所述堆叠结构;去除所述绝缘层上的所述多晶硅层,从而形成互相隔离的多晶硅插塞;淀积金属,形成金属层;对所述金属层进行热处理,在所述多晶硅插塞上形成金属硅化物盖层;以及去除未反应的金属。
  • nand存储器及其制造方法
  • [实用新型]装载端口-CN202220978044.1有效
  • 吕东海 - 英特尔NDTM美国有限公司
  • 2022-04-24 - 2022-09-02 - H01L21/677
  • 本实用新型提供一种装载端口,用于装载和卸载容器,该装载端口包括:放置台,所述容器放置在所述放置台上;主体部,配置为支撑所述放置台;以及泄压板,配置为可拆卸地附接至放置台的表面;其中,泄压板包括:泄压元件,配置为附接至泄压板并形成为从泄压板的上表面突出以与容器的底表面接触;装载端口固定装置,配置为将泄压板固定于放置台;以及容器固定装置,容器通过容器固定装置固定于泄压板。
  • 装载端口
  • [实用新型]拆卸装置-CN202220634288.8有效
  • 胡传文;禹治超 - 英特尔NDTM美国有限公司
  • 2022-03-23 - 2022-08-05 - B25B27/00
  • 本实用新型提供一种拆卸装置,其用于将与伺服主轴连接的轴连接件拆卸下来,拆卸装置包括拆卸用架和用于支承该拆卸用架的支承台,拆卸用架包括:横向延伸的操作杆;与操作杆连接的、纵向延伸的螺纹件,在该螺纹件的外周形成了阳螺纹;和支承螺纹件的支承架,在支承架中设置了供螺纹件插通其中的通孔,在该通孔内形成了与螺纹件的阳螺纹螺合的阴螺纹,在支承架的远离操作杆的一侧形成了向内侧突出的、用于支承轴连接件的第1突出部和第2突出部,支承台可在螺纹件的下端与支承台抵接的状态下支承拆卸用架。
  • 拆卸装置
  • [实用新型]探头清洗装置以及包括探头清洗装置的探头清洗系统-CN202220831367.8有效
  • 朱世洋 - 英特尔NDTM美国有限公司
  • 2022-04-12 - 2022-07-22 - B08B3/02
  • 本实用新型提供一种探头清洗装置以及包括探头清洗装置的探头清洗系统。根据本实用新型的实施例,一种探头清洗装置,包括探头接口部和装置本体,所述探头接口部位于所述装置本体的一端,并能够与待清洗探头接合,所述装置本体的另一端敞开,所述装置本体为中空结构,所述装置本体的横截面的内径大于所述待清洗探头的外径,从而使得所述装置本体能够将所述待清洗探头容纳在其内部,并且所述装置本体的侧壁中设置有清洗通孔,从而使得清洗流体能够通过所述清洗通孔进入所述装置本体的内部并对所述待清洗探头进行清洗。根据本实用新型的实施例,能够提高探头清洗的效率,降低成本,并降低污染风险。
  • 探头清洗装置以及包括系统
  • [实用新型]自给式呼吸器放置座和具有它的自给式呼吸器放置架-CN202220125530.9有效
  • 何力;辛飞 - 英特尔NDTM美国有限公司
  • 2022-01-18 - 2022-06-28 - A62B9/04
  • 本实用新型提供一种自给式呼吸器放置座和具有它的自给式呼吸器放置架。自给式呼吸器放置座包括:放置座主体,其包括沿铅垂面延伸的第一平板和沿水平面延伸的第二平板,在侧视时所述放置座主体为L字形;弧形件,其设置在所述第一平板上,具有与自给式呼吸器的外周面相匹配的形状;凹槽,其设置在所述第二平板上,供所述自给式呼吸器的顶部插入其中;两根支承件,其一端设置在所述第一平板的宽度方向的两侧,在另一端设置有通孔;和圆柱形杆,其沿水平方向延伸地插通在所述两根支承件的所述通孔中,从与所述弧形件相反的一侧与所述自给式呼吸器接触。
  • 自给呼吸器放置具有
