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[实用新型]一种打点器快拆结构-CN202320640147.1有效
发明人：李雄;廖大军 -专利权人： 纳美半导体设备（东莞）有限公司
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： B25H7/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶圆测试技术领域，具体涉及一种打点器快拆结构，包括打点器本体以及固定座；所述固定座的一端设有导向台；所述固定座的另一端设有安装台；所述导向台与安装台之间形成有通道；所述固定座设有导向槽；所述安装台设有导向柱；所述安装台与固定座之间设有复位弹簧；所述安装台与固定座之间设有固定组件；所述打点器本体设有连接座；所述连接座穿设于通道后与安装台抵靠；所述打点器本体设于连接座。本实用新型通过将固定组件松开，通过复位弹簧的作用，使得固定座与安装台分开，然后将打点器本体的连接座从固定座的侧面进入至通道内，再通过固定组件将安装台与通道内的连接座抵紧，从而完成打点器本体与固定座的安装，简单快捷。
一种打点器快拆结构

[实用新型]一种晶圆测试装置的探针检测机构-CN202320640120.2有效
发明人：李雄;廖大军 -专利权人： 纳美半导体设备（东莞）有限公司
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶圆测试技术领域，具体涉及一种晶圆测试装置的探针检测机构，包括底座；所述底座设有上测试架以及下测试架；所述上测试架设有上固定块与上活动块；所述上测试架设有上微动平台；所述上固定块以及上活动块均设有上探针；所述下测试架设有下固定块与下活动块；所述下测试架设有下微动平台；所述下固定块以及下活动块均设有下探针；所述上探针与下探针正对设置。本实用新型通过设置上探针以及下探针，上探针的数量以及下探针的数量均为两个，能够同时对晶圆的两个晶粒进行测试，有效地提高了测试效率；另外，通过设置上微动平台以及下微动平台，能够调整两个上探针的间距以及两个下探针的间距，从而能够适配不同类型的晶圆。
一种测试装置探针检测机构

[发明专利]一种带有暂存功能的晶圆传输系统-CN202211440906.6在审
发明人：令龙军;钟国华;周军;李雄;廖大军 -专利权人： 纳美半导体设备（东莞）有限公司
申请日： 2022-11-17 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种带有暂存功能的晶圆传输系统，包括传输座、上料机构、下料机构以及若干个暂存台；所述传输座设有移动座以及传输组件；所述移动座设有取料板以及取料驱动件；所述上料机构包括上料座以及上料放置板；所述下料机构包括下料座、下料放置板；还包括定位支撑组件。本发明通设置传输座、上料机构、下料机构以及定位支撑组件，能够驱动晶圆在上料机构、多个工位、暂存台以及下料机构之间实现自动化传输，提高了工作效率，并且能够节省成本；同时通过在相邻两个工位之间设置暂存台，能够将不良品进行区分放置；同时能够在下一个设备工位忙于作业的时候，将晶圆放置在暂存台上进行暂存。
一种带有暂存功能传输系统

[实用新型]一种自动化晶圆传输系统-CN202223057655.1有效
发明人：令龙军;钟国华;周军;李雄;廖大军 -专利权人： 纳美半导体设备（东莞）有限公司
申请日： 2022-11-17 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种自动化晶圆传输系统，包括传输座、上料机构以及下料机构；所述传输座设有移动座以及传输组件；所述移动座设有取料板以及取料驱动件；所述上料机构包括上料座；所述上料座设有上料放置板；所述下料机构包括下料座；所述下料座设有下料放置板；所述晶圆传输系统还包括若干个定位支撑组件；所述定位支撑组件包括左夹板、右夹板以及夹持驱动组件；所述传输组件用于驱动移动座在上料放置板、左夹板与右夹板之间以及下料放置板移动。本实用新型通设置传输座、上料机构、下料机构以及定位支撑组件，能够驱动晶圆在上料机构、多个工位以及下料机构之间实现自动化传输，提高了工作效率，并且能够节省成本。
一种自动化传输系统

[实用新型]一种高效加热的控制箱-CN202223161692.7有效
发明人：令龙军;钟国华;周军;李雄;廖大军 -专利权人： 纳美半导体设备（东莞）有限公司
申请日： 2022-11-25 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶圆测试技术领域，具体涉及一种高效加热的控制箱，包括加热座以及多个收纳盒；所述收纳盒内设有收纳腔；所述收纳腔内设有电路板；所述加热座内设有加热腔；所述加热座设有加热件；所述收纳盒的顶部设有与收纳腔连通的进气口；所述加热座的底部设有多个与加热腔连通的出气槽；所述进气口与出气槽连通。本实用新型通过将每个电路板分别放置在每个收纳盒中，加热件将热风吹入加热腔中，加热腔的热风通过多个出气槽分别输送至各个收纳盒的进气口中，从而使得热风进入各个收纳盒的收纳腔中对电路板进行加热，能够有效地减少热风流向无效区，并且将多个电路板充分分隔开，能够对每个电路板进行充分地加热干燥，大大地提高了加热效率。
一种高效加热控制箱

[实用新型]一种高效多工位晶圆测试机-CN202222099840.0有效
发明人：令龙军;钟国华;周军 -专利权人： 纳美半导体设备（东莞）有限公司
申请日： 2022-08-10 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本实用新型涉及芯片测试技术领域，具体涉及一种高效多工位晶圆测试机，包括机座；所述机座设有龙门架、上料架、下料架、第一测试模组以及第二测试模组；所述第一测试模组包括第一直线机构、第二直线机构以及第一测试机构；所述第二测试模组包括第三直线机构、第四直线机构以及第二测试机构；所述龙门架设有机械手模组；所述龙门架设有第一CCD机构以及第二CCD机构。本实用新型通过设置两个测试模组，每个测试模组上设有两个直线机构，并且每个直线机构上均设有校正座，配合第一CCD机构以及第二CCD机构，每个能够对校正座上的晶圆进行独立校正，只需要通过机械手模组将晶圆依次放入四个校正座上，即可以完成多个晶圆的校正，大大地提高了工作效率。
一种高效多工位晶圆测试

[实用新型]一种晶圆控温装置-CN202222179884.4有效
发明人：令龙军;钟国华;周军 -专利权人： 纳美半导体设备（东莞）有限公司
申请日： 2022-08-18 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体涉及一种晶圆控温装置，包括固定盘、载物盘以及加热件；所述载物盘内设有真空气道；所述载物盘的表面设有真空气槽；所述载物盘设有温度传感器；所述固定盘内设有散热气道以及散热气槽；所述固定盘设有泄压腔体；所述泄压腔体的顶部设有导向板；所述导向板与泄压腔体之间形成出风槽。本实用新型通过在载物盘设置加热件以及温度传感器，用户能够控制载物盘的温度，从而给载物盘上的晶圆进行加热；另外通过在载物盘设置真空气道以及真空气槽，使得载物盘上的晶圆在真空压力下固定在载物盘上，能够有效地防止晶圆移位；另外通过在散热气道内通入气体，能够起到快速降温的作用。
一种晶圆控温装置

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