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[发明专利]与晶圆级制备设备对接的旗形样品架原位转移装置-CN202310507570.9在审
发明人： 胡亘宇;武旭;胡世昊;邵岩;王业亮 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2023-05-08 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供了一种与晶圆级制备设备对接的旗形样品架原位转移装置，其包括均处于超高真空腔体内的储样设备、样品架、磁力传样杆、Y形晶圆架和样品生长台；储样设备包括金属圆片；样品架插槽设在金属圆片上且与金属圆片按照设计位置相互固定连接；样品架插槽由一对彼此平行布置的插板以及固设在一对插板一端端部的夹片组成；对于送入储样设备的样品，可被夹片固定在金属圆片的圆心到边缘之间任意位置；样品架插装于样品架插槽中。本发明通过在金属圆片上加设样品架插槽，使其上的样品可以对晶圆级基底任意位置的薄膜生长情况进行反馈，同时金属圆片可以很好的模拟正常晶圆级薄膜生长时的整体加热情况。
晶圆级制备设备对接样品原位转移装置

[发明专利]一种多功能的离子沉积薄膜制备装置及薄膜沉积方法-CN202310121914.2在审
发明人：武旭;胡世昊;胡亘宇;王宇森;许自强;邵岩;王业亮 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2023-02-16 - 公布日： 2023-04-21 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种多功能的离子沉积薄膜制备装置及薄膜沉积方法，包括薄膜生长机构，进样承载机构，离子源提供机构、分子束外延机构和化学气相沉积机构；进样承载机构用于向薄膜生长机构中提供样品；离子源提供机构提供经过筛分后的待沉积离子，用于离子沉积；分子束外延机构产生分子束流，用于分子束外延生长；化学气相沉积机构产生气态物质，用于化学气相沉积。通过离子源提供机构、分子束外延机构和化学气相沉积机构的协同配合，一次操作过程中可完成分子束外延、化学气相沉积、离子沉积等多种薄膜制备功能，实现电中性分子和带电离子的共沉积，可用于氧化物、氮化物、硒化物以及金刚石等薄膜材料及其异质结的原位制备，提高制备效率。
一种多功能离子沉积薄膜制备装置方法

[实用新型]一种实现多仪器间样品架转换的装置-CN202222110135.6有效
发明人： 胡亘宇;许自强;杨惠霞;侯延辉;武旭;王业亮 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2022-08-11 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： G01Q60/10 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种实现多仪器间样品架转换的装置，其包括磁力储样杆、X向样品架、可转移子样品架、磁力传样杆和Z向样品架；磁力储样杆通过法兰与超高真空腔体密封连接，并可沿法兰方向移动及沿中心轴转动；X向样品架和Z向样品架安装于磁力储样杆上；可转移子样品架与X向样品架和Z向样品架可拆卸式装配连接；磁力传样杆安装于可转移子样品架一端，并与磁力储样杆在同一平面内始终保持垂直；磁力传样杆通过平移台及法兰与超高真空腔体密封连接；磁力储样杆可沿着Y方向移动及沿其轴心线旋转。本实用新型可在不对超高真空腔体进行过多改造，并不影响正常实验流程的前提下，完成样品从X向样品架和Z向样品架之间样品的双向转移过程。
一种实现仪器样品转换装置

[发明专利]一种用于与手套箱对接的超高真空转移装置及转移方法-CN202210486518.5在审
发明人：武旭;许自强;胡亘宇;韩旭;乔婧思;黄元;王业亮 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2022-05-06 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： G01N35/00 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种用于与手套箱对接的超高真空转移装置及转移方法，装置包括：与所述手套箱可连通或闭合地连接且形成有多个通道的连通腔体，以及分别与其中一个所述通道可连通或闭合地连接的真空环境发生机构、惰性气体发生机构和样品传输机构；且，所述真空环境发生机构用于将所述连通腔体中形成为超高真空环境；所述惰性气体发生机构用于向所述连通腔体中提供惰性气体；所述样品传输机构用于将样品自所述连通腔体中转移至所述手套箱中。实现了样品在超高真空环境和可控高纯惰性气体环境之间的切换，同时整个过程能够有效保证样品的高度清洁，为后续研究提供了有利的支持的效果。
一种用于手套对接超高真空转移装置方法