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[发明专利]基于膜的磁强计-CN201580045232.1有效
发明人： 约瑟夫·托马斯·马丁努斯·万贝克;卡斯珀·万德尔阿武特 -专利权人： AMS国际有限公司
申请日： 2015-08-05 - 公布日： 2019-08-06 - 主分类号： G01R33/028 文献下载
摘要：各种示例性实施例涉及用于测量振荡频率的磁强计装置，该磁强计装置包括：包括连接至金属膜的第一输入的电压偏置和放大器的馈通环路；连接至膜输出的膜接地部；包括连接至放大器的第二输入的第一固定板输出的固定板，其中固定板与金属膜物理分离但是通过洛伦兹力连接至金属膜，以及其中物理分离由于磁场相对于电流的方向的角度而不同；对洛伦兹力敏感的第二固定板输出；以及电路，该电路连接至第二固定板输出以基于洛伦兹力而计算磁力的角度。
基于磁强计

[发明专利]MEMS设备用的弹簧结构-CN200580037134.X有效
发明人：彼得·G·斯蒂恩津;约瑟夫·托马斯·马丁努斯·万贝克;特奥·赖克斯 -专利权人：皇家飞利浦电子股份有限公司
申请日： 2005-10-24 - 公布日： 2007-10-03 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：一种MEM设备，具有可移动元件(30)，一对使可移动元件移动的电极(e1，e2)，一个具有与各电极的其余部分连接的独立可移动部分的电极(e3)，以便对电极的牵引提供附加的阻力。这样可具有更高的释放电压V_rel，从而减小静态阻力的风险。此外，可减小V_PI与V_rel的比值，从而可将更大范围的电压用于使可移动元件移动。这样就能够进行更快的切换。独立可移动部分的面积小于电极的其余部分，并且弹性连接器的弹簧常数大于柔性支撑体的弹簧常数。作为选择，可移动元件可具有弹性连接且朝向基片突起的可移动标记部分，以便当接触基片时为牵引提供附加的阻力。
mems 备用弹簧结构