  • [实用新型]下陷式管道结构件以及包括下陷式管道结构件的冰机-CN202220387742.4有效
  • 徐小海;马宏辉 - 英特尔NDTM美国有限公司
  • 2022-02-24 - 2022-06-24 - F25B6/00
  • 本实用新型提供一种下陷式管道结构件以及包括下陷式管道结构件的冰机。根据本实用新型的实施例,一种下陷式管道结构件包括结构件本体以及位于所述结构件本体的两端的入口部和出口部;所述结构件本体为中空结构,从而使得所述下陷式管道结构件形成流体通路;所述结构件本体的高度低于所述入口部和所述出口部的高度,从而使得流体在流经所述下陷式管道结构件时产生先向下再向上的流动过程。根据本实用新型的实施例,能够改善冰机的热量回收效率,改善节能效果,提高冰机系统的可靠性。
  • 下陷管道结构件以及包括
  • [实用新型]晶圆传送夹具以及晶圆传送夹具组件-CN202122913073.8有效
  • 吴明;刘哲 - 英特尔NDTM美国有限公司
  • 2021-11-25 - 2022-04-29 - H01L21/677
  • 本申请的实施例提供晶圆传送夹具以及晶圆传送夹具组件。其中,所述晶圆传送夹具包括:主体,所述主体具有圆弧形的内表面,所述内表面的形状与待传送的晶圆的形状匹配;支持部,所述支持部设置在所述主体的内侧,并且在传送晶圆时与所述晶圆的下表面接触;以及把持部,所述把持部设置在所述主体的上方,在传送晶圆时,所述晶圆和所述晶圆传送夹具借助于所述把持部而被一起传送;其中,所述主体、所述支持部和所述把持部一体成形。根据本申请实施例的晶圆传送夹具以及晶圆传送夹具组件,能够方便、稳定且安全地对晶圆进行传送,并且能够防止晶圆传送过程中的污染和损坏。
  • 传送夹具以及组件
  • [实用新型]用于CMP清洗机流量测试的液体收集装置-CN202122966095.0有效
  • 姜波;王喆 - 英特尔NDTM美国有限公司
  • 2021-11-29 - 2022-04-29 - G01M13/00
  • 本实用新型提供一种用于CMP清洗机流量测试的液体收集装置,该液体收集装置能够在不接触滚刷的情况下收集液体,因此,滚刷不会被污染。液体收集装置包括:主体部,包括:长方体状的盒状体部,在内部形成有空间;和第一臂部和第二臂部,分别设置在盒状体部的相对的第一侧壁和第二侧壁上,并且被构造成能够支承于刷洗单元的侧壁上;和阀体,设置在盒状体部的第一侧壁上,在靠近盒状体部的底部的位置,其中,主体部的高度小于滚刷设置在刷洗单元中的深度。
  • 用于cmp清洗流量测试液体收集装置
  • [实用新型]石英窗拆装用工具-CN202123133694.0有效
  • 周家麟 - 英特尔NDTM美国有限公司
  • 2021-12-14 - 2022-04-19 - B25B27/00
  • 本实用新型提供一种石英窗拆装用工具,石英窗包括:具有第一筒形中空部的石英窗主体;收纳在第一筒形中空部中的石英片;用于密封石英窗的密封垫和用于固定石英片的压环,第一筒形中空部具有圆形的底部开口,石英窗拆装用工具包括:用于收纳石英窗的收纳部件;用于沿第一方向推压石英窗的圆柱形的推压部件;用于固定推压部件的、可沿第一方向及其相反方向移动的固定架,推压部件在一端具有平坦端部,在另一端具有台阶形端部,在沿第一方向观看推压部件时,平坦端部的直径小于或等于第一筒形中空部的底部开口的直径,台阶形端部具有直径不同的多个环形侧面,最外侧的环形侧面的直径大于压环的内径,其他环形侧面的直径小于或等于压环的内径。
  • 石英拆装用工

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