“翁浚婧”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果5个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种失效分析定位方法-CN201810619924.8在审
发明人： 翁浚婧;黄楚楚;李金;纪晓娜 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2018-06-14 - 公布日： 2018-11-30 - 主分类号： G01N21/956 文献下载
摘要：本发明公开了一种失效分析定位方法，其属于半导体领域的技术，包括：步骤S1，预先在所述重复性结构区域设置一目标区域；步骤S2，以所述目标区域为中心在所述被测芯片表面设置一点阵图形，所述点阵图形中的组成点的面积和所述组成点与所述目标区域之间的距离成正相关；步骤S3，对所述目标区域进行失效分析以定位所述目标区域中的失效点，在进行所述失效分析之前根据所述点阵图形定位所述目标区域。该技术方案的有益效果是：本发明能够减少抓取失效点的时间，以便快速的进行失效分析，提高了失效分析的效率，实现了对芯片上的重复性结构区域中的失效点的快速定位与分析。
目标区域失效分析点阵图形失效点重复性结构抓取半导体领域被测芯片表面设置快速定位区域设置面积和正相关芯片分析

[实用新型]低损耗亚纳分辨率的光纤测振系统-CN201320132242.7有效
发明人：雷李华;高婧;孙晓光;毛辰飞;范国芳;杨柯;翁浚婧 -专利权人：上海市计量测试技术研究院
申请日： 2013-03-22 - 公布日： 2013-11-20 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：本实用新型为一种低损耗亚纳分辨率的光纤测振系统，其特征在于：所述测振系统的装置及连接关系为：光源由普通驱动电源驱动；沿光源发射光前进方向依次放置要检测的振动台，微悬臂系统；所述的光源传出的光在第一光纤中传播；压电阶段中涉及需移位对准的仪器包括粘附有第一光纤的待测的振动台、微悬臂系统以及显微镜，显微镜设于振动台和微悬臂系统的上方；所述的微悬臂系统包括可调的三维平台和粘附在其上的末端为纳米针尖探针的第二光纤，第二光纤的另一端与光电转换装置的输入端连接；所述的光电转换装置的输出端与数据采集和处理装置连接；所述的数据采集和处理装置与信号监视器连接。本实用新型适用于低频信号的检测。
损耗分辨率光纤系统

[发明专利]低损耗亚纳分辨率的光纤测振系统-CN201310093168.7无效
发明人：雷李华;高婧;孙晓光;毛辰飞;范国芳;杨柯;翁浚婧 -专利权人：上海市计量测试技术研究院
申请日： 2013-03-22 - 公布日： 2013-06-12 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：本发明为一种低损耗亚纳分辨率的光纤测振系统，其特征在于所述测振系统的装置及连接关系为：光源由普通驱动电源驱动；沿光源发射光前进方向依次放置要检测的振动台，微悬臂系统；所述的光源传出的光在光纤（3）中传播；所述的压电阶段包括粘附有光纤（3）的待测的振动台、微悬臂系统以及显微镜，显微镜设于振动台和微悬臂系统的上方；所述的微悬臂系统包括可调的三维平台和粘附在其上的末端为纳米针尖探针的光纤（5），光纤（5）的另一端与光电转换装置的输入端连接；所述的光电转换装置的输出端与数据采集和处理装置连接；所述的数据采集和处理装置与信号监视器连接。本发明设计了带纳米针尖探针的光纤及微悬臂系统，适用于低频信号的检测。
损耗分辨率光纤系统

[实用新型]一种基于电容传感器阵列的三维微接触式测头-CN201220709762.5有效
发明人：雷李华;蔡潇雨;李源;吴俊杰;傅云霞;耿锋;翁浚婧 -专利权人：上海市计量测试技术研究院
申请日： 2012-12-20 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： G01B7/00 文献下载
摘要：本实用新型为一种基于电容传感器阵列的三维微接触式测头，所述的测头由方形底板、电容传感器阵列、十字梁和测针组成，其特征在于：所述的测头有多个电容传感单元，呈阵列式分布于方形底板上，测针连接在十字梁的中心连接体上，十字梁的悬臂与电容传感器上极板相连，上极板通过微弹簧悬挂单元悬挂，所述上极板的悬挂采用若干个微弹簧实现，微弹簧不仅用于固定电容传感器的上极板，还用于支撑十字梁和测针重量，由测针及十字梁组成的杠杆结构将被测物的横向位移放大并转化为电容上极板的轴向位移，解决单个电容传感器测量时横向分辨力低的问题。本实用新型弥补了单个电容传感器横向分辨力低的缺陷，提高了分辨力和精度，有效拓展了横向测量范围。
一种基于电容传感器阵列三维接触式测头

[发明专利]一种基于电容传感器阵列的三维微接触式测头-CN201210557826.9无效
发明人：雷李华;蔡潇雨;李源;吴俊杰;傅云霞;耿锋;翁浚婧 -专利权人：上海市计量测试技术研究院
申请日： 2012-12-20 - 公布日： 2013-05-01 - 主分类号： G01B7/00 文献下载
摘要：本发明为一种基于电容传感器阵列的三维微接触式测头，所述的测头由方形底板、电容传感器阵列、十字梁和测针组成，其特征在于：所述的测头有多个电容传感单元，呈阵列式分布于方形底板上，测针连接在十字梁的中心连接体上，十字梁的悬臂与电容传感器上极板相连，上极板通过微弹簧悬挂单元悬挂，所述上极板的悬挂采用若干个微弹簧实现，微弹簧不仅用于固定电容传感器的上极板，还用于支撑十字梁和测针重量，由测针及十字梁组成的杠杆结构将被测物的横向位移放大并转化为电容上极板的轴向位移，解决单个电容传感器测量时横向分辨力低的问题。本发明弥补了单个电容传感器横向分辨力低的缺陷，提高了分辨力和精度，有效拓展了横向测量范围。
一种基于电容传感器阵列三维接触式测头